一种定量进料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种定量进料装置，包括固定框，固定框的内部转动连接有第三转轴和第一转轴，第三转轴的外侧固定连接有主动皮带轮，第一转轴的外侧固定连接有从动皮带轮，主动皮带轮与从动皮带轮通过皮带传动连接，固定框的内部且位于第一转轴的外侧转动连接有第二转轴，第二转轴的顶部固定连接有转盘，本实用新型专利技术所达到的有益效果是：能够通过皮带对半导体进行运输，半导体落在放置槽的内部，转动第二转轴带动转盘运动，由此放置槽内部的半导体通过下料槽落在导向板上，实现自动化进行进料，提高工作效率，降低工作人员的劳动强度，提高装置的实用性。高装置的实用性。高装置的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种定量进料装置


[0001]本技术涉及定量进料
，具体为一种定量进料装置。

技术介绍

[0002]现有生活中，半导体的结构十分精密，因此在制造过程中，如果受到尘粒、金属等的污染，很容易造成电路损坏，形成断路或短路等问题，导致集成电路的失效。晶圆是制造半导体晶体管的基片，对微污染物的存在非常敏感，因此半导体晶圆在制造过程中，需要经过多次的表面清洗步骤，需要对进行定量进料。现有的大多数半导体进料方式为人工进行进料，人工操作的效率较低，十分费时费力，降低装置的实用性，因此提供一种定量进料装置，用于解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种定量进料装置，以解决上述
技术介绍
中提出大多数半导体进料方式为人工进行进料，人工操作的效率较低，十分费时费力，降低装置的实用性的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：
[0005]本技术一种定量进料装置，包括固定框，所述固定框的内部转动连接有第三转轴和第一转轴，所述第三转轴的外侧固定连接有主动皮带轮，所述第一转轴的外侧固定连接有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种定量进料装置，包括固定框(1)，其特征在于：所述固定框(1)的内部转动连接有第三转轴(11)和第一转轴(7)，所述第三转轴(11)的外侧固定连接有主动皮带轮(6)，所述第一转轴(7)的外侧固定连接有从动皮带轮(12)，所述主动皮带轮(6)与从动皮带轮(12)通过皮带传动连接，所述固定框(1)的内部且位于第一转轴(7)的外侧转动连接有第二转轴(8)，所述第二转轴(8)的顶部固定连接有转盘(4)，所述转盘(4)的对称开设有放置槽(9)。2.根据权利要求1所述的一种定量进料装置，其特征在于：所述固定框(1)的内部开设有方槽(17)，所述方槽(17)的内部转动连接有第四转轴(14)，所述第四转轴(14)的外侧固定连接有主动齿轮(15)，所述第二转轴(8)的外侧固定连接有从动齿轮(16)，所述主动齿轮(15)与从...

【专利技术属性】
技术研发人员：高翔鹰，韩军，胡进忠，
申请(专利权)人：上海芯畀科技有限公司，
类型：新型
国别省市：