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本发明的一种晶圆固定载具，包括设有匹配晶圆的凹槽的主体面板，于凹槽的任一侧设置延伸至面板的敞口槽；并于敞口槽处设置匹配的紧固结构；紧固结构包括水平置于敞口槽内的舌片，舌片的两侧分别由挡板夹持，舌片近凹槽的端面呈弧形，远离凹槽的端面接弹簧的一...
该专利属于江苏芯德半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏芯德半导体科技有限公司授权不得商用。

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