检查装置是对形成有多个发光元件的样品进行检查的检查装置，具备：激发光源，其产生照射至样品的激发光；分色镜，其将来自样品的荧光通过根据波长使其透过或反射而分离；相机，其对经分色镜反射的荧光进行摄像；相机，其对透过分色镜的荧光进行摄像；及控制装置，其基于由相机所取得的第1荧光图像、与由相机所取得的第2荧光图像导出发光元件的色斑信息；分色镜中的透过率及反射率根据波长的变化而变化的波段的宽度即边缘移变宽度，较发光元件的正常荧光光谱的半峰全宽更宽。正常荧光光谱的半峰全宽更宽。正常荧光光谱的半峰全宽更宽。
【技术实现步骤摘要】
检查装置及检查方法
[0001]本申请是申请日为2020年1月29日、申请号为202080024982.1、专利技术名称为检查装置及检查方法的专利申请的分案申请。
[0002]本专利技术的一方式涉及一种检查装置及检查方法。
技术介绍
[0003]作为对晶圆上所形成的发光元件组的良好
·
不良进行判定的方法，已知有一种对发光元件所发出的光致发光进行观察，基于该光致发光的亮度进行发光元件的好坏判定的方法(例如参照专利文献1)。
[0004]在专利文献1所记载的方法中，将发光元件所发出的光致发光(详细而言为荧光)通过光学元件分离为长波长侧与短波长侧，通过2台摄像部同时测量各自的图像。根据这样的结构，可基于长波长侧及短波长侧的亮度值的比率导出发光元件的色斑信息。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2015
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10834号公报
技术实现思路
[0008]专利技术所要解决的问题
[0009]此处，作为将荧光分离为长波长侧与短波长侧的光学元件，例如有反射特定波长的光并使其他波长的光透过的分色镜。在这样的光学元件中，无法恰当地分离波长宽度狭窄的荧光成为问题。在荧光未根据波长被恰当地分离的情况下，有无法高精度地导出发光元件的色斑的担忧。
[0010]本专利技术的一方式鉴于上述实际情况而完成，其目的在于，通过根据波长将荧光恰当地分离而高精度地导出发光元件的色斑。
[0011]解决问题的技术手段
[0012]本专利技术的一方式的检查装置是对形成有多个发光元件的对象物进行检查的检查装置，具备：激发光源，其产生照射至对象物的激发光；光学元件，其将来自对象物的荧光通过根据波长使其透过或反射而分离；第1摄像部，其对经光学元件反射的荧光进行摄像；第2摄像部，其对透过光学元件的荧光进行摄像；及处理部，其基于由第1摄像部所取得的第1荧光图像、及由第2摄像部所取得的第2荧光图像导出发光元件的色斑信息；光学元件中的透过率及反射率根据波长的变化而变化的波段的宽度即边缘移变宽度，较发光元件的正常荧光光谱的半峰全宽更宽。
[0013]在本专利技术的一方式的检查装置中，使光学元件中的透过率及反射率根据波长的变化而变化的波段的宽度即边缘移变宽度较发光元件的正常荧光光谱的半峰全宽更宽。例如在使用边缘移变宽度狭窄的光学元件的情况下，容易变得难以将波长宽度狭窄的荧光恰当
地分离。就该方面而言，通过如本专利技术的一方式的检查装置那样使用边缘移变宽度较正常荧光光谱的半峰全宽更宽的光学元件，即考虑荧光的波长宽度而使用相对于其充分宽的光学元件，可将荧光根据波长容易地分离。由此，可自基于根据波长所分离的各荧光的第1荧光图像及第2荧光图像高精度地导出色斑信息。
[0014]在上述检查装置中，光学元件的边缘移变宽度也可为150nm以下。在将边缘移变宽度设得过宽的情况下，有如下担忧，即光学元件的分辨率降低，而对将荧光分离为短波长侧与长波长侧这一光学元件的原本的功能产生影响，就该方面而言，通过将边缘移变宽度设为较正常荧光光谱的半峰全宽更宽且为150nm以下，可对应波长宽度狭窄的荧光并且将荧光容易地分离为短波长侧与长波长侧。
[0015]在上述检查装置中，光学元件也可为分色镜。根据这样的结构，可根据波长将荧光容易地分离。
[0016]在上述检查装置中，处理部也可还考虑光学元件中的相对于波长的变化的透过率或反射率的变化比率而导出发光元件的色斑信息。色斑信息例如考虑所分离的各荧光图像的亮度的比等而导出。认为在使用边缘移变宽度较宽的光学元件的情况下，由于透过率及反射率根据波长的变化而变化，因而各荧光图像的亮度的比与使用通常光学元件(边缘移变宽度狭窄的光学元件)的情况不同。就该方面而言，通过考虑光学元件中的相对于波长的变化的透过率或反射率的变化比率而导出色斑信息，可排除因使用边缘移变宽度较宽的光学元件造成的影响而高精度地导出色斑信息。
[0017]在上述检查装置中，处理部也可导出多个发光元件间的色斑信息。由此，可输出对象物单位的色斑信息，例如可进行各发光元件的好坏判定等。
[0018]在上述检查装置中，处理部也可导出各发光元件内的色斑信息。由此，可输出发光元件单位的色斑信息，例如可特定各发光元件内的异常部位等。
[0019]在上述检查装置中，处理部也可对荧光图像的各像素修正与摄像部的视野内的位置对应的波长偏移。自对象物入射至光学元件的光的角度根据摄像部的视野内的位置而不同。于是，向光学元件的入射角度的不同会产生荧光的中心波长的不同(波长偏移)。即，根据视野内的位置而产生各像素的荧光的中心波长的不同(波长偏移)。就该方面而言，如上所述，通过修正与摄像部的视野内的位置对应的波长偏移，可抑制起因于视野内的位置的波长偏移，而恰当地取得各像素的原本荧光。
