一种超纯水加工回流复用工艺制造技术

本公开涉及一种超纯水加工回流水复用工艺，包括进行阻垢操作

【技术实现步骤摘要】
一种超纯水加工回流复用工艺


[0001]本公开涉及废水回收
，尤其涉及一种超纯水加工回流复用工艺
。

技术介绍

[0002]在半导体行业的废水处理工艺中，由于废水成分复杂
、
降解难度高等，因此通常先对废水进行汇集回收，然后再使用渗透膜进行过滤处理，该处理方法也是常见的废水回收方法
。
但在该处理方法中，经常会随着废水处理工艺的进行过程，逐渐出现渗透膜膜面污堵的情况
。
一旦出现膜面污堵将会严重影响后续废水处理的工艺的进行，进而带来更高的维护成本
。
为此，还增加了通过超滤工艺为渗透膜过滤处理进行预处理的操作，但超滤工艺只能截留胶束，无法截留其他分子，其产生的有机物
、
重金属
、
非金属离子将会共同存在，都将会协同加速渗透膜的污堵现象，影响了整个废水回收处理操作，将会大大提高成本
。
[0003]经查公开
(
公告
)
号：
CN217449137U
，公开了超纯水机的废水回收装置，此技术公开了回收装置壳体一侧的上部具有进水管，所述超纯水机通过废水管与所述进水管连接，所述回收装置壳体内设有集渣框，所述进水管与所述集渣框的内腔连通，所述回收装置壳体内还设置有精滤组件，所述精滤组件位于所述集渣框的下方，所述回收装置壳体一侧的下方设置有出水管
。
精滤组件包括
PP
棉滤芯和活性炭滤芯，所述
PP
棉滤芯的顶面与所述集渣框的底面接触，所述活性炭滤芯的顶面与所述
PP
棉滤芯的底面接触
。
由于该公开中仅是通过
PP
棉滤芯和活性炭滤芯无法达到本公开所要达到的超纯水过滤效果，无法解决上述问题
。
因此，为解决上述问题，本申请提出一种超纯水加工回流复用工艺
。

技术实现思路

[0004]本公开提出了一种超纯水加工回流复用工艺
。
[0005]根据本公开的内容，提供了一种超纯水加工回流复用工艺，包括以下步骤：
[0006]S110、
进行阻垢操作，在超纯水回流过程中设置阻垢结构，使所述超纯水经过所述阻垢结构；
[0007]S120、
进行深度净化操作，利用不同孔径凹凸棒材料吸附超纯水中携带的游离物，将流动过程中的所述超纯水和所述游离物进行分离；
[0008]S130、
进行渗透操作，对通过所述步骤
S120
的所述超纯水加压，使其通过
RO
膜进行回收
。
[0009]优选地，在所述步骤
S110
中，所述阻垢结构分离超纯水中的大颗粒物质
。
[0010]优选地，在所述步骤
S120
中，所述游离物在所述超纯水回收路径中与所述超纯水一同移动进行深度净化操作，通过设置凹凸棒材料吸附所述游离物，使得所述游离物与所述超纯水完全分离
。
[0011]优选地，在所述步骤
S120
中，在所述步骤
S120
中，所述凹凸棒材料为不同孔径的凹凸棒材料，包括纯化未改性安排凹凸棒土
、
超声改性凹凸棒土
、
锆改性凹凸棒土
。
[0012]优选地，多种不同孔径的凹凸棒材料混合设置于所述超纯水的流动通道中
。
[0013]优选地，在所述步骤
S130
中，将所述过滤后的超纯水进行加压处理，使过滤后的超纯水通过
RO
膜，将通过所述
RO
膜的所述超纯水进行回收
。
[0014]在本公开实施例中，一种超纯水加工回流复用工艺，直接在超纯水回收过程中进行超滤处理，以解决传统废水处理方法中成本过高
、
步骤繁琐的问题，以及处理废水操作过程中污堵渗透膜膜面，造成废水回收处理效果不理想，浪费大量资源等情况，使废水处理过程更加灵活
、
步骤更加便捷，且提升废水回收的效果
。
[0015]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，而非限制本公开
。
[0016]根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本公开的其它特征及方面将变得清楚
。
附图说明
[0017]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，这些附图示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于说明本公开的技术方案
。
[0018]图1示出根据本公开超纯水加工回流复用工艺的流程图
。
具体实施方式
[0019]以下将参考附图详细说明本公开的各种示例性实施例
、
特征和方面
。
附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件
。
尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图
。
[0020]在这里专用的词“示例性”意为“用作例子
、
实施例或说明性”。
这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例
。
[0021]本文中术语“和
/
或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，
A
和
/
或
B
，可以表示：单独存在
A
，同时存在
A
和
B
，单独存在
B
这三种情况
。
另外，本文中术语“至少一种”表示多种中的任意一种或多种中的至少两种的任意组合，例如，包括
A、B、C
中的至少一种，可以表示包括从
A、B
和
C
构成的集合中选择的任意一个或多个元素
。
[0022]另外，为了更好地说明本公开，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节
。
本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本公开同样可以实施
。
在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法
、
手段
、
元件和电路未作详细描述，以便于凸显本公开的主旨
。
[0023]可以理解，本公开提及的上述各个方法实施例，在不违背原理逻辑的情况下，均可以彼此相互结合形成结合后的实施例，限于篇幅，本公开不再赘述
。
[0024]在半导体制造过程中利用的水资源主要为超纯水，由于半导体行业日益发展且水资源日益紧缺，半导体制造过程中使用过的超纯水中具有多种物质，不便于直接回流使用
。
因此，人们对该超纯水进行处理再利用的意识也逐渐加强
。
又由于该使用过的超纯水中含有物质较多，对应的物质需要的处理方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种超纯水加工回流复用工艺，其特征在于，包括以下步骤：
S110、
进行阻垢操作，在超纯水回流过程中设置阻垢结构，使所述超纯水经过所述阻垢结构；
S120、
进行深度净化操作，利用不同孔径凹凸棒材料吸附超纯水中携带的游离物，将流动过程中的所述超纯水和所述游离物进行分离；
S130、
进行渗透操作，对通过所述步骤
S120
的所述超纯水加压，使其通过
RO
膜进行回收
。2.
根据权利要求1所述的超纯水加工回流复用工艺，其特征在于，在所述步骤
S110
中，所述阻垢结构分离超纯水中的大颗粒物质
。3.
根据权利要求1所述的超纯水加工回流复用工艺，其特征在于，在所述步骤
S120
中，在所述步骤
S120
中，所述游离物在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张永健，谢海，孙佳君，张家晖，
申请(专利权)人：高频北京科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：