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本实用新型提供了一种MEMS结构及应用其的MEMS压电麦克风。该MEMS结构包括：衬底，包括：外围的衬底外环体；形成于衬底外环体内侧的衬底背腔；复合振动层，其在水平方向包括：外围结构，形成于衬底外环体之上；N个悬臂梁结构，形成于衬底背腔之上...
该专利属于安徽奥飞声学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽奥飞声学科技有限公司授权不得商用。

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