[0020]在上述检查装置中，处理部也可基于根据视野内的位置而推定的关于各像素的荧光向光学元件的入射角度、及关于与荧光的入射角度对应的波长的变化量的光学元件的光学特性对各像素修正波长偏移。通过预先特定视野内的位置与向光学元件的入射角度的关系、及与入射角度对应的波长的变化量，可自视野内的位置导出关于该像素的波长的变化量，因此关于各像素，可容易且恰当地修正波长偏移。
[0021]在上述检查装置中，处理部也可以视野内的各像素的波长的分散变小的方式对各像素修正波长偏移。由此，视野内的各像素的荧光的中心波长的偏差得到抑制，因此可恰当地修正起因于视野内的位置的波长偏移。
[0022]上述检查装置也可还具备将荧光按各个波长进行分解并测量光谱的分光器，且处理部在导出色斑信息的前进行的预处理中，基于光谱特定作为原本的荧光强度的第1荧光强度、及作为小于该第1荧光强度的异常荧光强度的第2荧光强度，以第1荧光强度与第2荧
光强度相比大规定值以上的方式决定照射至对象物的激发光的照明亮度，激发光源产生由处理部所决定的照明亮度的激发光。与起因于杂质或缺陷的异常荧光相比，原本荧光的激发光的照明亮度变高的情况下的增大率较大。即，在激发光的照明亮度较低的情况下，原本荧光与异常荧光的强度的不同较小而有原本荧光被异常荧光掩盖的担忧，相对于此，在激发光的照明亮度较高的情况下，原本荧光与异常荧光的强度的不同变大而抑制原本荧光被异常荧光掩盖。如上所述，通过于预处理中，以作为原本的荧光强度的第1荧光强度与作为异常荧光强度的第2荧光强度相比充分地变大的方式决定激发光的照明亮度，可以原本荧光不被掩盖的方式决定激发光的照明亮度，从而可准确地导出色斑信息。
[0023]上述检查装置也可为，处理部在通过利用激发光源产生所决定的照明亮度的激发光并在第1摄像部及第2摄像部中摄像荧光，而向第1摄像部及第2摄像部的至少一者的入射光量饱和的情况下，在饱和的摄像部的前段插入限制光量的滤波器。由此，即使在使激发光的照明亮度变高的情况下，也可适当地防止摄像部饱和。
[0024]在上述检查装置中，激发光源也可产生作为本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种检查装置，其中，是对多个发光元件进行检查的检查装置，具备：激发光源，其产生照射至所述发光元件的激发光；光学元件，其将来自所述发光元件的荧光通过根据波长使其透过或反射而分离，且在规定的波段中，相对于波长的透过率或反射率单调增加；第1传感器，其自经所述光学元件反射的荧光检测反射光量；第2传感器，其自透过所述光学元件的荧光检测透过光量；及处理部，其基于所述透过光量和所述反射光量的差与所述透过光量和所述反射光量的和之比，导出来自所述发光元件的荧光的中心波长。2.如权利要求1所述的检查装置，其中，所述处理部基于所述透过光量和所述反射光量的差与所述透过光量和所述反射光量的和之比导出自所述光学元件中透过率或反射率成为50％的所述光学元件的波长起的偏移量，并自所述光学元件的波长和所述偏移量导出所述发光元件的中心波长。3.如权利要求2所述的检查装置，其中，所述光学元件为分色镜。4.如权利要求1～3中任一项所述的检查装置，其中，作为所述光学元件中的透过率及反射率根据波长的变化而变化的波段的宽度的边缘移变宽度为150nm以下。5.如权利要求1～3中任一项所述的检查装置，其中，所述处理部导出所述多个发光元件间的荧光的中心波长。6.如权利要求5所述的检查装置，其中，所述处理部基于根据所述传感器的视野内的位置推定的关于各像素的所述荧光向所述光学元件的入射角度、及关于与所述荧光的入射角度对应的波长的变化量的所述光学元件的光学特性，对各像素修正波长偏移。7.如权利要求5所述的检查装置，其中，所述处理部以所述传感器的视野内的各像素的波长的分散变小的方式对各像素修正波长偏移。8.如权利要求1～3中任一项所述的检查装置，其中，还具备将所述荧光按各个波长进行分解并测量光谱的分光器，所述处理部在导出所述荧光的中心波长之前进行的预处理中，基于所述光谱特定作为原本的荧光强度的第1荧光强度、及作为小于该第1荧光强度的异常荧光强度的第2荧光强度，并以所述第1荧光强度与所述第2荧光强度相比大规定值以上的方式决定照射至所述发光元件的所述激发光的照明亮度，所述激发光源产生由所述处理部所决定的所述照明亮度的所述激发光。9.如权利要求8所述的检查装置，其中，所述处理部在通过利用所述激发光源产生所决定的所述照明亮度的所述激发光并在所述第1传感器及所述第2传感器中检测荧光，而在向所述第1传感器及所述第2传感器的至少任一者的入射光量饱和的情况下，在饱和的传感器的前段插入限制光量的滤波器。
10.如权利要求8所述的检查装置，其中，所述激发光源产生作为脉冲光的所述激发光。11.如权利要求10所述的检查装置，其中，所述处理部在通过利用所述激发光源产生所决定的所述照明亮度的所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：中村共则，池村贤一郎，大高章弘，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：
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