一种半导体器件表面缺陷视觉检测设备及检测方法技术

本发明专利技术公开了一种半导体器件表面缺陷视觉检测设备及检测方法，涉及半导体器件技术领域；改善无法在检测前对其表面的灰尘进行处理的问题，而本发明专利技术包括底板和设置在底板上方的放置板，所述底板与放置板之间通过连接杆固定连接，所述底板与放置板之间设置有夹持机构，所述放置板的顶部通过连接杆固定连接有顶板，所述顶板的顶部开设有滑动槽，所述滑动槽的内表面滑动连接有滑动块，所述滑动块的顶部固定连接有第一电机，所述第一电机输出轴的一端固定连接有第一齿轮；本发明专利技术通过第一电机的设置，带动扫描探头移动，从而对半导体器件进行扫描，同时第一电机带动清理机构转动，对半导体器件进行清理，保证检测时的检测精度。保证检测时的检测精度。保证检测时的检测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体器件表面缺陷视觉检测设备及检测方法


[0001]本专利技术涉及半导体器件
，具体为一种半导体器件表面缺陷视觉检测设备及检测方法。

技术介绍

[0002]半导体器件是导电性介于良导电体与绝缘体之间，利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子器件，可用来产生、控制、接收、变换、放大信号和进行能量转换。
[0003]现有的半导体器件表面缺陷视觉检测设备，大多数无法在检测前对其表面的灰尘进行处理，导致检测时检测精度容易受到影响，而且现有的半导体器件表面缺陷视觉检测设备，大多数直接将半导体器件放置在台面上，检测时容易发生偏移，较为不稳定。
[0004]针对上述问题，专利技术人提出一种半导体器件表面缺陷视觉检测设备及检测方法用于解决上述问题。

