一种芯片转台检测机构制造技术

技术编号:39156368 阅读:7 留言:0更新日期:2023-10-23 15:00
本发明专利技术旨在提供一种针对微小型储存芯片吸附定位精准度,同时满足芯片多角度外形检测的芯片转台检测机构。本发明专利技术包括底板、若干组载台模组以及设置在所述底板上的若干组端面检测模组、转台模组、若干吸附头以及检测相机模组,所述转台模组固定连接于所述底板上,若干组所述载台模组均设置于所述转台模组上,若干所述吸附头对应与若干组所述载台模组相连接,所述转台模组带动若干组所述载台模组转动,所述端面检测模组对应与一组所述载台模组,所述载台模组根据所述检测相机模组检测结果旋转所述吸附头调整芯片位置。本发明专利技术应用于转台检测机构的技术领域。转台检测机构的技术领域。转台检测机构的技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片转台检测机构


[0001]本专利技术涉及转台检测机构的
,特别涉及一种芯片转台检测机构。

技术介绍

[0002]微小型储存芯片1mm以下的外形尺寸、外观检测,是芯片生产流程中重要的一环。由于微小型芯片外形较小,现有微小芯片自动化测试设备,通过单工位检测作业方式效率低下,无法满足客户的大批量生产需求。并且设备需要在恒温恒湿的洁净室内作业,当前设备占地尺寸大,芯片生产厂家需花费巨额费用搭建生产场地。对于尺寸较小的芯片,无法做到取料时对吸嘴下压高度精确控制,且多次重复吸起调整位置容易对芯片造成压伤或损害,对于部分有压力要求的芯片无法使用此类结构。
[0003]公开号为CN214767030U的中国专利,一种半导体芯片主动上料双工位检测装置公开包括平台板,平台板的顶部外壁焊接有支架,支架的顶端焊接有横梁,横梁的顶部外壁通过螺栓固定安装有步进电机,步进电机的输出轴通过转杆传动连接有转盘,转盘的侧壁侧环形等距离焊接有若干个转臂,转臂远离转盘的一端顶部外壁通过螺栓固定安装有伸缩杆,伸缩杆的底端通过螺栓固定安装有吸盘爪,平台板的顶部外壁设置有分类盒,分类盒的内壁之间通过转杆转动连接有导向板,平台板的一侧内壁转动连接有液压缸,通过步进电机带动转杆转盘旋转,吸盘爪将芯片吸附移载到芯片检测盒中,移动方式外形较大方便吸附的芯片能提升检测效率,该技术方案难以满足体型较小的微小型储存芯片对吸附力度和定位精准度较高的要求。

技术实现思路

[0004]本专利技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种针对微小型储存芯片吸附定位精准度,同时满足芯片多角度外形检测的芯片转台检测机构。
[0005]本专利技术所采用的技术方案是:本专利技术包括底板、若干组带有旋转机构的载台模组以及设置在所述底板上的若干组端面检测模组、转台模组、若干吸附头以及检测相机模组,所述转台模组固定连接于所述底板上,若干组所述载台模组均设置于所述转台模组上,若干所述吸附头对应与若干组所述载台模组相连接,所述转台模组带动若干组所述载台模组转动,所述端面检测模组对应与一组所述载台模组,所述检测相机模组对应与一组所述载台模组配合检测定位,所述载台模组根据所述检测相机模组检测结果旋转所述吸附头调整芯片位置。
[0006]进一步,所述转台模组的周边还设有废料拾取模组以及两组仰拍模组,所述废料拾取模组以及两组所述仰拍模组均设置于所述转台模组的周边,两组所述仰拍模组设于所述检测相机模组的两侧,所述废料拾取模组设于所述检测相机模组的一侧并吸附缺陷产品。
[0007]进一步,所述端面检测模组包括XYZ三轴调节座、端面固定件以及端面检测相机,所述XYZ三轴调节座与所述底板固定连接,所述端面固定件与所述XYZ三轴调节座的活动端
相连接,所述端面检测相机通过所述端面固定件与所述XYZ三轴调节座相连接并位于所述转台模组的上方。
[0008]进一步,所述XYZ三轴调节座包括固定块、第一X轴调节件、第一Z轴调节件、连接座以及第一Y轴调节件,所述固定块与所述底板固定连接,所述第一X轴调节件与所述固定块相连接,所述第一Z轴调节件与所述第一X轴调节件相连接,所述连接座与所述第一Z轴调节件的活动端相连接,所述第一Y轴调节件与所述连接座的上端相连接,所述第一Y轴调节件与所述端面固定件固定连接。
[0009]进一步,所述载台模组包括载台X轴调节装置、载台Y轴调节装置、载台旋转调节装置以及吸附头,所述载台X轴调节装置与所述转台模组相连接,所述载台Y轴调节装置与所述载台X轴调节装置的活动端相连接,所述载台旋转调节装置设置于所述载台X轴调节装置的活动端,所述吸附头设于所述载台旋转调节装置的活动端并与外部真空发生装置相连通。
[0010]进一步,所述吸附头呈锥形状,所述吸附头内设有通孔,所述通孔与外部负压发生装置相连通。
[0011]进一步,所述废料拾取模组包括拾取架、拾取驱动装置、摆臂以及吸头,所述拾取架与所述底板固定连接,所述拾取驱动装置与所述拾取架的上部相连接,所述摆臂与所述拾取驱动装置的活动端相连接,所述吸头设置于所述摆臂的一端并与外部负压发生装置相连接。
[0012]进一步,所述摆臂设有凸块和伸出件,所述伸出件与所述拾取驱动装置的活动端相连接,所述伸出件通过螺丝与所述凸块固定连接,所述拾取驱动装置的两侧分别设有缓冲件,两组所述缓冲件对应与所述凸块限位配合。
[0013]进一步,所述检测相机模组包括固定座、检测调节座、定位块以及到位检测相机,所述固定座与所述底板固定连接,所述定位块与所述检测调节座的活动端相连接,所述到位检测相机与所述定位块夹紧配合。
[0014]进一步,所述仰拍模组包括仰拍定位座、连接块、仰拍相机以及吸料管,所述仰拍定位座与所述底板固定连接,所述连接块设置于所述仰拍定位座的活动端,所述仰拍相机与所述连接块夹紧配合,所述吸料管通过夹紧块与所述仰拍相机的一端相连接,所述吸料管的一端与外部负压发生装置相连接。
[0015]本专利技术的有益效果是:由于本专利技术在端面检测模组、载台模组、检测相机模组和两组仰拍模组中均设有手动微调装置,可根据不同的产品型号进行适应性调节,以满足多样化的产线需求,有效减少更换相应模组检测相应产品的情况,整体机构紧凑有效,需要的安装空间小,且通过多组检测相机分别对产品各个方位端面检测,提高外观检测实验有效性,在仰拍模组和废料拾取模组与外部废料存留部相连通,对于残次产品能第一时间排出筛选,减少人工干预提高,进一步降低人工成本,多组载台模组均匀设于转台模组中,当一组芯片完成上料检测并调节检测角度后,转台模组使其移载进入上料工位,下一组载台模组搭在吸附头继续配合外部芯片移载机构上料检测,多工位同步完成检测和上料流程,提升芯片检测效率。
附图说明
[0016]图1是本专利技术的结构示意图;图2是本专利技术结构示意图的另一视角;图3是本专利技术端面检测模组的结构示意图;图4是本专利技术端面检测模组结构示意图的另一视角;图5是本专利技术转台模组和载台模组的结构示意图;图6是本专利技术废料拾取模组的结构示意图;图7是本专利技术检测相机模组的结构示意图;图8是本专利技术仰拍模组的结构示意图。
实施方式
[0017]如图1至图8所示,在本实施例中,本专利技术包括底板1、若干组载台模组2以及设置在所述底板1上的若干组端面检测模组3、转台模组4、若干吸附头8以及检测相机模组5,所述转台模组4固定连接于所述底板1上,若干组所述载台模组2均设置于所述转台模组4上,若干所述吸附头8对应与若干组所述载台模组2相连接,所述转台模组4带动若干组所述载台模组2转动,所述端面检测模组3对应与一组所述载台模组2,所述检测相机模组5对应与一组所述载台模组2配合检测定位,所述载台模组2根据所述检测相机模组5检测结果旋转所述吸附头8调整芯片位置,转台模组4包括旋转电机以及放置板,旋转电机固定在底板1上,放置板设置于旋转电机的输出端,两组载台模组2对称设置放置板上,旋转电机的旋转角度为0

