一种液相法多感应线圈升降机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种液相法多感应线圈升降机构，它涉及碳化硅感应炉加热结构技术领域；所述炉下盖的内侧固定安装有四根导向杆，所述导向杆上套接安装有导向轮，所述导向杆的上端与上线圈保持固定连接，所述下线圈组件安装在导向杆的内侧，且导向轮通过侧向顶压与下线圈组件保持连接，所述坩埚组件安装在下线圈组件的内侧；本实用新型专利技术通过2组感应线圈灵活控制热场，其中下线圈还能随拉晶阶段的不同做升降，同时热场中间用来拉晶的坩埚也可以根据需要旋转和升降，本实用新型专利技术通过坩埚的升降结合热场的升降，能更好的控制热场梯度，改善热场内部环境，对长晶的控制做到更灵活，使长出的碳化硅成品质量更好，品质更高。品质更高。品质更高。

【技术实现步骤摘要】
一种液相法多感应线圈升降机构


[0001]本技术属于碳化硅感应炉加热结构
，具体涉及一种液相法多感应线圈升降机构。

技术介绍

[0002]随着新能源汽车市场的火热，第三代半导体材料碳化硅相关的投资也愈发的火热，第三代半导体材料碳化硅在军工、航天、电子电力、新能源汽车等诸多领域都具有很重要的应用价值，已经成为全球半导体材料的前沿产业。
[0003]现有市场上的碳化硅感应炉很多是气相法，其热场基本都是一个，且不能做到坩埚和热场同时升降，不能灵活控制热场梯度，改善热场内部环境，不利于碳化硅的生长。