技术实现思路

[0005]为了解决无法在检测前对其表面的灰尘进行处理的问题；本专利技术的目的在于提供一种半导体器件表面缺陷视觉检测设备及检测方法。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：包括底板和设置在底板上方的放置板，所述底板与放置板之间通过连接杆固定连接，所述底板与放置板之间设置有夹持机构，所述放置板的顶部通过连接杆固定连接有顶板，所述顶板的顶部开设有滑动槽，所述滑动槽的内表面滑动连接有滑动块，所述滑动块的顶部固定连接有第一电机，所述第一电机输出轴的一端固定连接有第一齿轮，所述顶板的顶部固定连接有与第一齿轮相适配的齿牙条，所述滑动块的底部固定连接有第一安装板，所述第一安装板的底部固定连接有圆板，圆板用于安装环形板，所述圆板的外表面开设有环形滑槽，所述环形滑槽的内表面通过滑块滑动连接有环形板，所述环形板的外表面固定连接有第二安装板，所述第二安装板的底部固定连接有扫描探头，装置的外部设置有扫描电镜，扫描电镜是一种电子显微镜，中文名为扫描电子显微镜，通过用聚焦电子束扫描样品的表面而产生样品表面的图像，扫描探头用于扫描样品，将产生的样品表面的图像传输至扫描电镜仪器中，与完好的半导体器件表面的图像进行对比，从而观察半导体器件表面是否有缺陷，所述圆板的底部设置有清理机构，所述第二安装板的底部设置有转向机构。
[0007]优选地，所述夹持机构包括夹持电机，所述夹持电机的外表面与底板的顶部固定连接，所述夹持电机输出轴的一端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端与放置板的底部转动连接，夹持电机为螺纹杆转动提供动力，螺纹杆用于带动螺纹套移动，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的外表面固定连接有导向板，所述导向板的两侧均转动连接有联动杆，螺纹套用于安装导向板，导向板用于安装联动杆，所述放置板顶部的两侧均开设有夹持滑槽，所述夹持滑槽的内表面滑动连接有夹持滑动块，所述联动杆的一端与夹持滑动块的底部转动连接，所述夹持滑动块的顶部固定连接有夹持橡胶板，夹持滑槽用
于安装夹持滑动块，夹持滑动块用于安装夹持橡胶板，所述导向板顶部的两侧均贯穿并滑动连接有导向杆，所述导向杆的一端与放置板的底部固定连接，所述导向杆的另一端与底板的顶部固定连接，导向杆的设置，减小联动杆节点的受力，增加装置的使用寿命。
[0008]优选地，所述清理机构包括伸缩杆，所述圆板的底部与伸缩杆的一端转动连接，所述伸缩杆的另一端固定连接有清扫毛条，所述圆板的顶部转动连接有清理转动杆，所述清理转动杆的一端贯穿圆板并与伸缩杆的一端固定连接，圆板用于安装伸缩杆和清理转动杆，清理转动杆带动伸缩杆使清扫毛条转动，从而对半导体器件进行清理，伸缩杆用于调节清扫毛条的高度，使清扫毛条与半导体器件紧密接触，保证清扫的效果，所述清理转动杆的另一端固定连接有第一锥齿轮，所述第一电机输出轴的外表面套设并固定连接有与第一锥齿轮相适配的第二锥齿轮，所述顶板的顶部开设有与清理转动杆相适配的开槽，第一锥齿轮和第一锥齿轮用于动力的传动，减少电动机的使用，减少装置的制造成本，开槽为清理转动杆移动提供空间，保证装置的正常运行。
[0009]优选地，所述转向机构包括第二电机，所述第二安装板的底部与第二电机的外表面固定连接，所述第二电机输出轴的一端固定连接有第二齿轮，所述伸缩杆的外表面通过轴承转动连接有安装框，第二电机与外界电源电性连接，通过按压开关进行控制，且第二电机每启动一次，输出轴转动180度，第二齿轮用于与齿牙环啮合，所述安装框的顶部通过连接杆与圆板的底部固定连接，所述安装框的外表面固定连接有与第二齿轮相适配的齿牙环，所述第一电机外表面的两侧均固定连接有橡胶挤压杆，所述顶板顶部的两侧均固定连接有按压开关，安装框用于安装齿牙环，同时圆板对安装框限位，防止安装框转动，从而保证齿牙环的稳定，使第二齿轮转动时带动第二电机绕着齿牙环旋转，从而调节扫描探头的位置，使扫描探头单次的移动便可以对半导体器件进行扫描检测，不需要使第一电机进行复位然后扫描检测，节省一定的时间，增加了检测效率。
[0010]与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：
[0011]1、通过第一电机的设置，带动扫描探头移动，从而对半导体器件进行扫描，同时第一电机带动清理机构转动，对半导体器件进行清理，保证检测时的检测精度；
[0012]2、通过第二电机的设置，对扫描探头的位置进行调节，保证清扫毛条先经过半导体器件，扫描探头后经过半导体器件，使扫描探头单次的移动便可以对半导体器件进行扫描检测，不需要使第一电机进行复位然后扫描检测，节省一定的时间，增加了检测效率；
[0013]3、通过夹持橡胶板的设置，将半导体器件夹持固定，操作简单方便，防止清理时半导体器件发生偏移，保证扫描检测效果。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本专利技术的整体结构示意图。
[0016]图2为本专利技术第一电机的结构示意图。
[0017]图3为本专利技术第一安装板的结构示意图。
[0018]图4为本专利技术安装框的结构示意图。
[0019]图5为本专利技术圆板的结构示意图。
[0020]图6为本专利技术第一锥齿轮的结构示意图。
[0021]图7为本专利技术放置板的结构示意图。
[0022]图8为本专利技术导向板的结构示意图。
[0023]图中：1、底板；2、放置板；3、顶板；4、滑动槽；5、滑动块；6、第一电机；7、第一齿轮；8、齿牙条；9、第一安装板；10、圆板；11、环形滑槽；12、环形板；13、第二安装板；14、扫描探头；120、夹持机构；121、夹持电机；122、螺纹杆；123、螺纹套；124、导向板；125、联动杆；126、夹持滑槽；127、夹持滑动块；128、夹持橡胶板；129、导向杆；130、清理机构；131、清理转动杆；132、第一锥齿轮；133、第二锥齿轮；134、伸缩杆；135、清扫毛条；136、开槽；140、转向机构；141、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体器件表面缺陷视觉检测设备，包括底板(1)和设置在底板(1)上方的放置板(2)，其特征在于：所述底板(1)与放置板(2)之间通过连接杆固定连接，所述底板(1)与放置板(2)之间设置有夹持机构(120)，所述放置板(2)的顶部通过连接杆固定连接有顶板(3)，所述顶板(3)的顶部开设有滑动槽(4)，所述滑动槽(4)的内表面滑动连接有滑动块(5)，所述滑动块(5)的顶部固定连接有第一电机(6)，所述第一电机(6)输出轴的一端固定连接有第一齿轮(7)，所述顶板(3)的顶部固定连接有与第一齿轮(7)相适配的齿牙条(8)，所述滑动块(5)的底部固定连接有第一安装板(9)，所述第一安装板(9)的底部固定连接有圆板(10)，所述圆板(10)的外表面开设有环形滑槽(11)，所述环形滑槽(11)的内表面通过滑块滑动连接有环形板(12)，所述环形板(12)的外表面固定连接有第二安装板(13)，所述第二安装板(13)的底部固定连接有扫描探头(14)，所述圆板(10)的底部设置有清理机构(130)，所述第二安装板(13)的底部设置有转向机构(140)。2.如权利要求1所述的一种半导体器件表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述清理机构(130)包括伸缩杆(134)，所述圆板(10)的底部与伸缩杆(134)的一端转动连接，所述伸缩杆(134)的另一端固定连接有清扫毛条(135)，所述圆板(10)的顶部转动连接有清理转动杆(131)，所述清理转动杆(131)的一端贯穿圆板(10)并与伸缩杆(134)的一端固定连接。3.如权利要求2所述的一种半导体器件表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述清理转动杆(131)的另一端固定连接有第一锥齿轮(132)，所述第一电机(6)输出轴的外表面套设并固定连接有与第一锥齿轮(132)相适配的第二锥齿轮(133)，所述顶板(3)的顶部开设有与清理转动杆(131)相适配的开槽(136)。4.如权利要求2所述的一种半导体器件表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述转向机构(140)包括第二电机(141)，所述第二安装板(13)的底部与第二电机(141)的外表面固定连接，所述第二电机(141)输出轴的一端固定连接有第二齿轮(142)，所述伸缩杆(134)的外表面通过轴承转动连接有安装框(143)。5.如权利要求4所述的一种半导体器件表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述安装框(143)的顶部通过连接杆与圆板(10)的底部固定连接，所述安装框(143)的外表面固定连接有与第二齿轮(142)相适配的齿牙环(144)，所述第一电机(6)外表面的两侧均固定连接有橡胶挤压杆(145)，所述顶板(3)顶部的两侧均固定连接有按压开关(146)。6.如权利要求1所述的一种半导体器件表面缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述夹持机构(120)包括夹持电机(121)，所述夹持电机(121)的外表面与底板(1)的顶部固定连接，所述夹持电机(121)输出轴的一端固定连接有螺纹杆(122)，所述螺纹杆(122)的一端与放置板(2)的底部转动连接。7.如权利要求6所述的一种半导体器...

【专利技术属性】
技术研发人员：马信，
申请(专利权)人：苏州宜美哲自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：