一种用于晶体生长炉的提升装置制造方法及图纸

技术编号:39203539 阅读:12 留言:0更新日期:2023-10-27 09:51
本实用新型专利技术公开了一种用于晶体生长炉的提升装置,包括坩埚;保温层,保温层盖设于坩埚上;提升装置还包括托举部、连接部和悬吊部,托举部和悬吊部分别设置在连接部的两端,且提升装置能够通过悬吊部与吊装设备连接;提升装置还包括设置在连接部上的锁紧部,锁紧部能够沿连接部的延伸方向移动;保温层上设置有供托举部通过的槽口,托举部能够槽口进入保温层和坩埚围绕形成的生长室内;在托举部进入生长室内的情况下,保温层能够设置在托举部和锁紧部之间,并通过托举部和锁紧部夹紧保温层。通过上述设置,可以实现对保温层的安装与拆卸,提升了晶体生长炉的装卸效率,同时提高了保温层装卸过程中的安全性。卸过程中的安全性。卸过程中的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶体生长炉的提升装置


[0001]本技术涉及单晶硅制造领域,尤其是指一种用于晶体生长炉的提升装置。

技术介绍

[0002]晶体生长设备在生产过程中,一般采用充满惰性气体的不锈钢密封的炉体,内部安装有碳毡、加热器、坩埚及金属保温层等部件。晶体生长设备内的晶体生长完成后,需要将所有的热场部件以及坩埚上的金属保温层都拆除到炉筒外部,进行彻底清理。
[0003]由于晶体生长设备炉筒较高,晶体生长设备的热场过于庞大,工人很难将晶体生长设备炉筒内的坩埚上面沉重的金属保温层进行安装或拆除。工人在拆装过程中需要三到四人才能将坩埚上面沉重的金属保温层进行安装或拆除。在工人们用手安装坩埚上面沉重的金属保温层的操作过程中,极易发生由于其中一个工人没有抓稳金属保温层,造成加热器磕碰,同时可能因工人的重心不稳而摔倒,发生意外造成热场部件损坏。

