一种埚托及单晶炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种埚托，包括埚托主体、保温层和埚托底板，其中埚托主体上开设有空腔，保温层填充于空腔中，埚托底板固定于埚托主体上，覆盖保温层。本实用新型专利技术提供的埚托，通过在埚托主体中装填保温层，提升了埚托的保温隔热性能，可以有效减少热量损失，降低能耗，同时降低熔体的纵向温度梯度，削弱对流，达到降氧的目的，从而提高晶棒的品质。埚托底板的设置可以可以对保温层起到保护作用，防止保温层损坏。本实用新型专利技术还公开了一种单晶炉。本实用新型专利技术还公开了一种单晶炉。本实用新型专利技术还公开了一种单晶炉。

【技术实现步骤摘要】
一种埚托及单晶炉


[0001]本技术涉及单晶硅生产
，尤其涉及一种埚托及单晶炉。

技术介绍

[0002]现有直拉硅单晶热场工作环境中，埚托一般为碳碳复合材料或石墨材料制成的整体件，碳碳复合材料和石墨材料均是良导体，会将热量通过埚托、托杆导入炉底，造成热量的损失，导致能耗上升，同时使得熔体内部的温度梯度拉大，对流加强，增加了氧进入晶棒的几率，导致晶棒的品质降低。
[0003]因此，如何减少埚托的热量损失，缩小熔体纵向的温度梯度，减小对流，实现降氧降耗，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种埚托，减少热量损失，缩小熔体的纵向温度梯度，减小对流，实现降氧降耗；
[0005]本技术的另一目的在于提供一种单晶炉。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：
[0007]一种埚托，包括：
[0008]埚托主体，所述埚托主体上开设有空腔；
[0009]保温层，所述保温层填充于所述空腔；
[0010]埚托底板，固定于所述埚托主体上，以覆盖所述保温层。
[0011]可选地，在上述埚托中，所述保温层覆盖所述埚托主体的底部。
[0012]可选地，在上述埚托中，所述埚托底板通过紧固件与所述埚托主体相连。
[0013]可选地，在上述埚托中，所述紧固件为紧固螺栓，所述埚托底板和所述保温层上均开设有安装孔，所述埚托主体上开设有螺纹孔，所述紧固螺栓穿过所述安装孔，与所述螺纹孔螺纹配合。
[0014]可选地，在上述埚托中，所述空腔和所述埚托底板的形状均为圆形，所述保温层的直径不小于所述埚托底板的直径。
[0015]可选地，在上述埚托中，所述埚托底板的底面与所述埚托主体的底面为同一个平面。
[0016]可选地，在上述埚托中，所述保温层为为石墨碳毡或碳纤维毡。
[0017]可选地，在上述埚托中，所述埚托主体、和所述埚托底板采用碳碳复合材料、石墨材料或陶瓷材料。
[0018]可选地，在上述埚托中，所述埚托主体的上表面中心向内凹陷，形成碟状结构，所述埚托主体的底部设置有环形凸起，所述埚托底板设置于所述环形凸起处。
[0019]本技术提供了一种埚托，包括埚托主体、保温层和埚托底板，其中埚托主体上开设有空腔，保温层填充于空腔中，埚托底板固定于埚托主体上，覆盖保温层。本技术
提供的埚托，通过在埚托主体中装填保温层，提升了埚托的保温隔热性能，可以有效减少热量损失，降低能耗，同时降低熔体的纵向温度梯度，削弱对流，达到降氧的目的，从而提高晶棒的品质。埚托底板的设置可以对保温层起到保护作用，防止保温层损坏。
[0020]一种单晶炉，包括埚托，所述埚托为如上任一项所述的埚托。
[0021]本技术公开的单晶炉，由于具有上述埚托，因此兼具上述埚托的所有技术效果，本文在此不再赘述。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本技术实施例公开的埚托的剖视图；
[0024]图2为本技术实施例公开的埚托的整体结构示意图一；
[0025]图3为本技术实施例公开的埚托的整体结构示意图二。
[0026]图1
‑
图3中的各项附图标记的含义如下：
[0027]110为埚托主体，120为保温层，130为埚托底板，140为紧固件。
具体实施方式
