多通道气体混合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种多通道气体混合装置，多通道气体混合装置包括多个气体混合比例控制模块，多个气体混合比例控制模块沿左右方向排列，每个气体混合比例控制模块包括：流道块，流道块设有沿左右方向贯通流道块的第一通孔和第二通孔，第一通孔的一端形成第一进口且另一端形成第一出口，第二通孔的一端形成第二进口且另一端形成第二出口，相邻的两个气体混合比例控制模块中的一个的第一进口与另一个的第一出口相连，流道块内设有第一流道和第二流道；混合腔体，混合腔体设有混合出口，混合腔体分别与第一流道和第二流道连通。根据本实用新型专利技术实施例的多通道气体混合装置具有可靠性强、准确性高等优点。准确性高等优点。准确性高等优点。

【技术实现步骤摘要】
多通道气体混合装置


[0001]本技术涉及比表面积测量设备制造
，具体而言，涉及一种多通道气体混合装置。

技术介绍

[0002]比表面仪通过诸如氮气的被吸附气体和诸如氦气的载气进行混合，使混合气体流过待测样品表面，检测样品吸附和脱附的氮气量以反应样品表面所能吸附的氮气量，并计算得到样品的比表面积，而氮气和氦气的流量控制直接影响比表面仪的检测精度。
[0003]相关技术中的诸如用于比表面仪的多通道气体混合装置，通过设置多组并行气路实现同时对多组样品进行检测，每组气路采用铜管等管材连接氮气和氦气气源对氦气和氮气进行混合，但管材的内径加工一致性较差，导致不同组之间的气体流量产生误差，而且不同组气路之间容易产生较大温差，导致混合装置的整体温度均匀性较差，进一步导致不同组气路之间的气体流量不同，影响比表面仪的检测结果的准确性。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种多通道气体混合装置，该多通道气体混合装置具有可靠性强、准确性高等优点。
[0005]为实现上述目的，根据本技术的实施例提出一种多通道气体混合装置，所述多通道气体混合装置包括多个气体混合比例控制模块，多个所述气体混合比例控制模块沿左右方向排列，相邻的两个所述气体混合比例控制模块可拆卸地连接，每个所述气体混合比例控制模块包括：流道块，所述流道块设有沿左右方向贯通所述流道块的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔的一端形成第一进口且另一端形成第一出口，所述第二通孔的一端形成第二进口且另一端形成第二出口，相邻的两个所述气体混合比例控制模块中的一个的所述第一进口与另一个的所述第一出口相连，所述第一进口与第一气源连通，所述第二进口与第二气源连通，所述流道块内设有第一流道和第二流道；混合腔体，所述混合腔体设有混合出口，所述混合腔体分别与所述第一流道和所述第二流道连通。
[0006]根据本技术实施例的多通道气体混合装置，具有可靠性强、准确性高等优点。
[0007]另外，根据本技术上述实施例的多通道气体混合装置还可以具有如下附加的技术特征：
[0008]根据本技术的一个实施例，每个所述气体混合比例控制模块还包括：第一流量控制装置，所述第一流量控制装置设在所述流道块外且与所述第一流道连通；第二流量控制装置，所述第二流量控制装置设在所述流道块外且与所述第二流道连通。
[0009]根据本技术的一个实施例，所述第一流量控制装置包括第一比例阀和第一流量计，所述第一比例阀设在所述流道块外且与所述第一流道连通，所述第一流量计设在所述流道块外且与所述第一流道连通，所述第一流量计与所述第一比例阀电连接，所述第二流量控制装置包括第二比例阀和第二流量计，所述第二比例阀设在所述流道块外且与所述
第二流道连通，所述第二流量计设在所述流道块外且与所述第二流道连通，所述第二流量计与所述第二比例阀电连接。
[0010]根据本技术的一个实施例，所述第一通孔的两端以及所述第二通孔的两端均设有密封圈。
[0011]根据本技术的一个实施例，相邻的两个所述流道块通过螺纹紧固件相连。
[0012]根据本技术的一个实施例，相邻的两个流道块之间设有定位销。
[0013]根据本技术的一个实施例，所述第一通孔位于所述第二通孔上方。
[0014]根据本技术的一个实施例，所述流道块为铝材料件。
[0015]根据本技术的一个实施例，所述第一流量计和所述第一比例阀通过PID控制器电连接，所述第二流量计和所述第二比例阀通过PID控制器电连接。
[0016]根据本技术的一个实施例，所述多通道气体混合装置为用于比表面仪的多通道气体混合装置。