技术实现思路

[0004]为了解决现有技术的不足,本技术的目的在于提供一种可以提升装卸效率的同时保证安全的用于晶体生长炉的提升装置。
[0005]为实现上述目的,本技术采用如下的技术方案:
[0006]一种用于晶体生长炉的提升装置,包括坩埚;保温层,保温层盖设于坩埚上;提升装置还包括托举部、连接部和悬吊部,托举部和悬吊部分别设置在连接部的两端,且提升装置能够通过悬吊部与吊装设备连接;提升装置还包括设置在连接部上的锁紧部,锁紧部能够沿连接部的延伸方向移动;保温层上设置有供托举部通过的槽口,托举部能够槽口进入保温层和坩埚围绕形成的生长室内;在托举部进入生长室内的情况下,保温层能够设置在托举部和锁紧部之间,并通过托举部和锁紧部夹紧保温层。
[0007]进一步地,连接部和锁紧部之间设置为螺纹连接。
[0008]进一步地,锁紧部包括外壳体和紧固件,外壳体套设于紧固件上,紧固件与连接部之间设置为螺纹连接,且外壳体的内径长度设置为大于连接部的径向长度。
[0009]进一步地,紧固件上设置有释放按钮,紧固件能够响应于释放按钮的触控操作与连接部分离。
[0010]进一步地,释放按钮穿设于外壳体并向外壳体的外侧延伸。
[0011]进一步地,外壳体和紧固件之间形成有供紧固件移动的间隙。
[0012]进一步地,外壳体上还设置有能够与保温层抵接的缓冲件。
[0013]进一步地,外壳体上还设置有用于抓握的持握部。
[0014]进一步地,托举部与连接部一体成型,且托举部设置为垂直于连接部。
[0015]进一步地,托举部的形状设置为竖直的长杆。
[0016]综上,通过托举部、连接部和悬吊部之间的相互配合,可以实现对保温层的安装与拆卸,提升了晶体生长炉的装卸效率,同时提高了保温层装卸过程中的安全性。
附图说明
[0017]图1为本申请实施方式中晶体生长炉示意图。
[0018]图2为本申请实施方式中提升装置示意图。
[0019]图3为本申请实施方式中晶体生长炉的俯视图。
[0020]图4为本申请实施方式中提起保温层的示意图。
[0021]图5为本申请实施方式中锁紧部的示意图。
具体实施方式
[0022]为了使本领域的人员更好地理解本技术方案,下面将结合本技术实施方式中的附图,对本技术具体实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0023]如图1和图2所示,本申请提供一种用于晶体生长炉100的提升装置200,晶体生长炉100包括坩埚11和保温层12。其中,保温层12盖设于坩埚11上,保温层12用于对坩埚11的保温与隔热,坩埚11和保温层12能够围绕形成供晶体生长的生长室13。
[0024]如图2所示,作为一种实现方式,提升装置200包括托举部21、连接部22与悬吊部23,悬吊部23和托举部21分别设置在连接部22的两端,并分别与连接部22固定连接。其中,提升装置200能够通过悬吊部23与吊装设备(图未示)连接,提升装置200还能够通过托举部21与保温层12连接。在保温层12的装卸过程中,吊装设备能够通过提升装置200将保温层12与坩埚11分离。提升装置200还包括锁紧部24,锁紧部24设置在连接部22上,锁紧部24能够沿着连接部22的延伸方向移动,锁紧部24用于锁紧保温层12。可以理解的,由于保温层12的重量较大,且晶体生长完成后保温层12仍然具有较高的温度,上述设置能够提升保温层12装卸效率的同时,还能够保证保温层12装卸过程中的安全性。
[0025]如图3所示,进一步地,保温层12上设置有供托举部21通过的槽口121。如图4所示,托举部21能够通过槽口121进入保温层12和坩埚11围绕形成的生长室13内。在托举部21进入生长室13的情况下,保温层12能够设置在托举部21和锁紧部24之间,并通过托举部21和锁紧部24夹紧保温层12。在吊装设备与提升装置200连接的情况下,吊装设备能够通过提升装置200提起保温层12或者放下保温层12,进而实现对保温层12的装卸。
[0026]作为一种的实现方式,托举部21与连接部22一体成型,从而使得提升装置200整体稳定性更高。其中,托举部21设置为垂直于连接部22。在保温层12的搬运过程中,托举部21垂直于连接部22可以防止保温层12由于重心不稳而造成偏移,提高了装卸过程中的安全性。
[0027]具体的,托举部21设置为竖直的长杆。上述设置能够减少提升装置200的重量以便于用户使用,同时还可以减少保温层12上槽口121的宽度,进而增加了保温层12的保温能力。
[0028]作为一种可选的实现方式,连接部22上设置有螺纹,连接部22与锁紧部24之间设置为螺纹连接。在锁紧部24围绕自身轴线转动的情况下,锁紧部24能够向靠近或者远离托举部21的方向移动。
[0029]具体的,在装卸保温层12的过程中,锁紧部24能够沿着连接部22向远离托举部21的方向移动,从而避免托举部21在通过槽口121的过程中与保温层12发生干涉。在托举部21进入生长室13的情况下,锁紧部24能够向靠近托举部21的方向移动,直至锁紧部24与保温
层12抵接。进一步地,通过转动锁紧部24增大锁紧部24对保温层12的压迫力,进而使得锁紧部24与托举部21夹紧保温层12。
[0030]综上,通过锁紧部24与连接部22之间的螺纹结构,以使锁紧部24能够沿连接部22延伸方向移动,同时通过螺纹结构能够对锁紧部24进行限位,避免锁紧部24在搬运过程中与保温层12分离,保证了提升装置200与保温层12之间连接的稳定性,进而提升保温层12在搬运过程中的安全性。此外,设置能够沿连接部22延伸方向移动的锁紧部24,使得提升装置200能够用于不同厚度的保温层12,增加了提升装置200的通用性。
[0031]如图5所示,作为一种可选的实现方式,锁紧部24包括外壳体241和紧固件242。外壳体241套设于紧固件242,外壳体241用于保护其内部的紧固件242。外壳体241的内径长度设置为大于连接部2本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶体生长炉的提升装置,所述晶体生长炉包括:坩埚;保温层,所述保温层盖设于所述坩埚上;其特征在于,所述提升装置包括托举部、连接部和悬吊部,所述托举部和所述悬吊部分别设置在所述连接部的两端,且所述提升装置能够通过所述悬吊部与吊装设备连接;所述提升装置还包括设置在所述连接部上的锁紧部,所述锁紧部能够沿所述连接部的延伸方向移动;所述保温层上设置有供所述托举部通过的槽口,所述托举部能够沿所述槽口进入所述保温层和所述坩埚围绕形成的生长室内;在所述托举部进入所述生长室内的情况下,所述保温层能够设置在所述托举部和所述锁紧部之间,并通过所述托举部和所述锁紧部夹紧所述保温层。2.根据权利要求1所述的提升装置,其特征在于,所述连接部和所述锁紧部之间设置为螺纹连接。3.根据权利要求1所述的提升装置,其特征在于,所述锁紧部包括外壳体和紧固件,所述外壳体套设于所述紧固件上,所述紧固件与所述连接部之间...

【专利技术属性】
技术研发人员:石刚付春雷孟显峰杨飞王宇
申请(专利权)人:内蒙古晶环电子材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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