一种批量自动测电阻装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种批量自动测电阻装置，旨在解决微小型热电制冷片外露焊盘间电阻的测量操作不便，容易划伤焊盘的不足。该发明专利技术包括装载台，装载台上装载若干待测产品；探针安装座，探针安装座上安装两测量探针，探针安装座和装载台之间能够实现X轴、Y轴、Z轴的相互移动从而使测量探针触动到待测产品上进行电阻测量。这种批量自动测电阻装置能自动实现微小型热电制冷片外露焊盘间电阻的测量操作，大大提高了工作效率，而且测量过程中不易划伤焊盘。而且测量过程中不易划伤焊盘。而且测量过程中不易划伤焊盘。

【技术实现步骤摘要】
一种批量自动测电阻装置


[0001]本专利技术涉及半导体
，更具体地说，它涉及一种批量自动测电阻装置。

技术介绍

[0002]微小型热电制冷片产品由上下基板与中间的半导体晶粒焊接而成，该产品每枚均需要测量外露焊盘间的电阻，因产品尺寸极小，焊盘间距通常在0.5~2mm之间，手工测量效率低下且极易划伤焊盘。

技术实现思路

[0003]为了克服上述不足，本专利技术提供了一种批量自动测电阻装置，它能自动实现微小型热电制冷片外露焊盘间电阻的测量操作，大大提高了工作效率，而且测量过程中不易划伤焊盘。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：一种批量自动测电阻装置，包括装载台，装载台上装载若干待测产品；探针安装座，探针安装座上安装两测量探针，探针安装座和装载台之间能够实现X轴、Y轴、Z轴的相互移动从而使测量探针触动到待测产品上进行电阻测量。
[0005]微小型热电制冷片产品进行电阻测量时，将若干待测产品装载到装载台上，启动装置，装置按照设定的路径参数实现探针安装座和装载台之间X轴、Y轴、Z轴的相互移动，进而使两测量探针接触到待测产品上的两焊盘上，测量探针和焊盘接触导通后就能实现两焊盘间电阻的自动测量。这种批量自动测电阻装置能自动实现微小型热电制冷片外露焊盘间电阻的测量操作，大大提高了工作效率，而且测量过程中不易划伤焊盘。
[0006]作为优选，探针安装座下方设置工作台，装载台安装在工作台上能沿Y轴移动；工作台上安装移动架，移动架上安装沿X轴移动的横移座；探针安装座安装在横移座上能沿Z轴升降。
[0007]装载台安装在工作台上，并在工作台上沿Y轴移动，平稳可靠。横移座移动安装在移动架上实现X轴移动，探针安装座移动安装在横移座上实现Z轴升降。
[0008]作为优选，工作台上安装Y轴导轨和Y轴活塞缸，装载台滑动安装在Y轴导轨上，Y轴活塞缸伸缩杆与装载台连接；移动架上安装X轴导轨和X轴活塞缸，横移座滑动安装在X轴导轨上，X轴活塞缸伸缩杆与横移座连接；横移座上安装Z轴导轨和Z轴活塞缸，探针安装座滑动安装在Z轴导轨上，Z轴活塞缸伸缩杆与探针安装座连接。
[0009]Y轴活塞缸工作使装载台沿Y轴导轨移动，X轴活塞缸工作使横移座沿X轴导轨移动，Z轴活塞缸工作使探针安装座沿Z轴导轨升降移动。移动位置精准可靠，保证了测量探针的精准测量。
[0010]作为优选，装载台上设置若干个方格槽，待测产品装载在方格槽中。
[0011]装载时，待测产品角部位置靠合到方格槽的角部位置实现精准定位。
[0012]作为优选，方格槽底部设置真空吸附孔，装载台上设置吸附腔，真空吸附孔与吸附腔连通。
[0013]吸附腔处于负压状态，待测产品装载到方格槽后通过真空吸附孔对待测产品进行真空吸附定位，以免测量探针下压时造成待测产品移位。
[0014]作为优选，装载台包括底座和盖板，盖板紧密安装在底座上，吸附腔设置在底座上，真空吸附孔设置在盖板上，盖板上安装方格定位板，方格定位板与盖板连接在一起形成若干个方格槽。
[0015]装载台结构简单，方格定位板安装到盖板后形成方格槽，方格槽成型方便。
[0016]作为优选，探针安装座上安装两调节座，两测量探针分别安装在两调节座上，调节座上设置调节长槽，探针安装座上和调节长槽对应设置连接杆，连接杆穿过调节长槽，连接杆上连接锁止螺母，锁止螺母抵接在调节座上实现对调节座的锁止。
[0017]调节长槽的设置使两调节座与探针安装座的连接位置能够调节，从而调节两测量探针之间的间距，以适应微小型热电制冷片不同间距焊盘位置的电阻测量。调节时，调整调节座的位置，调节过程中连接杆和调节长槽相对移动，调整到位后拧紧锁止螺母实现对调节座的锁止。
[0018]另一种方案，探针安装座上设置两安装筒，安装筒活动连接滑动座，两测量探针分别安装在两滑动座上，滑动座和安装筒之间安装定位弹簧，探针安装座上安装推动柱，推动柱下部置于两滑动座之间，推动柱上设置两倾斜布设的推动面，推动柱移动使推动面抵接到滑动座上进而推动滑动座移动；探针安装座上安装推动螺杆，推动螺杆端部抵接在推动柱上。
