一种晶圆缺陷测试设备的传动组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆缺陷测试设备的传动组件，涉及传动组件技术领域，为解决现有的测试设备的传动组件为旋转装置和平移装置以校准料盘的位置，但旋转装置和平移装置缺乏有效的驱动启停机构，导致实际校准料盘操作不便的问题。包括组件平台，组件平台的前端面上设置有接电箱，组件平台的上端设置有两个导向架台，两个导向架台均与组件平台一体成型设置；还包括：样品台板，其设置在两个导向架台之间的位置上，且样品台板的下端设置有延伸托架，延伸托架与样品台板一体成型设置，延伸托架的内部设置有驱动马达，样品台板的上端设置有放置槽，放置槽与样品台板一体成型设置，放置槽的内部设置有旋转台板。置槽的内部设置有旋转台板。置槽的内部设置有旋转台板。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆缺陷测试设备的传动组件


[0001]本技术涉及传动组件
，具体为一种晶圆缺陷测试设备的传动组件。

技术介绍

[0002]晶圆缺陷检测仪是一种光刻材料旋涂后的缺陷检测设备，一束激光从侧上方照射在晶圆表面，在缺陷处产生的散射光被一个探测器收集，并转换成电信号。晶圆在样品台上旋转，样品台沿径向平移。这样激光束的照射可以覆盖整个晶圆表面，晶圆表面缺陷所在的位置也同时被记录下来，样品台在移动时需要借助传动组件驱动。
[0003]例如公告号为：CN217586946U(名为一种用于测试光学晶圆的测试设备)，包括：料盘，设有用于承载晶圆；旋转装置，连接于所述料盘，以使得所述料盘能够沿其回转中心转动；横移装置，连接于所述旋转装置，以带动所述旋转装置沿X向移动；纵移装置，连接于所述横移装置，以带动所述横移装置沿Y向移动；第一激光测试装置，具有第一发射端和第一接收端，所述第一发射端用于从第一入射角发射入射激光至所述晶圆，所述第一接收端用于接收所述晶圆反射的反射激光，所述第一发射端和第一接收端能够沿着所述晶圆的径向做直线运动；第二激光测试装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆缺陷测试设备的传动组件，包括组件平台(1)，组件平台(1)的前端面上设置有接电箱(2)，组件平台(1)的上端设置有两个导向架台(4)，两个导向架台(4)均与组件平台(1)一体成型设置；其特征在于：还包括：样品台板(6)，其设置在两个导向架台(4)之间的位置上，且样品台板(6)的下端设置有延伸托架(9)，延伸托架(9)与样品台板(6)一体成型设置，延伸托架(9)的内部设置有驱动马达(10)，样品台板(6)的上端设置有放置槽(7)，放置槽(7)与样品台板(6)一体成型设置，放置槽(7)的内部设置有旋转台板(8)；内接滑槽(5)，其设置在所述导向架台(4)的内部，内接滑槽(5)与导向架台(4)一体成型设置，且样品台板(6)的底部两端位置上均设置有辅助滚轮(13)；端位架台(17)，其设置在所述组件平台(1)的一端位置上，端位架台(17)和组件平台(1)一体成型设置，且端位架台(17)的上端设置有电动液压缸(18)，延伸托架(9)的底部设置有连接底板(11)，连接底板(11)与延伸托架(9)一体成型设置。2.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷测试设备的传动组件，其特征在于：所述辅助滚轮(13)与内接滑槽(5)的连接位置上设...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁林，
申请(专利权)人：安华精密科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：