一种用于洁净间的硅片传递设备制造技术

一种用于洁净间的硅片传递设备，包括运输车，运输车上开设有至少一个用于供硅片进出运输车的进出口，并且进出口的外侧设置有用于打开或者关闭进出口的开闭机构，运输车的两个相对设置的侧壁上各开设有一个通孔，其中一个通孔中固定设置有过滤器，另外一个通孔连通有风机。本实用新型专利技术提供一种用于洁净间的硅片传递设备，能够使硅片在传递过程中保持洁净，保证加工精度。加工精度。加工精度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于洁净间的硅片传递设备


[0001]本技术涉及硅片加工设备领域，具体的说是一种用于洁净间的硅片传递设备。

技术介绍

[0002]半导体硅抛光片生产过程中有一道重要的工艺就是背封工艺。背封工艺主要的一种方式就是采用低压化学气象淀积(LPCVD)或常压化学气象淀积(APCVD)原理在硅片背面生长一层二氧化硅或多晶硅薄膜。执行背封工艺之前需要对硅片进行清洗，保持硅片表面洁净无颗粒物，否则将产生沾污降低产品收率。在实际生产过程中硅片清洗完之后，并不能立即进入CVD炉内，必须要经过一段距离的传递和一段时间的等待，虽然整个传递过程中会在洁净间进行，但是难以做到真正的完全无尘，导致这个过程也会使硅片表面附着颗粒，造成产品收率降低。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术中硅片传递过程中可能会被污染的的不足，本技术提供一种用于洁净间的硅片传递设备，能够使硅片在传递过程中保持洁净，保证加工精度。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用的具体方案为：一种用于洁净间的硅片传递设备，包括运输车，运输车上开设有至少一个用于供硅片进出运输车的进出口，并且进出口的外侧设置有用于打开或者关闭进出口的开闭机构，运输车的两个相对设置的侧壁上各开设有一个通孔，其中一个通孔中固定设置有过滤器，另外一个通孔连通有风机。
[0005]作为上述用于洁净间的硅片传递设备的进一步优化：所述开闭机构包括固定设置在所述运输车外壁上的气缸，气缸驱动连接有封闭板，气缸推动封闭板移动的过程中封闭板能够将所述进出口封闭或者打开。
[0006]作为上述用于洁净间的硅片传递设备的进一步优化：所述进出口的周侧固定设置有密封圈，当所述封闭板将进出口封闭时封闭板与密封圈紧密贴合。
[0007]作为上述用于洁净间的硅片传递设备的进一步优化：所述气缸的活塞杆固定连接有连接块，所述封闭板与连接块固定连接。
[0008]作为上述用于洁净间的硅片传递设备的进一步优化：所述运输车内部移动设置有用于承托硅片的承载板，承载板移动过程中能够从所述进出口中伸出。
[0009]作为上述用于洁净间的硅片传递设备的进一步优化：所述承载板上固定设置有多个用于对硅片进行定位和支撑的定位支撑机构。
[0010]作为上述用于洁净间的硅片传递设备的进一步优化：所述定位支撑机构包括多个呈圆周分布的立柱，立柱的中部固定连接有与所述承载板相互平行的托板，托板用于支撑硅片。
[0011]作为上述用于洁净间的硅片传递设备的进一步优化：所述定位支撑机构包括固定设置在所述承载板上的衬垫，衬垫上垂直固定设置有两个相互平行的第一定位板，两个第
一定位板之间固定连接有多个相互平行的第二定位板，相邻的两个第二定位板之间留有用于容纳硅片的容纳间隙。
[0012]作为上述用于洁净间的硅片传递设备的进一步优化：所述运输车的内部固定设置有两个相互平行的导向杆，导向杆上滑动设置有滑动块，两个滑动块均与所述承载板固定连接。
[0013]作为上述用于洁净间的硅片传递设备的进一步优化：所述运输车的内部水平固定设置有隔板，隔板的下方设置有电池组，电池组连接有充电接头，并且充电接头伸出运输车。
[0014]有益效果：本技术能够使硅片在传递过程中保持洁净，保证加工精度。
附图说明
[0015]图1是本技术的整体结构示意图；
[0016]图2是运输车的内部结构示意图；
[0017]图3是第一种定位支撑机构的结构示意图；
[0018]图4是第二种定位支撑机构的结构示意图。
[0019]附图说明：1
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运输车，2
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万向轮，3
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气缸，4
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连接块，5
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封闭板，6
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进出口，7
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密封圈，8
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承载板，9
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支撑板，10
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风机，11
