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本实用新型公开了一种晶圆缺陷测试设备的传动组件，涉及传动组件技术领域，为解决现有的测试设备的传动组件为旋转装置和平移装置以校准料盘的位置，但旋转装置和平移装置缺乏有效的驱动启停机构，导致实际校准料盘操作不便的问题。包括组件平台，组件平台的前...
该专利属于安华精密科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安华精密科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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