一种晶圆固定载具制造技术

本发明专利技术的一种晶圆固定载具，包括设有匹配晶圆的凹槽的主体面板，于凹槽的任一侧设置延伸至面板的敞口槽；并于敞口槽处设置匹配的紧固结构；紧固结构包括水平置于敞口槽内的舌片，舌片的两侧分别由挡板夹持，舌片近凹槽的端面呈弧形，远离凹槽的端面接弹簧的一端，弹簧的另一端抵接固定板。其通过于主体面板上设置匹配晶圆的凹槽，再设置弹性的紧固结构，使晶圆稳定的置于凹槽内，待检测。通过设于主体面板底面的脚板，使载有晶圆的主体面板与检测仪器固定，进而使得设备支持对晶圆的超声波扫描。其结构简单，使用方便，可实现设备同时支持基板和晶圆的两种方式作业，解决设备作业单一性问题，具有很强的实用性和广泛的适用性。具有很强的实用性和广泛的适用性。具有很强的实用性和广泛的适用性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆固定载具


[0001]本专利技术涉及一种载具，具体涉及一种晶圆固定载具，属于半导体封装


技术介绍

[0002]目前，半导体晶圆底部填充后制程工艺中，在晶圆底部填充后，需要进行超声波扫描，以此确认胶水填充情况，传统超声波扫描设备只支持条状基板，无法对晶圆类型进行扫描。
[0003]因此，有必要提供一种晶圆固定载具以解决超声波扫描的问题。

技术实现思路

[0004]为解决现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种晶圆固定载具。
[0005]为了实现上述目标，本专利技术采用如下的技术方案：
[0006]一种晶圆固定载具，包括主体面板；
[0007]所述主体面板设有匹配晶圆的凹槽，于所述凹槽的任一侧设置延伸至主体面板的敞口槽；
[0008]并于敞口槽处设置匹配的紧固结构；
[0009]所述紧固结构包括水平置于敞口槽内的舌片，
[0010]所述舌片的两侧分别由挡板夹持，舌片近凹槽的端面呈弧形，远离凹槽的端面接弹簧的一端，弹簧的另一端抵接固定板。
[0011]于上述主体面板的底面设有一对平行的脚板，所述脚板用于匹配检测仪器。
[0012]上述舌片内侧端面的曲率与凹槽的曲率一致。
[0013]沿主体面板的厚度方向，上述敞口槽未通透主体面板的底面。
[0014]进一步的，上述挡板包括与主体面板固定的上挡板；舌片的侧端置于上挡板和主体面板间。
[0015]上述弹簧沿凹槽的半径方向布置。
[0016]上述弹簧的旋向为右，有效圈数为5圈，总圈数为6圈，表面镀锌退磁处理。
[0017]本专利技术的有益之处在于：
[0018]本专利技术的一种晶圆固定载具，通过于主体面板上设置匹配晶圆的凹槽，再设置弹性的紧固结构，使晶圆稳定的置于凹槽内，待检测。通过设于主体面吧板底面的脚板，使载有晶圆的面板与检测仪器固定，进而使得设备支持对晶圆的超声波扫描。
[0019]本专利技术的一种晶圆固定载具，其结构简单，使用方便，可实现设备同时支持基板和晶圆的两种方式作业，解决设备作业单一性问题，具有很强的实用性和广泛的适用性。
附图说明
[0020]图1为晶圆固定载具的结构示意图的爆炸图。
[0021]图2为超声波扫描设备支持本专利技术的晶圆固定载具的照片。
[0022]图3为为现有的超声波扫描设备支持条状基板的照片。
[0023]附图中标记的含义如下：1、主体面板，2、舌片，3、固定板，4、上挡板，5、脚板，6、弹簧。
具体实施方式
[0024]以下结合附图和具体实施例对本专利技术作具体的介绍。
[0025]一种晶圆固定载具，如图1所示，由主体面板1、舌片2和弹簧6组成。
[0026]主体面板1设有匹配晶圆的凹槽，
[0027]沿水平向，于主体面板1的顶面，沿任一方向设置通透至凹槽的敞口槽。即沿高度方向，敞口槽未通透主体面板1的底面。
[0028]于敞口槽的两侧，分别通过螺丝将上挡板4固定于主体面板1的顶面；舌片2水平的置于敞口槽内，两侧分别由上挡板4和主体面板1夹持。舌片2的宽度与敞口槽的宽度相等，长度小于敞口槽的长度，即舌片2可于敞口槽内沿长度方向滑动。
[0029]舌片2近凹槽的端面呈弧形，曲率与凹槽的曲率一致。舌片2远离凹槽的端面固接弹簧6的一端，弹簧6的另一端抵接固定板3。优选的，弹簧6沿凹槽的半径方向布置。弹簧6的旋向为右，有效圈数为5圈，总圈数为6圈，表面镀锌退磁处理。
[0030]主体面板1的底面设有一对平行的脚板5，所述脚板5与检测仪器的夹具匹配。
[0031]其中，若敞口槽为两端通透，则固定板3为后置的横置于敞口槽外侧端的板块。若敞口槽为一端通透，则固定板3为主体面板1的一部分。
[0032]使用时，
[0033]抵压舌片2，弹簧6受压并使得舌片2远离凹槽。
[0034]将晶圆置于凹槽内，放开舌片2，弹簧6释放弹力，舌片2在弹力作用下沿敞口槽滑动，端面抵压晶圆的端侧；即受弹簧6弹力的舌片2构成置于凹槽内的晶圆的紧固结构。
[0035]将载有晶圆主体面板1置于检测仪器中，使其脚板5与检测仪器的夹具匹配，或使用内六角M4螺丝与检测仪器固定，如图2所示。
[0036]图3为现有的超声波扫描设备支持条状基板的照片。
[0037]以上显示和描述了本专利技术的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，上述实施例不以任何形式限制本专利技术，凡采用等同替换或等效变换的方式所获得的技术方案，均落在本专利技术的保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆固定载具，其特征在于，包括主体面板；所述主体面板设有匹配晶圆的凹槽，于所述凹槽的任一侧设置延伸至面板的敞口槽；并于敞口槽处设置匹配的紧固结构；所述紧固结构包括水平置于敞口槽内的舌片，所述舌片的两侧分别由挡板夹持，舌片近凹槽的端面呈弧形，远离凹槽的端面接弹簧的一端，弹簧的另一端抵接固定板。2.根据权利要求1所述的一种晶圆固定载具，其特征在于，于所述主体面板的底面设有一对平行的脚板，所述脚板匹配检测仪器的夹具。3.根据权利要求1所述的一种晶圆固定载具，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲁国健，刘畅，
申请(专利权)人：江苏芯德半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：