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过滤器，12
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定位支撑机构，13
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导向杆，14
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滑动块，15
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隔板，16
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电池组，17
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充电接头，18
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立柱，19
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托板，20
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衬垫，21
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第一定位板，22
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第二定位板，23
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容纳间隙。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1和2，一种用于洁净间的硅片传递设备，包括运输车1，运输车1上开设有至少一个用于供硅片进出运输车1的进出口6，并且进出口6的外侧设置有用于打开或者关闭进出口6的开闭机构，运输车1的两个相对设置的侧壁上各开设有一个通孔，其中一个通孔中固定设置有过滤器11，另外一个通孔连通有风机10。
[0022]在使用时，首先通过进出口6将硅片送入到运输车1中，然后利用开闭机构将进出口6封闭，随后启动风机10持续将运输车1内部的空气抽出，同时外部空气通过过滤器11进入到运输车1内部，因为空气被过滤器11过滤过，因此进入到运输车1内部的空气是洁净的，洁净的气流吹在硅片上，将硅片上可能吸附的杂质吹走，从而保持硅片洁净，最后可以移动运输车1，将硅片传递到需要的工序中。
[0023]本技术能够使硅片在传递过程中保持洁净，保证加工精度。
[0024]开闭机构的具体结构为：开闭机构包括固定设置在运输车1外壁上的气缸3，气缸3驱动连接有封闭板5，气缸3推动封闭板5移动的过程中封闭板5能够将进出口6封闭或者打开。在硅片置入到运输车1中之后，利用气缸3推动封闭板5向进出口6移动，直到封闭板5将进出口6封闭即可。在封闭板6将进出口6封闭之后，运输车1传递硅片的过程中，外部空气只
会通过过滤器11进入到运输车1中，而不会直接通过进出口6进入到运输车1中，从而保证进入到运输车1内的空气都是洁净的，从而充分保证硅片洁净。
[0025]为了进一步避免外界空气直接通过进出口6进入到运输车1中，进出口6的周侧固定设置有密封圈7，当封闭板5将进出口6封闭时封闭板5与密封圈7紧密贴合。通过设置密封圈7可以充分保证进出口6被封闭时的密封性能。
[0026]考虑到气缸3的活塞杆与运输车1的外壁之间会有一定间隙，导致气缸3的活塞杆无法直接与封闭板5连接，这会导致封闭板5与进出口6之间存在缝隙，为了避免该情况，气缸3的活塞杆固定连接有连接块4，封闭板5与连接块4固定连接。
[0027]为了便于通过进出口6将硅片置入到运本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于洁净间的硅片传递设备，其特征在于：包括运输车(1)，运输车(1)上开设有至少一个用于供硅片进出运输车(1)的进出口(6)，并且进出口(6)的外侧设置有用于打开或者关闭进出口(6)的开闭机构，运输车(1)的两个相对设置的侧壁上各开设有一个通孔，其中一个通孔中固定设置有过滤器(11)，另外一个通孔连通有风机(10)。2.如权利要求1所述的一种用于洁净间的硅片传递设备，其特征在于：所述开闭机构包括固定设置在所述运输车(1)外壁上的气缸(3)，气缸(3)驱动连接有封闭板(5)，气缸(3)推动封闭板(5)移动的过程中封闭板(5)能够将所述进出口(6)封闭或者打开。3.如权利要求2所述的一种用于洁净间的硅片传递设备，其特征在于：所述进出口(6)的周侧固定设置有密封圈(7)，当所述封闭板(5)将进出口(6)封闭时封闭板(5)与密封圈(7)紧密贴合。4.如权利要求3所述的一种用于洁净间的硅片传递设备，其特征在于：所述气缸(3)的活塞杆固定连接有连接块(4)，所述封闭板(5)与连接块(4)固定连接。5.如权利要求1所述的一种用于洁净间的硅片传递设备，其特征在于：所述运输车(1)内部移动设置有用于承托硅片的承载板(8)，承载板(8)移动过程中能够从所述进出口(6)中伸出。6.如权利要求5所述的一种用于洁净间的硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：张天鹏，代玉超，李鲁，王军，董开纪，韩天浩，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：