[0019]两测量探针间距调节操作时，向下移动推动柱，倾斜的推动面抵接在滑动座上，从而推动滑动座移动，使两测量探针间距增大。向上移动推动柱，两滑动座在定位弹簧作用下相互靠近，使两测量探针间距减小。通过这种结构实现了两测量探针间距的精准可靠调节。
[0020]作为优选，滑动座上设置安装孔，测量探针与安装孔连接，测量探针和安装孔之间连接缓冲弹簧。
[0021]缓冲弹簧的设置使测量探针下压待测产品时具有一定的缓冲作用，不仅能保证测量探针与焊盘的可靠接触，而且能避免测量探针对焊盘造成损伤。
[0022]作为优选，探针安装座上探针外围的横向侧和纵向侧均安装有定位推块，定位推块上设置倾斜的导向面，探针安装座上和定位推块对应安装有移动设置的滑块，定位推块安装在滑块上且能升降移动，定位推块和滑块之间安装抵接弹簧。
[0023]电阻测量操作之前，先根据待测产品的尺寸和焊盘间距对定位推块、测量探针的位置进行调整。通过移动推动柱实现两测量探针之间间距的调整。移动横向侧和纵向侧的滑块，从而使横向侧和纵向侧的定位推块位置与待测产品的尺寸大小匹配。随着探针安装座向下移动，横向侧和纵向侧定位推块上的导向面贴合到待测产品相邻两侧边上，一方面对待测产品位置进行调整，另一方面对待测产品进行定位。
[0024]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：（1）本申请的批量自动测电阻装置能自动实现微小型热电制冷片外露焊盘间电阻的测量操作，大大提高了工作效率，而且测量过程中不易划伤焊盘；（2）测量探针的间距能够调整，以适应微小型热电制冷片不同间距焊盘位置的电阻测量，而且能对待测产品进行定位，保证了可靠测量。
附图说明
[0025]图1是本专利技术的结构示意图；图2是本专利技术的装载台的俯视图；图3是本专利技术的装载台的爆炸图；图4是本专利技术的侧视图；图5是本专利技术的实施例2的测量探针连接的结构示意图；图6是本专利技术的实施例2的定位推块连接结构示意图；图中：1、装载台，2、待测产品，3、探针安装座，4、测量探针，5、工作台，6、移动架，7、立柱，8、横移座，9、Y轴导轨，10、Y轴活塞缸，11、X轴导轨，12、X轴活塞缸，13、Z轴导轨，14、Z轴活塞缸，15、方格槽，16、真空吸附孔，17、吸附腔，18、底座，19、盖板，20、方格定位板，21、调节座，22、调节长槽，23、连接杆，24、安装筒，25、滑动座，26、定位弹簧，27、推动柱，28、推动面，29、导向筒，30、推动螺杆，31、安装孔，32、缓冲弹簧，33、定位推块，34、导向面，35、滑块，36、抵接弹簧，37、滑槽，38、滑动螺杆。
具体实施方式
[0026]下面通过具体实施例，并结合附图，对本专利技术的技术方案作进一步的具体描述：实施例1：一种批量自动测电阻装置（参见附图1至附图4），包括装载台1，装载台上装载本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种批量自动测电阻装置，其特征是，包括装载台，装载台上装载若干待测产品；探针安装座，探针安装座上安装两测量探针，探针安装座和装载台之间能够实现X轴、Y轴、Z轴的相互移动从而使测量探针触动到待测产品上进行电阻测量。2.根据权利要求1所述的一种批量自动测电阻装置，其特征是，探针安装座下方设置工作台，装载台安装在工作台上能沿Y轴移动；工作台上安装移动架，移动架上安装沿X轴移动的横移座；探针安装座安装在横移座上能沿Z轴升降。3.根据权利要求2所述的一种批量自动测电阻装置，其特征是，工作台上安装Y轴导轨和Y轴活塞缸，装载台滑动安装在Y轴导轨上，Y轴活塞缸伸缩杆与装载台连接；移动架上安装X轴导轨和X轴活塞缸，横移座滑动安装在X轴导轨上，X轴活塞缸伸缩杆与横移座连接；横移座上安装Z轴导轨和Z轴活塞缸，探针安装座滑动安装在Z轴导轨上，Z轴活塞缸伸缩杆与探针安装座连接。4.根据权利要求1所述的一种批量自动测电阻装置，其特征是，装载台上设置若干个方格槽，待测产品装载在方格槽中。5.根据权利要求4所述的一种批量自动测电阻装置，其特征是，方格槽底部设置真空吸附孔，装载台上设置吸附腔，真空吸附孔与吸附腔连通。6.根据权利要求5所述的一种批量自动测电阻装置，其特征是，装载台包括底座和盖板，盖板紧密安装在底座上，吸附腔设置在底座上，真空吸...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾向军，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：发明
国别省市：