一种用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法技术

本发明专利技术公开了一种用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法，包括将切割液废水通入废水调节池均质后进入厌氧生物处理单元，废水中大部分有机物被厌氧微生物降解去除；出水进入芬顿处理单元，部分难降解有机物进入芬顿反应器，在羟基自由基的强氧化下破环断链，芬顿出水进入综合调节池；同时，脱胶及排片清洗废水采用混凝沉淀和高效溶气气浮；切割液废水和脱胶及排片清洗废水经过各自预处理单元后，与生活废水以及

【技术实现步骤摘要】
一种用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法


[0001]本专利技术涉及切割大尺寸硅片废水处理方法
，尤其涉及一种用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法
。

技术介绍

[0002]硅片生产过程中会产生大量废水，切割废水中含有的
COD
主要来源于切片机切割过程中产生的切割废液，该废液
COD
高
、
难生化降解，后期脱胶及排片废水中
SS
浓度高
、
有机物浓度高，以及预处理后的切片废水
、
脱胶废水和生活污水即
ROR
浓水混合后仍有部分难降解有机物，一般的废水处理装置处理难度大
、
效果差，不利于全流程废水的达标排放
。

技术实现思路

[0003]本专利技术目的就是为了解决现有硅片生产全流程废水处理难度大
、
处理效果差的问题，提供了一种用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法，简化工艺流程，合理布置设备，结构紧凑，减小占地面积，节约投资和运行费用，提高全流程废水处理效率和效果，保证废水的顺利达标排放
。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法，具体步骤如下，包括：（1）预处理：切割液废水进入废水调节池均质，而后进入厌氧生物处理单元，废水中大部分有机物被厌氧微生物降解去除，
COD
含量下降；（2）芬顿处理：出水进入芬顿处理单元， 根据来水
COD
变化，进一步去除
COD
，为生化减负，同时部分难降解有机物进入芬顿反应器，在羟基自由基的强氧化下破环断链，进一步提高废水的可生化性，芬顿出水进入综合调节池；（3）物化处理：脱胶及排片清洗废水采用混凝沉淀和高效溶气气浮，通过投加药剂形成絮体先沉淀大部分
SS
，少量悬浮性
SS
可通过气浮来进一步处理；（4）水解酸化：切割液废水和脱胶及排片清洗废水经过各自预处理单元后，与生活废水以及
ROR
浓水混合均匀后进入水解酸化池，通过水解生化系统微生菌群，将大分子有机物断链，提高可生化性；（5）达标排放：通过好氧微生物菌群进一步降低
COD
，出水通过气浮深度处理后实现稳定达标排放
。
[0005]进一步地，所述步骤（1）中，所述厌氧生物处理单元包括投配池和
UASB
厌氧反应器，先将废水在投配池加温到合适温度，加入营养盐后，泵入
UASB
厌氧反应器内，在其高效活性厌氧污泥的作用下，完成水解酸化产乙酸
、
产甲烷，废水中大部分有机物被厌氧微生物降解去除，
COD
负荷得到大量削减，出水
COD
大幅下降
。
[0006]进一步地，所述步骤（1）中，厌氧生物处理单元产生的沼气进入常压锅炉回收热量
。
[0007]进一步地，所述步骤（2）中，芬顿工艺根据来水水质灵活开启，当来水的
COD
低时，
可直接排至综合调节池，或减少加药以节约成本
。
[0008]进一步地，所述步骤（1）和（2）中，在切割液废水预处理单元中，还可增加事故池和小型气浮，防止前面切割液大循环异常时带来的高
SS
，通过设置浊度计，当来水的
SS
高时，可切换至事故池，通过气浮处理降低
SS
后，再进入厌氧投配池进行后续处理
。
[0009]进一步地，所述步骤（3）中，通过投加混凝剂和絮凝剂，在合理的
PH
值范围之内，废水中的胶体和悬浮物与药剂会发生压缩双电层作用
、
电中和作用和吸附桥架作用，三种作用所引起的凝聚和絮凝成为混凝，混凝后的絮体靠自身重力沉降后形成污泥层，从而达到去除
SS
的目的
。
[0010]进一步地，所述步骤（3）中，水中比重较轻颗粒与水进行固液分离，通过回流泵，利用溶气罐内的射流器，将空压机供给的空气在溶气罐内通过折流板和射流器混合，在高压的情况下将空气溶于水，利用溶气水释放器，溶气水压力突然减少，产生微细气泡，絮体附着在小气泡之上，造成其整体比重小于水，而迅速浮升至水面，形成浮渣，从而实现
SS
的去除，清水流入下一道工序，浮渣自浮渣收集池流进浮渣槽内
。
