本申请实施例公开了一种工艺技术文件生成方法、装置、电子设备及存储介质，涉及数据处理、半导体领域，该方法包括：获取至少一个堆叠信息集，堆叠信息集包含至少一项堆叠数据；根据至少一个堆叠结构标识从堆叠信息集中确定与堆叠结构标识对应的至少一项堆叠数据；基于堆叠结构标识将对应的至少一项堆叠数据写入工艺技术文件中的预设位置。解决了目前工艺技术文件由技术人员手动填写生成，造成工艺技术文件错误率较高，且生成效率较低的问题。且生成效率较低的问题。且生成效率较低的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种工艺技术文件生成方法、装置、电子设备及存储介质
[0001]本申请涉及数据处理、半导体领域，尤其涉及一种工艺技术文件生成方法、装置、电子设备及存储介质。
技术介绍
[0002]工艺技术文件作为描述半导体制造结构及工艺效应的重要文件，被众多与寄生效应相关的工具所引用，包括寄生参数提取工具、布局布线工具、可靠性分析EMIR工具以及电磁模拟仿真工具。这些工具对工艺技术文件语法要求非常严格，容错率较低。而目前工艺技术文件主要由技术人员手动填写生成，错误率较高，且效率较低。
技术实现思路
[0003]本申请提供一种工艺技术文件生成方法、装置、电子设备及存储介质，以解决上述的技术问题。
[0004]为此，本申请实施例一方面提供一种工艺技术文件生成方法，所述方法包括：获取至少一个堆叠信息集，所述堆叠信息集包含至少一项堆叠数据；根据至少一个堆叠结构标识从所述堆叠信息集中确定与所述堆叠结构标识对应的至少一项堆叠数据；基于所述堆叠结构标识将对应的至少一项堆叠数据写入工艺技术文件中的预设位置。
[0005]其中，所述堆叠信息集包括至少一个第一类型的堆叠信息集，所述第一类型的堆叠信息集包含至少一个第一工艺层信息子集和每个第一工艺层信息子集的堆叠结构标识，所述堆叠结构标识用于指示所述第一工艺层信息子集的工艺层类型。
[0006]其中，所述根据至少一个堆叠结构标识从所述堆叠信息集中确定与所述堆叠结构标识对应的至少一项堆叠数据，包括：基于所述堆叠结构标识确定所述第一工艺层信息子集的工艺层类型；从所述工艺层类型的至少一个第一工艺层信息子集中读取至少一项堆叠数据。
[0007]其中，所述基于所述堆叠结构标识确定所述第一工艺层信息子集的工艺层类型，包括：基于所述堆叠结构标识确定所述第一工艺层信息子集为介质层信息子集、导电层信息子集或通孔层信息子集。其中，所述从所述工艺层类型的至少一个第一工艺层信息子集中读取至少一项堆叠数据，包括：读取至少一个介质层信息子集中的至少一项介质层堆叠数据，并将所述至少一项介质层堆叠数据按照预设顺序写入所述工艺技术文件中的预设位置，所述介质层堆叠数据包含介质层名和至少一个介质层参数；和/或，
读取至少一个通孔层信息子集中的至少一项通孔层堆叠数据，并将所述至少一项通孔层堆叠数据按照预设顺序写入所述工艺技术文件中的预设位置，所述通孔层堆叠数据包含通孔层名和至少一个通孔层参数。
[0008]其中，所述从所述工艺层类型的至少一个第一工艺层信息子集中读取至少一项堆叠数据，包括：读取至少一个导电层信息子集中的至少一项导电层堆叠数据，基于关联标识确定所述导电层堆叠数据对应的介质层堆叠数据，并将所述导电层堆叠数据写入对应的介质层堆叠数据在所述工艺技术文件中的关联位置，所述导电层堆叠数据包含导电层名和至少一个导电层参数。
[0009]其中，所述堆叠信息集包括至少一个第二类型的堆叠信息集，所述第二类型的堆叠信息集包含至少一个第二工艺层信息子集和每个第二工艺层信息子集的堆叠结构标识，所述堆叠结构标识用于指示所述第二工艺层信息子集的数据存储结构。
[0010]其中，所述根据至少一个堆叠结构标识从所述堆叠信息集中确定与所述堆叠结构标识对应的至少一项堆叠数据，包括：确定所述工艺层类型的至少一个第二类型的堆叠信息集；基于所述堆叠结构标识确定所述至少一个第二类型的堆叠信息集中每个第二工艺层信息子集的数据存储结构；基于对应的数据存储结构从所述至少一个第二类型的堆叠信息集中的至少一个第二工艺层信息子集中读取至少一项堆叠数据。
[0011]其中，所述基于所述堆叠结构标识将对应的至少一项堆叠数据写入工艺技术文件中的预设位置，包括：将读取的至少一项堆叠数据写入所述工艺层类型在所述工艺技术文件中对应的位置。
[0012]本申请实施例另一方面提供一种工艺技术文件生成装置，所述装置包括：采集模块，用于获取至少一个堆叠信息集，所述堆叠信息集包含至少一项堆叠数据；处理模块，用于根据至少一个堆叠结构标识从所述堆叠信息集中确定与所述堆叠结构标识对应的至少一项堆叠数据；所述处理模块，还用于基于所述堆叠结构标识将对应的至少一项堆叠数据写入工艺技术文件中的预设位置。
[0013]根据本申请的另一方面，提供了一种电子设备，包括：至少一个处理器；以及与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行上述任一项所述的方法。
