本实用新型专利技术公开了一种浸蚀装置，包括底板，底板的顶部固定连接有浸蚀桶，浸蚀桶的外部固定连接有电机，浸蚀桶的内部转动连接有往复丝杆，往复丝杆与电机的输出端固定连接，往复丝杆的外部螺纹连接有滑块，滑块的内部开设有滑槽；本实用新型专利技术所达到的有益效果是：能够通过往复丝杆带动清理刷在浸蚀桶中前后往复移动，从而对浸蚀桶中的浸蚀液进行自动清理，并且在清理刷两侧的凸杆和浸蚀桶内部的凹槽的作用，使得清理刷向后移动时会挤压推动清理刷向上移动，使得清理刷向后移动的过程中，清理刷处于与浸蚀桶相分离的状态，从而有效防止了清理刷将浸蚀液清理到浸蚀桶最里面的位置的情况出现，确保了清理刷的清理效果。确保了清理刷的清理效果。确保了清理刷的清理效果。
【技术实现步骤摘要】
一种浸蚀装置
[0001]本技术涉及半导体
，具体为一种浸蚀装置。
技术介绍
[0002]半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料，从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要，很多电子产品，如计算机、移动电话和数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息，常见的半导体材料有硅、锗与砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种，半导体器件生产的时候需要对器件其浸蚀，就需要用到这种半导体器件用浸蚀装置，传统的半导体器件用浸蚀装置，大多数都是直接将需要浸蚀的半导体器件放入浸蚀桶里面，那样人们需要手动去取出浸蚀的半导体器件，那样浸蚀桶里的浸蚀液会对人的皮肤造成伤害，从而降低了工作效率。
[0003]中国专利公开了专利号为CN202122025941.9的"一种半导体器件用浸蚀装置"，该方案中记载了"一种半导体器件用浸蚀装置，包括浸蚀装置本体，所述浸蚀装置本体的内壁一侧固定安装有固定板，所述固定板的内壁螺纹连接有固定螺栓，所述固定板的一侧固定安装有伸缩套，伸缩套的内部活动连接有伸缩杆，伸缩杆的一侧固定安装有电动升降套杆。"，该半导体器件用浸蚀装置，通过固定板、固定螺栓、伸缩套、伸缩杆、电动升降套杆、第一连接杆、第一滚轴、第二连接杆、第二滚轴和夹持头的设置，伸缩套和伸缩杆的相互配合使用，可以在不工作时将整个夹持机构收缩起来，电动升降套杆便于将夹持的半导体器件放入浸蚀桶里面，防止因手动将半导体器件放入浸蚀桶，从而导致对人体造成伤害，这样设置提高了其实用性，但是仍然存在一定的问题，在通过清理刷对浸蚀桶的内部进行清理时，由于清理刷是在浸蚀桶中前后移动，而且清理刷始终处于与浸蚀桶相抵紧的状态，所以当清理刷向前移动时可以将浸蚀液清理出去，但是当清理刷向后移动时可能会把残留的一部分浸蚀液清理到浸蚀桶的最里面的位置，从而出现清理不彻底的情况。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种浸蚀装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种浸蚀装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有浸蚀桶，所述浸蚀桶的外部固定连接有电机，所述浸蚀桶的内部转动连接有往复丝杆，所述往复丝杆与电机的输出端固定连接，所述往复丝杆的外部螺纹连接有滑块，所述滑块的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑杆，所述滑杆与滑槽之间设置有弹簧，所述弹簧的一端与滑块固定连接，所述弹簧的另一端与滑杆固定连接，所述滑杆的底部固定连接有清理刷，所述清理刷的对应两侧边均固定连接有凸杆，所述浸蚀桶的内部开设有与凸杆配合使用的凹槽，所述凹槽的内部转动连接有转杆，所述转杆的外部远离浸蚀桶的一端固定连接有挡板，所述转杆的外部且位于凹槽与挡板之间套设有扭簧，所述扭簧的一端与浸蚀桶固定连接，所述扭簧的
另一端与挡板固定连接。
[0007]优选的，所述底板的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部固定连接有顶板，所述顶板的顶部固定连接有电动推杆，所述电动推杆的输出端固定连接有机械爪。
[0008]优选的，所述支撑板的外部固定连接有控制面板，所述电机、电动推杆、机械爪均与控制面板电性连接。
[0009]优选的，所述滑块的内部滑动连接有导向杆，所述导向杆与浸蚀桶固定连接。