[0011]进一步地，所述步骤（3）中，物化处理单元产生的污泥由污泥泵输送到隔膜板框压滤机最大化减容处理，考虑脱胶硅泥有外卖的经济价值，因此将芬顿系统产泥单独处理，也可混入生化污泥一并处理，生化污泥采用叠螺脱水机脱水，系统产生的泥饼外运进行综合处理利用
。
[0012]本专利技术的技术方案中，通过针对每种类型的废水所具有的特点，针对性地采用不同工艺进行处理，而后混合统一净化，不仅能够实现水处理后排放各项出水水质指标均达到排放标准和建设单位要求的回用水质要求，而且工艺流程简捷，设备布置合理，结构紧凑，占地面积少，投资和运行费用省，此外，操作管理方便，技术要求简单，最大程度地实现自动化控制，提高废水净化效率和处理效果
。
附图说明
[0013]图1为本专利技术的用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法概括流程图；图2为本专利技术的用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法细化流程图
。
实施方式实施例
[0014]为使本专利技术更加清楚明白，下面结合附图对本专利技术的一种用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法进一步说明，此处所描述的具体实施例仅用于解释本专利技术，并不用于限定本专利技术
。
[0015]参见图1和图2，一种用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法，具体步骤如下，其特征在于：（一）切割液废水预处理：切割液废水进入废水调节池均质，而后进入厌氧生物处理单元，废水中大部分有机物被厌氧微生物降解去除，
COD
含量下降，具体如下：厌氧：厌氧生物处理单元包括投配池和
UASB
厌氧反应器，先将废水在投配池加温到合适温度，加入营养盐后，泵入
UASB
厌氧反应器内，在其高效活性厌氧污泥的作用下，完
成水解酸化产乙酸
、
产甲烷，废水中大部分有机物被厌氧微生物降解去除，
COD
负荷得到大量削减，出水
COD
大幅下降，厌氧生物处理单元产生的沼气进入常压锅炉回收热量
。
[0016]芬顿：出水进入芬顿处理单元， 根据来水
COD
变化，进一步去除
COD
，为生化减负，同时部分难降解有机物进入芬顿反应器，在羟基自由基的强氧化下破环断链，进一步提高废水的可生化性，芬顿工艺根据来水水质灵活开启，当来水的
COD
低时，可直接排至综合调节池，或减少加药以节约成本，芬顿出水进入综合调节池
。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法，具体步骤如下，其特征在于：（1）预处理：切割液废水进入废水调节池均质，而后进入厌氧生物处理单元，废水中大部分有机物被厌氧微生物降解去除，
COD
含量下降；（2）芬顿处理：出水进入芬顿处理单元，根据来水
COD
变化，进一步去除
COD
，为生化减负，同时部分难降解有机物进入芬顿反应器，在羟基自由基的强氧化下破环断链，芬顿出水进入综合调节池；（3）物化处理：脱胶及排片清洗废水采用混凝沉淀和高效溶气气浮，通过投加药剂形成絮体先沉淀大部分
SS
，少量悬浮性
SS
可通过气浮进一步处理；（4）水解酸化：切割液废水和脱胶及排片清洗废水经过各自预处理单元后，与生活废水以及
ROR
浓水混合均匀后进入水解酸化池，通过水解生化系统微生菌群，将大分子有机物断链；（5）达标排放：通过好氧微生物菌群进一步降低
COD
，出水通过气浮深度处理后实现稳定达标排放
。2.
根据权利要求1所述的用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法，其特征在于：所述步骤（1）中，所述厌氧生物处理单元包括投配池和
UASB
厌氧反应器，先将废水在投配池加温到合适温度，加入营养盐后，泵入
UASB
厌氧反应器内，在其高效活性厌氧污泥的作用下，完成水解酸化产乙酸
、
产甲烷，废水中大部分有机物被厌氧微生物降解去除，
COD
负荷得到大量削减，出水
COD
大幅下降
。3.
根据权利要求1或2所述的用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法，其特征在于：所述步骤（1）中，厌氧生物处理单元产生的沼气进入常压锅炉回收热量
。4.
根据权利要求1或2所述的用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法，其特征在于：所述步骤（2）中，芬顿工艺根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：董凯，王艺澄，刘传君，冯琰，
申请(专利权)人：四川美科新能源有限公司浙江美科太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：