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本实用新型涉及一种晶棒输送托盘,涉及晶棒运输技术领域,包括底座、支撑件及加强筋,支撑件为多个,且沿预设方向间隔布置于底座,加强筋为两个,且沿预设方向分别设置于支撑件的两侧,全部的支撑件均通过加强筋与底座固定;每个支撑件均设有V型支撑槽,多个...该专利属于内蒙古盛欧机电工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古盛欧机电工程有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种晶棒输送托盘,涉及晶棒运输技术领域,包括底座、支撑件及加强筋,支撑件为多个,且沿预设方向间隔布置于底座,加强筋为两个,且沿预设方向分别设置于支撑件的两侧,全部的支撑件均通过加强筋与底座固定;每个支撑件均设有V型支撑槽,多个...