实用新型专利技术涉及高压炉领域，特别是一种翻转机构及用于制备磷化铟单晶的高压炉，本实用新型专利技术通过设置液压缸，通过液压缸液压变化推动液压杆，液压杆带动第一转杆，第一转杆带动支撑座，支撑座带动高压炉进行转动，解决了对高压炉进行便捷拆装和维修的问题，通过设置圆环、分别设于圆环端部的第一滑槽和第二滑槽、活动配合于第一滑槽内的第二齿条和固定连接于第二齿条端部的夹板相互配合，实现了对不同尺寸的坩埚进行夹持。的坩埚进行夹持。的坩埚进行夹持。
【技术实现步骤摘要】
一种翻转机构及用于制备磷化铟单晶的高压炉
[0001]本技术涉及高压炉领域，特别是一种翻转机构及用于制备磷化铟单晶的高压炉。
技术介绍
[0002]随着光纤通信、高速电子器件、高效太阳能电池以及激光二极管的快速发展，人们对大直径、高纯度的单晶体磷化铟(InP)的需求越来越迫切。单晶体InP尤其适合作为一种结构材料制造用于晶格匹配的光纤源与检测器、高速集成电路以及高频微波装置的衬底。
[0003]现有技术中制备磷化铟所使用高压炉不具备翻转的功能，导致需要认为使用吊装工具对高压炉进行拆装和维修，使用吊装工具费时费力，另外，现有技术中制备磷化铟时需要将坩埚固定在高压炉中，对型号大小不同的坩埚难以进行夹持。
技术实现思路
[0004]本部分的目的在于概述本技术的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和技术名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本技术的范围。
[0005]鉴于上述或现有技术中存在的制备磷化铟所使用高压炉不具备翻转的功的问题，提出了本技术。
[0006]因此，本技术的目的是提供一种翻转机构。
[0007]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：转动组件，包括有立柱、分别设于所述立柱外的第一转杆和第二转杆，且所述第一转杆和第二转杆远离立柱的一端活动连接有支撑座；以及，
[0008]容纳组件，包括有可与所述支撑座活动配合的高压炉。
[0009]作为本技术...组件的一种优选方案，其中：所述立柱与所述第一转杆铰接，所述立柱和第二转杆铰接。
[0010]作为本技术...组件的一种优选方案，其中：所述立柱端部固定连接有底座，所述底座端部铰接有液压缸，所述液压缸内活动连接有液压杆，所述液压杆与所述第一转杆活动连接。
[0011]作为本技术...组件的一种优选方案，其中：所述底座外壁固定连接有支撑杆，所述支撑杆外壁固定连接有扶手，所述扶手外转动连接有万向轮，所述底座远离所述万向轮一侧转动设有滚轮。
[0012]本技术的翻转机构有益效果：本技术通过设置液压缸，通过液压缸液压变化推动液压杆，液压杆带动第一转杆，第一转杆带动支撑座，支撑座带动高压炉进行转动，解决了对高压炉进行便捷拆装和维修的问题。
[0013]鉴于在实际使用过程中，还存在对型号大小不同的坩埚难以进行夹持问题。
[0014]为解决上述技术问题，本技术还提供如下技术方案：一种用于制备磷化铟单晶的高压炉包括传动组件，包括有设于所述高压炉内的支撑架、转动设于所述支撑架内的驱动齿轮、啮合连接于所述驱动齿轮内的第一齿条和啮合连接于所述第一齿条的第一从动齿轮；以及，夹持组件，包括有设于所述支撑架端部的圆环、分别设于所述圆环端部的第一滑槽和第二滑槽、活动配合于所述第一滑槽内的第二齿条和固定连接于所述第二齿条端部的夹板。
[0015]作为本技术用于制备磷化铟单晶的高压炉的一种优选方案，其中：所述旋钮端部固定连接有第四转杆，且所述第四转杆转动连接在所述高压炉炉壁内，所述旋钮端面滑动设有滑块，所述滑块远离所述旋钮端面的一侧与所述滑杆固定连接，所述滑杆外壁固定连接有压紧弹簧，所述旋钮内开设有第三滑槽，所述第三滑槽与所述限位杆滑动配合。
[0016]作为本技术用于制备磷化铟单晶的高压炉的一种优选方案，其中：所述第四转杆与所述驱动齿轮固定连接。
[0017]作为本技术用于制备磷化铟单晶的高压炉的一种优选方案，其中：所述圆环靠近所述支撑架的端部开设有与所述支撑架连通的通孔，所述通孔与所述第一从动齿轮活动配合，所述圆环内转动连接有齿圈，所述齿圈外壁开设有齿槽，所述齿槽与所述第一从动齿轮啮合配合。
[0018]作为本技术用于制备磷化铟单晶的高压炉的一种优选方案，其中：所述齿圈内啮合配合有第二从动齿轮，所述第二从动齿轮还与所述第二齿条啮合配合。
[0019]作为本技术用于制备磷化铟单晶的高压炉的一种优选方案，其中：所述第二从动齿轮的数量共有六个且阵列设于所述圆环内且六个所述第二从动齿轮均与所述齿圈啮合连接。
[0020]本技术的用于制备磷化铟单晶的高压炉的有益效果：通过设置圆环、分别设于圆环端部的第一滑槽和第二滑槽、活动配合于第一滑槽内的第二齿条和固定连接于第二齿条端部的夹板相互配合，实现了对不同尺寸的坩埚进行夹持。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：