[0028]本技术的核心在于提供一种埚托，减少热量损失，缩小熔体的纵向温度梯度，减小对流，实现降氧降耗；
[0029]本技术的另一核心在于提供一种单晶炉。
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]如图1所示，本技术实施例公开了一种埚托，包括埚托主体110、保温层120和埚托底板130。
[0032]其中埚托主体110上开设有空腔，保温层120填充于空腔内，埚托底板130固定于埚托主体110上，覆盖保温层，使得保温层120内嵌于埚托主体110中。具体的，保温层120的覆盖范围应尽可能大，以增加埚托主体110的保温隔热性能，空腔的具体形状不做限定，可以为圆形，也可以为矩形或其它形状。需要说明的是，保温层120的具体材料不做限定，只要能起到保温隔热性能即可。埚托底板130的设置可以对保温层120起到保护作用，防止保温层120损坏，影响保温层120的性能。
[0033]本技术实施例公开的埚托，保温层120填充于埚托主体110开设的空腔内，可以提升埚托的保温隔热性能，有效减少热量损失，降低能耗，同时降低熔体的纵向温度梯度，削弱对流，达到降氧的目的，从而提高晶棒的品质。
[0034]如图1所示，为了最大程度发挥保温层120的保温隔热作用，提高埚托的保温隔热性能，在本技术一具体实施例中，保温层120覆盖埚托主体110的底部，如此设置可以尽
可能大的保证保温层120的覆盖范围，从而减少热量损失。
[0035]为了使得埚托底板130和埚托主体110组成一体式结构，在本技术一具体实施例中，埚托底板130通过紧固件140与埚托主体110相连，紧固件的具体类型不做限定。
[0036]在上述实施例的基础上，紧固件140为紧固螺栓，具体的，埚托底板130和保温层120上均开设有安装孔，埚托主体110上开设有螺纹孔，紧固螺栓穿过开设于埚托底板130和保温层120上的安装孔，与螺纹孔螺纹配合。如图3所示，在本技术一具体实施例中，埚托底板130上开设有多个安装孔，且多个安装孔呈圆形布置，埚托主体110上开设的螺纹孔与安装孔一一对应，紧固件140与安装孔和螺纹孔配合，实现埚托底板130与埚托主体110固定连接，多个紧固件140的设置可以保证埚托底板130与埚托主体110连接的牢固性。紧固件140为碳碳复合材料或石墨材料。
[0037]如图1所示，在本技术一具体实施例中，空腔和埚托底板130的形状均为圆形，且保温层120的直径不小于埚托底板130的直径，即保温层120的直径等于或大于埚托底板130的直径。
[0038]如图2所示，在本技术一具体实施例中，埚托底板130的底面与埚托主体110的底面为同一个平面，即埚托底板130内嵌于埚托主体110内，可以保证埚托底面的平整度，方便连接托杆。本领域技术人员可以理本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种埚托，其特征在于，包括：埚托主体(110)，所述埚托主体(110)上开设有空腔；保温层(120)，所述保温层(120)填充于所述空腔；埚托底板(130)，固定于所述埚托主体(110)上，以覆盖所述保温层(120)。2.如权利要求1所述的埚托，其特征在于，所述保温层(120)覆盖所述埚托主体(110)的底部。3.如权利要求2所述的埚托，其特征在于，所述埚托底板(130)通过紧固件(140)与所述埚托主体(110)相连。4.如权利要求3所述的埚托，其特征在于，所述紧固件(140)为紧固螺栓，所述埚托底板(130)和所述保温层(120)上均开设有安装孔，所述埚托主体(110)上开设有螺纹孔，所述紧固螺栓穿过所述安装孔，与所述螺纹孔螺纹配合。5.如权利要求2所述的埚托，其特征在于，所述空腔和所述埚托底板(130)的形状均为圆形，所述保温层(120)的直径不小于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张正，刘霞，李文斌，
申请(专利权)人：双良硅材料包头有限公司，
类型：新型
国别省市：