一种氩气泄漏检测装置及单晶炉制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种氩气泄漏检测装置及单晶炉，包括：回收管路；非氩气传感器，位于回收管路内；及扩容件，位于所述回收管路内并开设有通气口，所述扩容件具有封闭状态和打开状态，在打开状态下，所述通气口导通，以允许氩气从回收管路一端流动至另一端，在封闭状态下，所述回收管路和所述扩容件围成封闭的检测腔，且所述扩容件在所述回收管路轴向上可移动地设置，以改变所述检测腔的体积，所述非氩气传感器位于所述检测腔内。通过扩容件的移动，逐渐增加检测腔的体积，从而降低检测腔内气压，当回收管路侧壁上的泄漏点与检测腔连通，则回收管路外侧空气就会直接流入检测腔，从而被非氩气传感器检测到。氩气传感器检测到。氩气传感器检测到。

【技术实现步骤摘要】
一种氩气泄漏检测装置及单晶炉


[0001]本技术涉及单晶生长设备领域，特别是涉及一种氩气泄漏检测装置及单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉中在晶棒生长过程中需要采用氩气进行保护，而晶棒生长完成后需要通过回收管路进行回收。若回收管路发生了泄漏，不仅造成氩气的浪费和损失，而且管路周围氧气分压会降低，引起工作人员的不适。
[0003]现阶段回收管路的气密性检测都是依靠定期拆卸检查实现，而回收管路的拆装过程十分繁琐，故回收管路的气密性检测频率很低，当发现管路存在泄漏点时，往往已经有大量氩气泄漏浪费，而且炉体内循环使用的氩气往往也已经被空气污染，引起单晶缺陷的增加。倘若提升检测频率，则会增加炉体的闲置时间，降低了单晶的生产效率。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对单晶生长效率低、缺陷多的问题，提供一种氩气泄漏检测装置及单晶炉。
[0005]一种氩气泄漏检测装置，包括：
[0006]回收管路；
[0007]非氩气传感器，位于回收管路内；及
[0008]扩容件，位于所述回收管路内并开设有通气口，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氩气泄漏检测装置，其特征在于，包括：回收管路，其两端分别安装在炉体和回收罐上；非氩气传感器，位于回收管路内；及扩容件，位于所述回收管路内并开设有通气口，所述扩容件具有封闭状态和打开状态，在打开状态下，所述通气口导通，以允许氩气从回收管路一端流动至另一端，在封闭状态下，所述回收管路和所述扩容件围成封闭的检测腔，且所述扩容件在所述回收管路轴向上可移动地设置，以改变所述检测腔的体积，所述非氩气传感器位于所述检测腔内。2.根据权利要求1所述的氩气泄漏检测装置，其特征在于，所述扩容件包括第一基板和第二基板，所述通气口位于所述第一基板上，所述第二基板相对所述第一基板活动设置，当所述扩容件处于打开状态时，所述第二基板对所述通气口进行避让，当所述扩容件处于封闭状态时，所述第二基板对所述通气口进行遮挡。3.根据权利要求2所述的氩气泄漏检测装置，其特征在于，所述回收管路的内壁凹陷形成沿自身轴向延伸的滑槽，所述第一基板的外缘设置有凸点，所述凸点滑动设置在所述滑槽内，以使所述第一基板在所述回收管路的周向上获得定位，所述第二基板转动设置在所述第一基板上并与所述第一基板贴合。4.根据权利要求3所述的氩气泄漏检测装置，其特征在于，所述第二基板上开设有避让缺口，所述通气口位于所述第一基板的外缘处，所述第一基板在所述通气口边缘处的部分朝向所述第二基板延伸形成限位板，当所述扩容件处于打开状态时，所述避让缺口和所述通气口连通，当所述扩容件处于封闭状态时，所述第二基板在所述避让缺口边缘处的部分抵接在所述限位板上。5.根据权利要求2所述的氩气泄漏检测装置，其特征在于，所述第二基板上开设有避让缺口，所述第二基板相对所述第一基板可转动设置，当所述扩容件处于打开状态时，所述第一基板和所述第二基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹国峰，宋平，邱海龙，张瑞斌，乔海彪，寇旭东，张华庄，申龙飞，张涛，王永生，马刚，郝喜杰，
申请(专利权)人：内蒙古盛欧机电工程有限公司，
类型：新型
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