晶棒输送托盘制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶棒输送托盘，涉及晶棒运输技术领域，包括底座、支撑件及加强筋，支撑件为多个，且沿预设方向间隔布置于底座，加强筋为两个，且沿预设方向分别设置于支撑件的两侧，全部的支撑件均通过加强筋与底座固定；每个支撑件均设有V型支撑槽，多个V型支撑槽共同形成沿预设方向延伸并用于支撑晶棒的支撑通道；加强筋包括相互连接呈L型的第一加强段及第二加强段，第一加强段与支撑件连接，第二加强段与底座连接。加强筋能够便于用户装配支撑件，提高支撑件的稳定性及可靠性，保证支撑通道沿预设方向延伸，V型支撑槽能够防止晶棒滚动甚至掉落，从而保证晶棒在运输过程中的稳定性及可靠性，降低安全隐患。降低安全隐患。降低安全隐患。

【技术实现步骤摘要】
晶棒输送托盘


[0001]本技术涉及晶棒运输
，特别是一种晶棒输送托盘。

技术介绍

[0002]晶棒在制备完成后需要进行多项检测才能够并送入切片机内加工形成硅片。在相关现有技术中，主要以人工或搬运托盘等方式将晶棒搬运至各个检测平台和切片机上。
[0003]但是，人工搬运的搬运效率较低，劳动强度较大；而搬运托盘的稳定性及可靠性较差，晶棒在运输过程中容易被磨损，或者在托盘上发生滚动甚至掉落，存在安全隐患。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对上述问题，提供一种晶棒输送托盘，该晶棒输送托盘能够提高晶棒运输的稳定性及可靠性。
[0005]本技术提供一种晶棒输送托盘，包括：底座；支撑件，所述支撑件为多个，且沿预设方向间隔布置于所述底座；以及，加强筋，所述加强筋为两个，且沿所述预设方向分别设置于所述支撑件的两侧，全部的所述支撑件均通过所述加强筋与所述底座固定；其中，每个所述支撑件均设有V型支撑槽，多个所述V型支撑槽共同形成沿所述预设方向延伸并用于支撑晶棒的支撑通道；所述加强筋包括相互连接呈L型的第一加强段及第二加强本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒输送托盘，其特征在于，包括：底座（1）；支撑件（2），所述支撑件（2）为多个，且沿预设方向间隔布置于所述底座（1）；以及，加强筋（3），所述加强筋（3）为两个，且沿所述预设方向分别设置于所述支撑件（2）的两侧，全部的所述支撑件（2）均通过所述加强筋（3）与所述底座（1）固定；其中，每个所述支撑件（2）均设有V型支撑槽（21），多个所述V型支撑槽（21）共同形成沿所述预设方向延伸并用于支撑晶棒的支撑通道；所述加强筋（3）包括相互连接呈L型的第一加强段（31）及第二加强段（32），所述第一加强段（31）与所述支撑件（2）连接，所述第二加强段（32）与所述底座（1）连接。2.根据权利要求1所述的晶棒输送托盘，其特征在于，沿所述预设方向，所述支撑件（2）的两侧均设有卡槽（22），所述第一加强段（31）卡设于所述卡槽（22）内。3.根据权利要求1所述的晶棒输送托盘，其特征在于，所述晶棒输送托盘还包括两个把手（4），沿所述预设方向，两个所述把手（4）间隔设置于所述底座（1）的两端。4.根据权利要求3所述的晶棒输送托盘，其特征在于，所述把手（4）设有与所述V型支撑槽（21）对应的避让槽（41），所述避让槽（41）的底壁设有第一缓冲件（42）。5.根据权利要求3所述的晶棒输...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫利军，张斌，任腾飞，王宇，袁帅，白恒忠，吴兴平，张志雄，张宏宇，赵志磊，
申请(专利权)人：内蒙古盛欧机电工程有限公司，
类型：新型
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