本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗机用加热装置，包括烘干通道和热量利用座，烘干通道正面的中部固定安装有保温筒体，集气管道的气孔处固定安装有多个气体压缩座，多个气体压缩座的一端均固定安装有出气咀，保温筒体的一端固定安装有气体进入管道，气体进入管道的一端固定安装有单体气泵，热量利用座顶端的中部固定安装有多个金属集热支杆，多个金属集热支杆的顶端均与设有的多孔导热盘，热量利用座的顶端活动安装有防尘封板。本实用新型专利技术通过在烘干通道设置热量利用座，通过金属集热支杆和多孔导热盘能够提高对热量的利用效率，避免热量的浪费，且设置活性吸附透气板能够对热气中的杂质或者异味进行吸附处理，大大降低了热气中的刺鼻气味分子。鼻气味分子。鼻气味分子。
【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗机用加热装置
[0001]本技术涉及硅片清洗机
，特别涉及一种硅片清洗机用加热装置。
技术介绍
[0002]硅片在生产过程中需要使用到清洗机，清洗之后需要使用到加热烘干。
[0003]专利号为CN201621493195.9涉及一种硅片清洗机烘道结构，通过由内向外依次为防火层、空气层和保温层，使得烘道结构具有能耗低、防火和保温性能好的优点。
[0004]上述公开的烘道结构缺点在于：虽然具有较低的能耗，但是多余的热量无法被利用，且在硅片的摆放上，使用硅片篮与硅片连接，这样容易阻挡部分热量，导致无法更好的热风烘干，为此，我们设计一种硅片清洗机用加热装置。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种硅片清洗机用加热装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片清洗机用加热装置，包括烘干通道和热量利用座，所述烘干通道顶端的气道处与热量利用座固定连接，所述烘干通道的内部活动安装有吊挂支杆，所述吊挂支杆的底端活动安装有多个硅片夹板，所述烘干通道正面的中部固定安装有保温筒体，所述保温筒体的内部活动安装有热辐射电加热片，所述烘干通道的内壁处固定安装有集气管道，所述集气管道的气孔处固定安装有多个气体压缩座，多个所述气体压缩座的一端均固定安装有出气咀，所述保温筒体的一端固定安装有气体进入管道，所述气体进入管道的一端固定安装有单体气泵，所述热量利用座顶端的中部固定安装有多个金属集热支杆，多个所述金属集热支杆的顶端均与设有的多孔导热盘，所述热量利用座的顶端活动安装有防尘封板。
[0007]优选的，所述烘干通道的底端活动安装有沥水长板，所述沥水长板的两端均固定连接有竖直封头板，两个所述竖直封头板分别与烘干通道两端的开口对应连接。
[0008]优选的，所述防尘封板的底端固定安装有活性吸附透气板，所述防尘封板的顶端开设有多个导气孔位。
[0009]优选的，所述热辐射电加热片的一端固定安装有防护连接座，所述防护连接座与保温筒体的缺口贴合活动连接。
[0010]优选的，所述气体压缩座的气体通道直径小于出气咀的气体通道直径。
[0011]优选的，所述热量利用座的内壁设置有保温层，所述保温层由网洞状板材构成。
[0012]本技术的技术效果和优点：
[0013](1)本技术一种硅片清洗机用加热装置，通过在烘干通道设置热量利用座，通过金属集热支杆和多孔导热盘能够提高对热量的利用效率，避免热量的浪费，且设置活性吸附透气板能够对热气中的杂质或者异味进行吸附处理，大大降低了热气中的刺鼻气味分子。
[0014](2)本技术一种硅片清洗机用加热装置，通过设置吊挂支杆、硅片夹板和沥水长板，能够将清洗后的硅片通过硅片夹板吊装到吊挂支杆处，不仅仅有利于水分的快速流掉，同时也能够增大与热风的接触面积，提高加热烘干效率。
附图说明
[0015]图1为本技术的立体结构示意图。
[0016]图2为本技术烘干通道的内部结构示意图。
[0017]图3为本技术热量利用座的内部结构示意图。
[0018]图中：1、烘干通道；2、热量利用座；3、防尘封板；4、导气孔位；5、保温筒体；6、气体进入管道；7、单体气泵；8、吊挂支杆；9、硅片夹板；10、集气管道；11、气体压缩座；12、出气咀；13、热辐射电加热片；14、防护连接座；15、活性吸附透气板；16、金属集热支杆；17、多孔导热盘；18、沥水长板；19、竖直封头板。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]本技术提供了如图1
