一种紫外激光反射镜的制备方法及制备的紫外激光反射镜技术

本发明专利技术具体公开了一种紫外激光反射镜的制备方法及制备的紫外激光反射镜，该反射镜为铝基层通过调节处理液先浸润处理，再通过改性溅射料溅射处理，最后烧结改性，即可得到本发明专利技术的紫外激光反射镜。本发明专利技术产品的波长区域段反射率稳定性改进，以及耐酸腐、耐温性能的持久性提高，产品的性能得到协调；改性溅射料采用氧化锡粉末、磷酸缓冲溶液和柠檬酸钠之间调配，硝酸钇溶液、壳聚糖水溶液配合形成球磨改性液，采用球磨改性方式对氧化锡粉末调节改性，优化的改性溅射料配合烧结工艺，产品的性能得到进一步的改进。能得到进一步的改进。

【技术实现步骤摘要】
一种紫外激光反射镜的制备方法及制备的紫外激光反射镜


[0001]本专利技术涉及反射镜
，具体涉及一种紫外激光反射镜的制备方法及制备的紫外激光反射镜。

技术介绍

[0002]激光器由于其独有的单色性、一致性，准直性等不可取代的特性，其在军事、加工、医疗和科学研究领域内得到了广泛应用。常用于激光测距、激光制导、激光打孔和切割、大气检测、激光遥感、眼科手术等方面。根据用途的不同，往往需要不同的激光波长，如在激光手术中针对不同病变需要选用不同波长的激光，以保证切除效果。而高反射镜是真空紫外波段天文观测、自由电子激光装置等研究方面的重要光学元件之一。由于在100nm以上的紫外光谱区域中，Al膜具有任何已知膜材料的最高固有反射率和较好的粘附性，所以Al是该波段高反射元件的首选材料。
[0003]现有的Al基激光反射镜在100nm以上的紫外光谱区域，波长区域段反射率有好有坏，稳定性差，同时在耐酸腐、耐温性能反射率持久性低，产品很难实现波长区域段反射率稳定以及耐酸腐、耐温性能的稳定性差，基于此，本专利技术对其进一步的改进处理。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的缺陷，本专利技术的目的是提供一种紫外激光反射镜及制备方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]本专利技术解决技术问题采用如下技术方案：
[0006]本专利技术提供了一种紫外激光反射镜的制备方法，所述反射镜为铝基层通过调节处理液先浸润处理，再通过改性溅射料溅射处理，最后烧结改性，即可得到本专利技术的紫外激光反射镜；<br/>[0007]其中具体的方法为：
[0008]步骤一：将铝基层置于4~5倍调节处理液中超声浸润处理，超声功率为450~550W，超声时间为10~20min，超声温度为42~45℃，超声结束，水洗、干燥；
[0009]步骤二：将浸润的铝基层采用改性溅射料溅射，溅射采用氩气作为工作气体，流量为200~220sccm，离子源电流为10~30A，溅射功率为30~35Kw，电偏压为100~120V，溅射厚度为0.45~0.65mm；
[0010]步骤三：最后再烧结改性热均化处理，处理结束，即可得到紫外激光反射镜。
[0011]优选地，所述调节处理液的制备方法为：
[0012]S01：将羟基磷灰石先置于55~65℃下热处理5~10min，然后将热处理产物于3~5倍的改性液中搅拌分散均匀，搅拌结束，水洗、干燥，得到羟基磷灰石剂；
[0013]S02：将3~5份质量分数为5~10%的硫酸镧溶液加入到10~15份盐酸溶液中先一次搅拌处理；
[0014]S03：然后向S02产物中再加入2~4份羟基磷灰石改性剂、1~3份十二烷基硫酸钠，再
二次搅拌处理，搅拌结束，得到调节处理液。
[0015]优选地，所述盐酸溶液的质量分数为2~5%。
[0016]优选地，所述一次搅拌处理的转速为450~650r/min、搅拌温度为42~46℃，搅拌时间为20~30min；所述二次搅拌处理的转速为750~850r/min、搅拌温度为48~50℃，搅拌时间为10~20min。
[0017]优选地，所述改性液包括以下重量份原料：1~3份N，N
‑
二甲基酰胺、2~5份氧化镁和6~10份海藻酸钠水溶液以及0.45~0.65份磷酸二异辛酯、0.25~0.35份硅烷偶联剂KH560。
[0018]优选地，所述海藻酸钠水溶液的质量分数为10~15%。
[0019]优选地，所述改性溅射料的制备方法为：
[0020]S11：将氧化锡粉末按照重量比1:5加入到去离子水中，然后加入氧化锡粉末总量10~15%的磷酸缓冲溶液、氧化锡粉末总量2~6%的柠檬酸钠，搅拌充分，得到氧化锡液；
[0021]S12：向硝酸钇溶液中，按照重量比3:1加入壳聚糖水溶液，搅拌充分，得到球磨调节液。
[0022]S13：将氧化锡液中加入总量20~30%的球磨调节液，转至球磨机中球磨处理，球磨转速为1000~1500r/min，球磨1~2h，球磨结束，水洗、干燥，得到改性溅射料。