[0010]优选的，所述浸蚀桶的外部固定连接有排水管。
[0011]本技术所达到的有益效果是：通过设置的底板、浸蚀桶、电机、往复丝杆、滑块、滑槽、滑杆、弹簧、清理刷、凸杆、凹槽、转杆、挡板、扭簧，能够通过往复丝杆带动清理刷在浸蚀桶中前后往复移动，从而对浸蚀桶中的浸蚀液进行自动清理，并且在清理刷两侧的凸杆和浸蚀桶内部的凹槽的作用，使得清理刷向后移动时会挤压推动清理刷向上移动，使得清理刷向后移动的过程中，清理刷处于与浸蚀桶相分离的状态，从而有效防止了清理刷将浸蚀液清理到浸蚀桶最里面的位置的情况出现，确保了清理刷的清理效果。
附图说明
[0012]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0013]图1是本技术的结构示意图；
[0014]图2是本技术的剖面示意图；
[0015]图3是本技术的挡板的结构示意图。
[0016]图中：1、底板；2、浸蚀桶；3、电机；4、往复丝杆；5、滑块；6、滑槽；7、滑杆；8、弹簧；9、清理刷；10、凸杆；11、凹槽；12、转杆；13、挡板；14、扭簧；15、顶板；16、电动推杆；17、机械爪；18、控制面板；19、导向杆；20、排水管；21、支撑板。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1至图3，本技术提供一种技术方案：
[0019]一种浸蚀装置，包括底板1，底板1的顶部固定连接有浸蚀桶2，浸蚀桶2的外部固定连接有电机3，浸蚀桶2的内部转动连接有往复丝杆4，往复丝杆4与电机3的输出端固定连接，往复丝杆4的外部螺纹连接有滑块5，滑块5的内部开设有滑槽6，滑槽6的内部滑动连接有滑杆7，滑杆7与滑槽6之间设置有弹簧8，弹簧8的一端与滑块5固定连接，弹簧8的另一端与滑杆7固定连接，滑杆7的底部固定连接有清理刷9，清理刷9的对应两侧边均固定连接有凸杆10，浸蚀桶2的内部开设有与凸杆10配合使用的凹槽11，凹槽11可以分为四个部分，上下两个水平凹槽11，连接上下两个水平凹槽11的倾斜凹槽11和连接上下两个水平凹槽11的竖直凹槽11；凹槽11的内部转动连接有转杆12，转杆12的外部远离浸蚀桶2的一端固定连接有挡板13，转杆12的外部且位于凹槽11与挡板13之间套设有扭簧14，扭簧14的一端与浸蚀
桶2固定连接，扭簧14的另一端与挡板13固定连接，通过扭簧14的扭力使得转杆12能够带动挡板13对凹槽11进行封堵，方便清理刷9的向后移动。
[0020]底板1的顶部固定连接有支撑板21，支撑板21的顶部固定连接有顶板15，顶板15的顶部固定连接有电动推杆16，电动推杆16的输出端固定连接有机械爪17，用于对需要进行浸蚀的半导体进行自动拿取；支撑板21的外部固定连接有控制面板18，电机3、电动推杆16、机械爪17均与控制面板18电性连接，装置中的用电设备具有外接电源进行供电，并且通过控制面板18进行控制；滑块5的内部滑动连接有导向杆19，导向杆19与浸蚀桶2固定连接，确保往复丝杆4带动滑块5移动时的平稳性；浸蚀桶2的外部固定连接有排水管20，方便排出浸蚀液。
[0021]具体的，使用本技术时，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种浸蚀装置，包括底板(1)，所述底板(1)的顶部固定连接有浸蚀桶(2)，其特征在于：所述浸蚀桶(2)的外部固定连接有电机(3)，所述浸蚀桶(2)的内部转动连接有往复丝杆(4)，所述往复丝杆(4)与电机(3)的输出端固定连接，所述往复丝杆(4)的外部螺纹连接有滑块(5)，所述滑块(5)的内部开设有滑槽(6)，所述滑槽(6)的内部滑动连接有滑杆(7)，所述滑杆(7)与滑槽(6)之间设置有弹簧(8)，所述弹簧(8)的一端与滑块(5)固定连接，所述弹簧(8)的另一端与滑杆(7)固定连接，所述滑杆(7)的底部固定连接有清理刷(9)，所述清理刷(9)的对应两侧边均固定连接有凸杆(10)，所述浸蚀桶(2)的内部开设有与凸杆(10)配合使用的凹槽(11)，所述凹槽(11)的内部转动连接有转杆(12)，所述转杆(12)的外部远离浸蚀桶(2)的一端固定连接有挡板(13)，所述转杆(12)的外部且位于凹槽(11)...
【专利技术属性】
技术研发人员：高翔鹰，韩军，胡进忠，
申请(专利权)人：上海芯畀科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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