MEMS结构及应用其的MEMS压电麦克风制造技术

本实用新型专利技术提供了一种MEMS结构及应用其的MEMS压电麦克风。该MEMS结构包括：衬底，包括：外围的衬底外环体；形成于衬底外环体内侧的衬底背腔；复合振动层，其在水平方向包括：外围结构，形成于衬底外环体之上；N个悬臂梁结构，形成于衬底背腔之上，外围结构的内侧，其由分割缝隙分割形成，N≥2；其中，悬臂梁结构通过位于其根部的中间固定端连接至外围结构，中间固定端的两侧对称形成有缝隙状的镂空单元。本实用新型专利技术中，镂空单元的存在，可以使均布声压作用下的悬臂梁根部中间区域的应力更大，从而提高每个悬臂梁的基础灵敏度。提高每个悬臂梁的基础灵敏度。提高每个悬臂梁的基础灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
字形，其将内侧复合振动层分割为8个锥形悬臂梁结构。
[0015]在本技术的一些实施例中，上电极的底边长度占衬底背腔相应边长度的比例介于60％～80％之间，上电极的高度介于悬臂梁结构高度的20％
‑
40％之间。
[0016]在本技术的一些实施例中，复合振动层在竖直方向包括：支撑层，形成于衬底上；下电极层、压电层，依次形成于支撑层上；在每一悬臂梁单元中，上电极形成于锥形悬臂梁结构的压电层上。
[0017]在本技术的一些实施例中，复合振动层在竖直方向包括：第一压电层、中间电极层、第二压电层，依次形成于衬底上方；下电极层，形成于第一压电层下方；在每一悬臂梁单元中，上电极层形成于第二压电层上方；上、下电极在水平切面上的投影重合。
[0018]在本技术的一些实施例中，压电层、第一压电层、第二压电层的材料选自于以下一种或多种：氮化铝、掺钪氮化铝、氧化锌、锆钛酸铅，厚度介于0.1μm
‑
10μm之间。
[0019]在本技术的一些实施例中，上电极层、中间电极层、下电极层的材料选自于以下一种或多种：钼、金、铝、铬，厚度介于20nm本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：衬底，包括：外围的衬底外环体；形成于所述衬底外环体内侧的衬底背腔；复合振动层，其在水平方向包括：外围结构，形成于所述衬底外环体之上；N个悬臂梁结构，形成于所述衬底背腔之上，所述外围结构的内侧，其由分割缝隙分割形成，N≥2；其中，所述悬臂梁结构通过位于其根部的中间固定端连接至所述外围结构，所述中间固定端的两侧对称形成有缝隙状的镂空单元。2.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述镂空单元两侧的复合振动层形成侧固定端；其中，每一悬臂梁结构通过中间固定端，两侧的侧固定端连接于所述外围结构。3.根据权利要求2所述的MEMS结构，其特征在于，所述分割缝隙和镂空单元的宽度介于1μm～5μm之间；和/或所述镂空单元的长度占衬底背腔相应边长度的比例介于10％～20％之间；和/或所述镂空单元、中间固定端、侧固定端三者与所述衬底背腔的边缘平齐。4.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，还包括：N个上电极，分别形成于对应的悬臂梁结构上；其中，所述上电极和其所在的悬臂梁结构相对于同一对称轴对称，两者共同形成悬臂梁单元。5.根据权利要求4所述的MEMS结构，其特征在于，所述悬臂梁结构为锥形悬臂梁结构；所述上电极呈等腰梯形，其两侧边平行于外侧的分割缝隙，其顶边平行于外侧的外围结构，底边与所述衬底背腔的边缘平齐。6.根据权利要求5所述的MEMS结构，其特征在于，所述衬底背腔的水平切面呈正方形；所述分割缝隙呈X形，其将内侧复合振动层分割为4个锥形悬臂梁结构；或所述衬底背腔的水平切面呈八边形，所述分割缝隙呈“米...

【专利技术属性】
技术研发人员：李冠华，刘端，
申请(专利权)人：安徽奥飞声学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：