技术实现思路

[0004]为解决现有技术的缺陷和不足问题；本技术的目的在于提供一种结构简单，设计合理、使用方便的液相法多感应线圈升降机构，它通过坩埚的升降结合热场的升降，能更好的控制热场梯度，改善热场内部环境，对长晶的控制做到更灵活，使长出的碳化硅成品质量更好，品质更高。
[0005]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：它包括炉下盖、坩埚组件、导向杆、导向轮、下线圈组件和上线圈；所述炉下盖的内侧固定安装有四根导向杆，所述导向杆上套接安装有导向轮，所述导向杆的上端与上线圈保持固定连接，所述下线圈组件安装在导向杆的内侧，且导向轮通过侧向顶压与下线圈组件保持连接，所述坩埚组件安装在下线圈组件的内侧；
[0006]所述坩埚组件包含伺服电机、离合器、减速机、传动带、丝杆和dd马达；所述伺服电机与离合器和减速机保持固定连接，所述减速机的输出端通过传动带与丝杆保持连接，所述丝杆通过轴承座转动安装在支架上，所述丝杆通过螺母座与马达安装座保持连接，所述马达安装座通过滑轨滑动安装在支架上，所述马达安装座上固定安装有dd马达，所述dd马达的输出端穿过炉下盖与坩埚保持固定连接。
[0007]作为优选所述下线圈组件包含圆环、固定杆、下线圈、连接杆和电动缸；一对电动缸固定安装在炉下盖的底部，所述电动缸的伸出端与连接杆保持固定连接，所述连接杆穿过炉下盖后与上方的圆环保持固定连接，所述圆环上固定安装有数个固定杆，所述固定杆上固定安装有下线圈。
[0008]作为优选所述支架上固定安装有光栅尺。
[0009]作为优选所述上线圈与下线圈的内径保持一致。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果为：在液相法碳化硅感应炉上，本技术通过2组感应线圈灵活控制热场，其中下线圈还能随拉晶阶段的不同做升降，同时热场中间用来拉晶的坩埚也可以根据需要旋转和升降，本技术通过坩埚的升降结合热场的升降，能更好的控制热场梯度，改善热场内部环境，对长晶的控制做到更灵活，使长出的碳化
硅成品质量更好，品质更高。
附图说明
[0011]为了易于说明，本技术由下述的具体实施及附图作以详细描述。
[0012]图1为本技术的结构示意图；
[0013]图2为本技术中坩埚组件2的结构示意图；
[0014]图3为本技术中下线圈组件5的结构示意图。
[0015]图中：炉下盖1、坩埚组件2、导向杆3、导向轮4、下线圈组件5、上线圈6、伺服电机7、离合器8、减速机9、传动带10、丝杆11、dd马达12、光栅尺13、圆环51、固定杆52、下线圈53、连接杆54、电动缸55。
具体实施方式
[0016]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施例来描述本技术。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0017]在此，还需要说明的是，为了避免因不必要的细节而模糊了本技术，在附图中仅仅示出了与根据本技术的方案密切相关的结构和/或处理步骤，而省略了与本技术关系不大的其他细节。
[0018]如图1所示，本具体实施方式采用以下技术方案：它包括炉下盖1、坩埚组件2、导向杆3、导向轮4、下线圈组件5和上线圈6；所述炉下盖1的内侧固定安装有四根导向杆3，所述导向杆3上套接安装有导向轮4，所述导向杆3的上端与上线圈6保持固定连接，所述下线圈组件5安装在导向杆3的内侧，且导向轮4通过侧向顶压与下线圈组件5保持连接，所述坩埚组件2安装在下线圈组件5的内侧。
[0019]如图2所示，进一步的，所述坩埚组件2包含伺服电机7、离合器8、减速机9、传动带10、丝杆11和dd马达12；所述伺服电机7与离合器8和减速机9保持固定连接，所述减速机9的输出端通过传动带10与丝杆11保持连接，所述丝杆11通过轴承座转动安装在支架上，所述丝杆11通过螺母座与马达安装座保持连接，所述马达安装座通过滑轨滑动安装在支架上，所述马达安装座上固定安装有dd马达12，所述dd马达12的输出端穿过炉下盖1与坩埚保持固定连接。
[0020]实施例中：坩埚通过底部伺服电机7、离合器8、减速机9、传动带10和丝杆11等机构实现低速和高速的升降，另外坩埚通过底部的dd马达12实现旋转功能。
[0021]如图3所示，进一步的，所述下线圈组件5包含圆环51、固定杆52、下线圈53、连接杆54和电动缸55；一对电动缸55固定安装在炉下盖1的底部，所述电动缸55的伸出端与连接杆54保持固定连接，所述连接杆54穿过炉下盖1后与上方的圆环51保持固定连接，所述圆环51上固定安装有数个固定杆52，所述固定杆52上固定安装有下线圈53，所述上线圈6与下线圈53的内径保持一致。
[0022]实施例中：电动缸55带动连接杆54实现上下移动，通过连接杆54的连带作用，带动下线圈53同步上下移动。
[0023]进一步的，所述支架上固定安装有光栅尺13，通过光栅尺13来精准的控制长晶阶段坩埚实时所处的位置。
[0024]本具体实施方式的工作原理为：本技术通过分布在周围的4根导向杆3及导向轮4来保持热场中心的位置恒定，通过电动缸55带动连接杆54实现上下移动，通过连接杆54的连带作用，带动下线圈53同步上下移动，使下线圈53随拉晶阶段的不同做升降运动，坩埚通过底部伺服电机7、离合器8、减速机9、传动带10和丝杆11等机构实现低速和高速的升降，另外坩埚的旋转通过底部的dd马达12实现，并通过光栅尺13来精准的控制长晶阶段坩埚实时所处的位置。
[0025]本技术坩埚可以做到快速和慢速升降的切换，坩埚的升降结合热场的升降，可以更好更灵活地实现长晶的效果，坩埚可以旋转，使坩埚径向位置温度分布更均匀，能更好的控制热场梯度，改善热场内部环境，对长晶的控制做到更灵活，使长出的碳化硅成品质量更好，品质更高。
[0026]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液相法多感应线圈升降机构，其特征在于：它包含炉下盖(1)、坩埚组件(2)、导向杆(3)、导向轮(4)、下线圈组件(5)和上线圈(6)；所述炉下盖(1)的内侧固定安装有四根导向杆(3)，所述导向杆(3)上套接安装有导向轮(4)，所述导向杆(3)的上端与上线圈(6)保持固定连接，所述下线圈组件(5)安装在导向杆(3)的内侧，且导向轮(4)通过侧向顶压与下线圈组件(5)保持连接，所述坩埚组件(2)安装在下线圈组件(5)的内侧；所述坩埚组件(2)包含伺服电机(7)、离合器(8)、减速机(9)、传动带(10)、丝杆(11)和dd马达(12)；所述伺服电机(7)与离合器(8)和减速机(9)保持固定连接，所述减速机(9)的输出端通过传动带(10)与丝杆(11)保持连接，所述丝杆(11)通过轴承座转动安装在支架上，所述丝杆(11)通过螺母座与马达安装座保持连接，所述马达安装座通过滑轨滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：王人松，胡动力，石海洋，黄新刚，
申请(专利权)人：连城凯克斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：