下载一种氩气泄漏检测装置及单晶炉的技术资料

文档序号:39445908

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本实用新型涉及一种氩气泄漏检测装置及单晶炉,包括:回收管路;非氩气传感器,位于回收管路内;及扩容件,位于所述回收管路内并开设有通气口,所述扩容件具有封闭状态和打开状态,在打开状态下,所述通气口导通,以允许氩气从回收管路一端流动至另一端,在封...
该专利属于内蒙古盛欧机电工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古盛欧机电工程有限公司授权不得商用。

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