[0023]优选地，所述磷酸缓冲溶液的pH值为4.5~5.5；硝酸钇溶液的质量分数为2~5%；所述壳聚糖水溶液的质量分数为4~8%。
[0024]优选地，所述烧结改性热均化处理的具体操作步骤为：
[0025]S101：先以350~360℃的温度烧结10~20min，然后以1~3℃/min的速率升温至410~420℃，继续烧结5~10min；
[0026]S102：然后S101产物以2~5℃/min的速率冷却至65~70℃，保温处理；
[0027]S103：再将保温产物再空冷至室温，即可。
[0028]本专利技术还提供了一种紫外激光反射镜的制备方法制备的紫外激光反射镜。
[0029]与现有技术相比，本专利技术具有如下的有益效果：
[0030]本专利技术反射镜采用铝基层通过调节处理液浸润，调节处理液以硫酸镧溶液、盐酸溶液一次搅拌，再配合羟基磷灰石改性剂、十二烷基硫酸钠二次搅拌，通过多级搅拌处理，制备的调节处理液能够提高对基层的活性润透，提高基础的润透性，羟基磷灰石改性剂通过羟基磷灰石55~65℃下热处理5~10min，再改性液搅拌改性，改性液采用N，N
‑
二甲基酰胺、氧化镁和海藻酸钠水溶液以及磷酸二异辛酯、硅烷偶联剂KH560之间相互组配，通过改性液改性的羟基磷灰石协配在调节处理液中，对基层吸附粘接，调配在基层中，改性的羟基磷灰石改性剂能够优化铝基层与溅射料的粘接强度以及与改性溅射料溅射、烧结改性热均化处理共同协调配合，产品的波长区域段反射率稳定性改进，以及耐酸腐、耐温性能的稳定性提高，产品的性能得到协调。
[0031]改性溅射料采用氧化锡粉末、磷酸缓冲溶液和柠檬酸钠之间调配，硝酸钇溶液、壳聚糖水溶液配合形成球磨改性液，采用球磨改性方式对氧化锡粉末调节改性，优化的改性溅射料配合烧结工艺，产品的性能得到进一步的改进。
具体实施方式
[0032]下面结合具体实施例，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显
然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0033]本专利技术所采用的紫外激光反射镜的制备方法，先将铝基层通过调节处理液先浸润处理，再通过改性溅射料溅射处理，最后烧结改性，即可得到本专利技术的紫外激光反射镜；
[0034]其中具体的方法为：
[0035]步骤一：将铝基层置于4~5倍调节处理液中超声浸润处理，超声功率为450~550W，超声时间为10~20min，超声温度为42~45℃，超声结束，水洗、干燥；
[0036]步骤二：将浸润的铝基层采用改性溅射料溅射，溅射采用氩气作为工作气体，流量为200~220sccm，离子源电流为10~30A，溅射功率为30本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紫外激光反射镜的制备方法，其特征在于，所述反射镜为铝基层通过调节处理液先浸润处理，再通过改性溅射料溅射处理，最后烧结改性，即可得到本发明的紫外激光反射镜；其中具体的方法为：步骤一：将铝基层置于4~5倍调节处理液中超声浸润处理，超声功率为450~550W，超声时间为10~20min，超声温度为42~45℃，超声结束，水洗、干燥；步骤二：将浸润的铝基层采用改性溅射料溅射，溅射采用氩气作为工作气体，流量为200~220sccm，离子源电流为10~30A，溅射功率为30~35Kw，电偏压为100~120V，溅射厚度为0.45~0.65mm；步骤三：最后再烧结改性热均化处理，处理结束，即可得到紫外激光反射镜。2.根据权利要求1所述的紫外激光反射镜的制备方法，其特征在于，所述调节处理液的制备方法为：S01：将羟基磷灰石先置于55~65℃下热处理5~10min，然后将热处理产物于3~5倍的改性液中搅拌分散均匀，搅拌结束，水洗、干燥，得到羟基磷灰石剂；S02：将3~5份质量分数为5~10%的硫酸镧溶液加入到10~15份盐酸溶液中先一次搅拌处理；S03：然后向S02产物中再加入2~4份羟基磷灰石改性剂、1~3份十二烷基硫酸钠，再二次搅拌处理，搅拌结束，得到调节处理液。3.根据权利要求2所述的紫外激光反射镜的制备方法，其特征在于，所述盐酸溶液的质量分数为2~5%。4.根据权利要求2所述的紫外激光反射镜的制备方法，其特征在于，所述一次搅拌处理的转速为450~650r/min、搅拌温度为42~46℃，搅拌时间为20~30min；所述二次搅拌处理的转速为750~850r/min、搅拌温度为48~50℃，搅拌时间为10~20min。5.根据权利要求2所述的紫外激光反射镜的制...

【专利技术属性】
技术研发人员：任光裕，
申请(专利权)人：江苏天凯光电有限公司，
类型：发明
国别省市：