[0014]根据本申请的另一方面，提供了一种存储有计算机指令的非瞬时计算机可读存储介质，其中，所述计算机指令用于使所述计算机执行上述任一项所述的方法。
[0015]根据本申请的另一方面，提供了一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序在被处理器执行时实现上述任一项所述的方法。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0017]图1示出了根据本申请的一个实施例的工艺技术文件生成方法的流程图；图2示出了根据本申请的另一个实施例的工艺技术文件生成方法的流程图；图3示出了根据本申请的另一个实施例的工艺技术文件生成方法的流程图；图4示出了根据本申请的另一个实施例的工艺技术文件生成方法的流程图；图5示出了根据本申请的一个实施例的工艺技术文件生成装置的结构示意图；图6示出了根据本申请的一个实施例的一种电子设备的组成结构示意图。
具体实施方式
[0018]为使本申请的目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而非全部实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0019]为了降低生成的工艺技术文件的错误率，同时提高生成效率，本申请一实施例提供了一种工艺技术文件生成方法，如图1所示，该方法包括：步骤101，获取至少一个堆叠信息集，所述堆叠信息集包含至少一项堆叠数据。
[0020]堆叠信息集可以是以文本或Excel（一种表格软件）等格式记录堆叠数据的文件。堆叠信息集中包含至少一项堆叠数据。堆叠数据包括堆叠结构的结构信息、物理信息、电学信息或工艺效应信息等。
[0021]步骤102，根据至少一个堆叠结构标识从所述堆叠信息集中确定与所述堆叠结构标识对应的至少一项堆叠数据。
[0022]堆叠信息集中还包含至少一个堆叠结构标识，一个堆叠结构标识在堆叠信息集中与至少一项堆叠数据对应，因此，在堆叠信息集中确定与堆叠结构标识对应的至少一项堆叠数据。
[0023]步骤103，基于所述堆叠结构标识将对应的至少一项堆叠数据写本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种工艺技术文件生成方法，其特征在于，所述方法包括：获取至少一个堆叠信息集，所述堆叠信息集包含至少一项堆叠数据；根据至少一个堆叠结构标识从所述堆叠信息集中确定与所述堆叠结构标识对应的至少一项堆叠数据；基于所述堆叠结构标识将对应的至少一项堆叠数据写入工艺技术文件中的预设位置。2.根据权利要求1所述的工艺技术文件生成方法，其特征在于，所述堆叠信息集包括至少一个第一类型的堆叠信息集，所述第一类型的堆叠信息集包含至少一个第一工艺层信息子集和每个第一工艺层信息子集的堆叠结构标识，所述堆叠结构标识用于指示所述第一工艺层信息子集的工艺层类型。3.根据权利要求2所述的工艺技术文件生成方法，其特征在于，所述根据至少一个堆叠结构标识从所述堆叠信息集中确定与所述堆叠结构标识对应的至少一项堆叠数据，包括：基于所述堆叠结构标识确定所述第一工艺层信息子集的工艺层类型；从所述工艺层类型的至少一个第一工艺层信息子集中读取至少一项堆叠数据。4.根据权利要求3所述的工艺技术文件生成方法，其特征在于，所述基于所述堆叠结构标识确定所述第一工艺层信息子集的工艺层类型，包括：基于所述堆叠结构标识确定所述第一工艺层信息子集为介质层信息子集、导电层信息子集或通孔层信息子集。5.根据权利要求4所述的工艺技术文件生成方法，其特征在于，所述从所述工艺层类型的至少一个第一工艺层信息子集中读取至少一项堆叠数据，包括：读取至少一个介质层信息子集中的至少一项介质层堆叠数据，并将所述至少一项介质层堆叠数据按照预设顺序写入所述工艺技术文件中的预设位置，所述介质层堆叠数据包含介质层名和至少一个介质层参数；和/或，读取至少一个通孔层信息子集中的至少一项通孔层堆叠数据，并将所述至少一项通孔层堆叠数据按照预设顺序写入所述工艺技术文件中的预设位置，所述通孔层堆叠数据包含通孔层名和至少一个通孔层参数。6.根据权利要求5所述的工艺技术文件生成方法，其特征在于，所述从所述工艺层类型的至少一个第一工艺层信息子集中读取至少一项堆叠数据，包括：读取至少一个导电层信息子集中的至少一项导电层堆叠数据，基于关联标识确定所述导电层堆叠数据对应的介质层堆叠数据，并将所述导电层堆叠数据写入对应的介质层堆叠数据在所述工艺技术文件中的关联位置，所述导电层堆...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴瑕玉，金海林，
申请(专利权)人：杭州行芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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