‑
3所示的一种硅片清洗机用加热装置，包括烘干通道1和热量利用座2，烘干通道1顶端的气道处与热量利用座2固定连接，烘干通道1的内部活动安装有吊挂支杆8，吊挂支杆8的底端活动安装有多个硅片夹板9，烘干通道1正面的中部固定安装有保温筒体5，保温筒体5的内部活动安装有热辐射电加热片13，烘干通道1的内壁处固定安装有集气管道10，集气管道10的气孔处固定安装有多个气体压缩座11，多个气体压缩座11的一端均固定安装有出气咀12，保温筒体5的一端固定安装有气体进入管道6，气体进入管道6的一端固定安装有单体气泵7，热量利用座2顶端的中部固定安装有多个金属集热支杆16，多个金属集热支杆16的顶端均与设有的多孔导热盘17，热量利用座2的顶端活动安装有防尘封板3。
[0021]在本实施方案中，烘干通道1的底端活动安装有沥水长板18，沥水长板18的两端均固定连接有竖直封头板19，两个竖直封头板19分别与烘干通道1两端的开口对应连接。这样设置的目的是便于收集硅片沥干的水分，且两个竖直封头板19分别对烘干通道1两端开口进行封闭，在加热烘干时，能够防止热量的逃逸。
[0022]在本实施方案中，防尘封板3的底端固定安装有活性吸附透气板15，防尘封板3的顶端开设有多个导气孔位4。这样设置的目的是能够对热气中的杂质或者异味进行吸附处理，大大降低了热气中的刺鼻气味分子。
[0023]在本实施方案中，热辐射电加热片13的一端固定安装有防护连接座14，防护连接座14与保温筒体5的缺口贴合活动连接。这样设置的目的是方便热辐射电加热片13的拆装。
[0024]在本实施方案中，气体压缩座11的气体通道直径小于出气咀12的气体通道直径。这样设置的目的是使得热气经过气体压缩座11的压缩，增加出气咀12的出气速率。
[0025]在本实施方案中，热量利用座2的内壁设置有保温层，保温层由网洞状板材构成。
这样设置的目的是具有良好的保温效果，防止热量利用座2保温效果不佳导致热量快速散失。
[0026]本技术工作原理：将需要加热烘干的硅片与对应的硅片夹板9连接，热辐射电加热片13在通电加热后，单体气泵7能够将空气压缩输送到热辐射电加热片13处，将热量与空气进行混合，产生热气，进而通过气体压缩座11压缩空气，使得出气咀12出气速率增大，更好的对硅片进行加热烘干，综上所述，本技术通过金属集热支杆16和多孔导热盘17能够提高对热量的利用效率，避免热量的浪费，且设置活性吸附透气板15能够对热气中的杂质或者异味进行吸附处理，大大降低了热气中的刺鼻气味分子；通过设置吊挂支杆8、硅片夹板9和沥水长板18，能够将清洗后的硅片通过硅片夹板9吊装到吊挂支杆8处，不仅仅有利于水分的快速流掉，同时也能够增大与热风的接触面积，提高加热烘干效率。
[0027]其中硅片夹板9之间的间隙设定可以依据相邻的两个出气咀12之间的间距进行设定，这样保证热气直接喷入到硅片夹板9上的硅片。
[本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗机用加热装置，包括烘干通道(1)和热量利用座(2)，其特征在于，所述烘干通道(1)顶端的气道处与热量利用座(2)固定连接，所述烘干通道(1)的内部活动安装有吊挂支杆(8)，所述吊挂支杆(8)的底端活动安装有多个硅片夹板(9)，所述烘干通道(1)正面的中部固定安装有保温筒体(5)，所述保温筒体(5)的内部活动安装有热辐射电加热片(13)，所述烘干通道(1)的内壁处固定安装有集气管道(10)，所述集气管道(10)的气孔处固定安装有多个气体压缩座(11)，多个所述气体压缩座(11)的一端均固定安装有出气咀(12)，所述保温筒体(5)的一端固定安装有气体进入管道(6)，所述气体进入管道(6)的一端固定安装有单体气泵(7)，所述热量利用座(2)顶端的中部固定安装有多个金属集热支杆(16)，多个所述金属集热支杆(16)的顶端均与设有的多孔导热盘(17)，所述热量利用座(2)的顶端活动安装有防尘封板(3)。2.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄开，朱振涛，张浩楠，
申请(专利权)人：浙江艾科半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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