[0022]图1为翻转机构的侧示图。
[0023]图2为旋钮的内部结构示意图。
[0024]图3为高压炉剖视图。
[0025]图4为高压炉另一剖面视图。
[0026]图5为夹持组件剖切图。
具体实施方式
[0027]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合说明书附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。
[0028]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是本技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似推广，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0029]其次，此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本技术至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本说明书中不同地方出现的“在一个实施例中”并非均指同一个实施例，也不是单独的或选择性的与其他实施例互相排斥的实施例。
[0030]实施例1
[0031]参照图1，为本技术第一个实施例，该实施例提供了一种翻转机构，本技术通过设置液压缸102，通过液压缸102液压变化推动液压杆102a，液压杆102a带动第一转杆103，第一转杆104带动支撑座105，支撑座105带动高压炉201进行转动，解决了对高压炉201进行不能翻转，不能便捷拆装和维修的问题
[0032]具体的，转动组件100，包括有立柱101、分别设于立柱101外的第一转杆103和第二转杆104，且第一转杆103和第二转杆104远离立柱101的一端活动连接有支撑座105；以及，容纳组件200，包括有可与支撑座105活动配合的高压炉201。立柱101与第一转杆103铰接，立柱101和第二转杆104铰接。立柱101端部固定连接有底座106，底座106端部铰接有液压缸102，液压缸102内活动连接有液压杆102a，液压杆102a与第一转杆103活动连接。底座106外壁固定连接有支撑杆106a，支撑杆106a外壁固定连接有扶手107a，扶手107a外转动连接有万向轮108，底座1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种翻转机构，其特征在于：包括，转动组件(100)，包括有立柱(101)、分别设于所述立柱(101)外的第一转杆(103)和第二转杆(104)，且所述第一转杆(103)和第二转杆(104)远离立柱(101)的一端活动连接有支撑座(105)；以及，容纳组件(200)，包括有可与所述支撑座(105)活动配合的高压炉(201)。2.如权利要求1所述的翻转机构，其特征在于：所述立柱(101)与所述第一转杆(103)铰接，所述立柱(101)和第二转杆(104)铰接。3.如权利要求2所述的翻转机构，其特征在于：所述立柱(101)端部固定连接有底座(106)，所述底座(106)端部铰接有液压缸(102)，所述液压缸(102)内活动连接有液压杆(102a)，所述液压杆(102a)与所述第一转杆(103)活动连接。4.如权利要求3所述的翻转机构，其特征在于：所述底座(106)外壁固定连接有支撑杆(106a)，所述支撑杆(106a)外壁固定连接有扶手(107a)，所述扶手(107a)外转动连接有万向轮(108)，所述底座(106)远离所述万向轮(108)一侧转动设有滚轮(109)。5.一种用于制备磷化铟单晶的高压炉，其特征在于：包括权利要求1～4任一所述的翻转机构，以及，限位组件(300)，包括有活动设于所述高压炉(201)端部的旋钮(301)，设于所述旋钮(301)内的滑杆(303)、铰接于所述滑杆(303)外壁的第三转杆(305)和活动连接于所述第三转杆(305)外壁的限位杆(307)；以及，传动组件(400)，包括有设于所述高压炉(201)内的支撑架(401)、转动设于所述支撑架(401)内的驱动齿轮(402)、啮合连接于所述驱动齿轮(402)内的第一齿条(403)和啮合连接于所述第一齿条(403)的第一从动齿轮(404)；以及，夹持组件(500)，包括有设于所...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁韶阳，于会永，赵春锋，赵中阳，
申请(专利权)人：南京集溢半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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