180度,两组端面检测模组3的端面检测相机33本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片转台检测机构,它包括底板(1),其特征在于:所述芯片转台检测机构还包括若干组带有旋转机构的载台模组(2)以及设置在所述底板(1)上的若干组端面检测模组(3)、转台模组(4)、若干吸附头(8)以及检测相机模组(5),所述转台模组(4)固定连接于所述底板(1)上,若干组所述载台模组(2)均设置于所述转台模组(4)上,若干所述吸附头(8)对应与若干组所述载台模组(2)相连接,所述转台模组(4)带动若干组所述载台模组(2)转动,所述端面检测模组(3)对应与一组所述载台模组(2)对芯片检测,所述检测相机模组(5)对应与一组所述载台模组(2)配合检测定位,所述载台模组(2)根据所述检测相机模组(5)检测结果旋转所述吸附头(8)调整芯片位置。2.根据权利要求1所述的一种芯片转台检测机构,其特征在于:所述转台模组(4)的周边还设有废料拾取模组(6)以及两组仰拍模组(7),所述废料拾取模组(6)以及两组所述仰拍模组(7)均设置于所述转台模组(4)的周边,两组所述仰拍模组(7)设于所述检测相机模组(5)的两侧,所述废料拾取模组(6)设于所述检测相机模组(5)的一侧并吸附缺陷产品。3.根据权利要求1所述的一种芯片转台检测机构,其特征在于:所述端面检测模组(3)包括XYZ三轴调节座(31)、端面固定件(32)以及端面检测相机(33),所述XYZ三轴调节座(31)与所述底板(1)固定连接,所述端面固定件(32)与所述XYZ三轴调节座(31)的活动端相连接,所述端面检测相机(33)通过所述端面固定件(32)与所述XYZ三轴调节座(31)相连接并位于所述转台模组(4)的上方。4.根据权利要求3所述的一种芯片转台检测机构,其特征在于:所述XYZ三轴调节座(31)包括固定块(311)、第一X轴调节件(312)、第一Z轴调节件(313)、连接座(314)以及第一Y轴调节件(315),所述固定块(311)与所述底板(1)固定连接,所述第一X轴调节件(312)与所述固定块(311)相连接,所述第一Z轴调节件(313)与所述第一X轴调节件(312)相连接,所述连接座(314)与所述第一Z轴调节件(313)的活动端相连接,所述第一Y轴调节件(315)与所述连接座(314)的上端相连接,所述第一Y轴调节件(315)与所述端面固定件(32)固定连接。5.根据权利要求1所述的一种芯片转台检测机构,其特...

【专利技术属性】
技术研发人员:李峰宋斌杰粟勇杨俊辉陈飞陈云钟函君
申请(专利权)人:珠海市申科谱工业科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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