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一种用于洁净间的硅片传递设备，包括运输车，运输车上开设有至少一个用于供硅片进出运输车的进出口，并且进出口的外侧设置有用于打开或者关闭进出口的开闭机构，运输车的两个相对设置的侧壁上各开设有一个通孔，其中一个通孔中固定设置有过滤器，另外一个通孔...
该专利属于麦斯克电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯克电子材料股份有限公司授权不得商用。

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