[0017]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0018]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0019]图1是根据本技术实施例的气体混合比例控制模块的结构示意图。
[0020]图2是根据本技术实施例的气体混合比例控制模块的结构示意图。
[0021]图3是根据本技术实施例的气体混合比例控制模块的流道块的结构示意图。
[0022]图4是根据本技术实施例的气体混合比例控制模块的局部结构示意图。
[0023]图5是根据本技术实施例的气体混合比例控制模块的第一隔离件的结构示意图。
[0024]图6是根据本技术实施例的多通道气体混合装置的结构示意图。
[0025]附图标记：多通道气体混合装置1、气体混合比例控制模块10、混合腔体100、混合出口110、流道块200、第一流道210、第一纵向前盲孔前段211、第一竖向流量计前盲孔212、第一竖向流量计后盲孔213、第一纵向前盲孔后段214、第一竖向比例阀前盲孔215、第一竖向比例阀后盲孔216、第一纵向后盲孔217、第一盲槽218、第二流道220、第二纵向前盲孔前段221、第二竖向流量计前盲孔222、第二竖向流量计后盲孔223、第二纵向前盲孔后段224、第二竖向比例阀前盲孔225、第二竖向比例阀后盲孔226、第二纵向后盲孔227、第二盲槽228、第一通孔230、第一进口231、第一出口232、第二通孔240、第二进口241、第二出口242、第一流量计311、第一比例阀312、第二流量计321、第二比例阀322、第一隔离件410、隔离部411、定位部412、第二隔离件420、密封圈430、封堵件440、定位销450、第一减压阀21、第二减压阀22、第一稳压阀31、第二稳压阀32、第一电磁阀41、第二电磁阀42、第一气源2、第二气源3。
具体实施方式
[0026]本申请是基于专利技术人对以下事实和问题的发现和认识作出的：
[0027]比表面仪通过诸如氮气的被吸附气体和诸如氦气的载气进行混合，使混合气体流过待测样品表面，检测样品吸附和脱附的氮气量以反应样品表面所能吸附的氮气量，并计算得到样品的比表面积，而氮气和氦气的流量控制直接影响比表面仪的检测精度。
[0028]相关技术中的诸如用于比表面仪的多通道气体混合装置，通过设置多组并行气路实现同时对多组样品进行检测，每组气路采用铜管等管材连接氮气和氦气气源对氦气和氮气进行混合，但管材的内径加工一致性较差，导致不同组之间的气体流量产生误差，而且不同组气路之间容易产生较大温差，导致混合装置的整体温度均匀性较差，进一步导致不同组气路之间的气体流量不同，影响比表面仪的检测结果的准确性。
[0029]此外，比表面仪需要控制混合气体中各组分的分压，且需要在必要时对混合气体中各组分的分压比进行调节，也需要对混合气体整体的压力进行控制或调节。
[0030]相关技术中的诸如用于比表面仪的气体混合比例控制模块，部分采用基于电机驱动的稳流阀来控制混合本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多通道气体混合装置，其特征在于，包括多个气体混合比例控制模块，多个所述气体混合比例控制模块沿左右方向排列，相邻的两个所述气体混合比例控制模块可拆卸地连接，每个所述气体混合比例控制模块包括：流道块，所述流道块设有沿左右方向贯通所述流道块的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔的一端形成第一进口且另一端形成第一出口，所述第二通孔的一端形成第二进口且另一端形成第二出口，相邻的两个所述气体混合比例控制模块中的一个的所述第一进口与另一个的所述第一出口相连，所述第一进口与第一气源连通，所述第二进口与第二气源连通，所述流道块内设有第一流道和第二流道；混合腔体，所述混合腔体设有混合出口，所述混合腔体分别与所述第一流道和所述第二流道连通。2.根据权利要求1所述的多通道气体混合装置，其特征在于，每个所述气体混合比例控制模块还包括：第一流量控制装置，所述第一流量控制装置设在所述流道块外且与所述第一流道连通；第二流量控制装置，所述第二流量控制装置设在所述流道块外且与所述第二流道连通。3.根据权利要求2所述的多通道气体混合装置，其特征在于，所述第一流量控制装置包括第一比例阀和第一流量计，所述第一比例阀设在所述流道块外且与所述第一流道连通，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张守玉，朱英明，贾安琪，何雷，
申请(专利权)人：北京国仪精测技术有限公司，
类型：新型
国别省市：