一种扫描电子显微镜同时观察膜双面的方法技术

本发明专利技术提供了一种扫描电子显微镜同时观察膜双面的方法，包括如下步骤：将塑料培养皿裁剪出一块干净平整的平面；将平面用导电胶粘到在扫描电镜样品台上；平面的一侧边粘上导电胶，导电胶同时也粘到样品台上；将待观察样品粘到塑料平面上方的导电胶上，准备观察上下表面的部位挂出悬空在塑料平面上方；扫描电镜中，先聚焦在样品下方的塑料平面；当电压束流下降后，能量较弱的入射电子束，被塑料平面的静电场反弹，照射到样品下表面，下表面产生二次电子，被仪器探头捕获，从而形成样品下表面的二次电子图像。本发明专利技术将扫描电镜镜面效应应用在径迹蚀刻膜表征上，利用扫描电镜的“电子镜面效应”，摸索双面同时进行观察径迹蚀刻膜的方法。的方法。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电子显微镜同时观察膜双面的方法


[0001]本专利技术涉及径迹蚀刻膜
，尤其是涉及一种扫描电子显微镜同时观察膜双面的方法。

技术介绍

[0002]径迹蚀刻膜是用径迹蚀刻法制备的一种微孔滤膜。例如，聚碳酸酯膜在高能粒子流(质子、中子等)辐射下，离子穿透薄膜时，可以在膜上形成均匀，密度适当的径迹，然后经碱液蚀刻后，可生成孔径非常单一的多孔膜。径迹蚀刻膜在刺激响应离子通道、离子和分子传感以及能量转换方面显示出良好的能力。
[0003]扫描电镜是对径迹蚀刻膜表征的常用手段。但扫描电镜通常只对样品的一面进行观察，无法对样品双面同时进行观察，假如通过旋转样品进行拍摄，也很难寻找到相同反面的位置，对膜上孔道的两面同时进行观察。
[0004]扫描电子显微镜(SEM)是观察各种样品微观形貌的强大工具。当用电子照射导电样品时，多余的电荷会迅速流走。但在不导电样品中，过量的电荷集聚在样品，形成荷电效应。当先用高加速电压(15
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30kV)产生的电子束照射非导电样品时，电荷集聚使样品表面带负电，随后用较低加速电压(小于5kV)产生的电子束对同一位置进行成像，样品表面可能会排斥入射的电子，形成“电子镜面效应”。因此，有必要利用扫描电镜的“电子镜面效应”，摸索双面同时进行观察径迹蚀刻膜的方法。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种扫描电子显微镜同时观察膜双面的方法，将扫描电镜镜面效应应用在径迹蚀刻膜表征上，利用扫描电镜的“电子镜面效应”，摸索双面同时进行观察径迹蚀刻膜的方法。
[0006]根据本专利技术的一个目的，本专利技术提供一种扫描电子显微镜同时观察膜双面的方法，包括如下步骤：
[0007]S1、将塑料培养皿裁剪出一块干净平整的平面；
[0008]S2、将平面用导电胶粘到在扫描电镜样品台上；
[0009]S3、平面的一侧边粘上导电胶，导电胶同时也粘到样品台上；
[0010]S4、将待观察样品粘到塑料平面上方的导电胶上，准备观察上下表面的部位挂出悬空在塑料平面上方，如果样品不导电，在粘上前，先将样品上表面、下表面，分别进行离子溅射喷金，使其表面导电；
[0011]S5、制好的样品台放入扫描电镜中；
[0012]S6、扫描电镜中，先聚焦在样品下方的塑料平面，电压设置为30kV，束流20uA，1分钟；
[0013]S7、再将电压降为3kV，束流10uA；
[0014]S8、塑料平面由于刚才在高电压高束流下，注入了大量电子，又因不导电，塑料片
表面形成静电场；当电压束流下降后，能量较弱的入射电子束，被塑料平面的静电场反弹，照射到样品下表面，下表面产生二次电子，被仪器探头捕获，从而形成样品下表面的二次电子图像。
[0015]有益效果
[0016]本专利技术将扫描电镜镜面效应应用在径迹蚀刻膜表征上，利用扫描电镜的“电子镜面效应”，摸索双面同时进行观察径迹蚀刻膜的方法，对样品表征进行实际应用。
具体实施方式
[0017]下面将结合实施例对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0018]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语"中心"、"纵向"、"横向"、"长度"、"宽度"、"厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"竖直"、"水平"、"顶"、"底"、"内"、"外"、"顺时针"、"逆时针"等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0019]此外，术语"第一"、"第二"仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本专利技术的描述中，"多个"的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。此外，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0020]实施例1
[0021]一种扫描电子显微镜同时观察膜双面的方法，包括如下步骤：
[0022]1、将塑料培养皿裁剪出一块干净平整面；
[0023]2、把平面用导电胶粘到在扫描电镜样品台上；
[0024]3、平面的一侧边粘上导电胶，导电胶同时也粘到样品台上；
[0025]4、将待观察样品粘到塑料平面上方的导电胶上，准备观察上下表面的部位挂出悬空在塑料平面上方，如果样品不导电，在粘上前，先将样品上表面、下表面，分别进行离子溅射喷金，使其表面导电；
[0026]5、制好的样品台放入扫描电镜中；
[0027]6、扫描电镜中，先聚焦在样品下方的塑料平面，电压设置为30kV，束流20uA，大约1分钟；
[0028]7、再将电压降为3kV，束流10uA；
[0029]8、塑料平面由于刚才在高电压高束流下，注入了大量电子，又因不导电，塑料片表面形成静电场；当电压束流下降后，能量较弱的入射电子束，被塑料平面的静电场反弹，照射到样品下表面，下表面产生二次电子，被仪器探头捕获，从而形成样品下表面的二次电子
图像。
[0030]本专利技术将扫描电镜镜面效应应用在径迹蚀刻膜表征上，利用扫描电镜的“电子镜面效应”，摸索双面同时进行观察径迹蚀刻膜的方法，对样品表征进行实际应用。
[0031]最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本专利技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本专利技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本专利技术各实施例技术方案的范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微镜同时观察膜双面的方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、将塑料培养皿裁剪出一块干净平整的平面；S2、将平面用导电胶粘到在扫描电镜样品台上；S3、平面的一侧边粘上导电胶，导电胶同时也粘到样品台上；S4、将待观察样品粘到塑料平面上方的导电胶上，准备观察上下表面的部位挂出悬空在塑料平面上方，如果样品不导电，在粘上前，先将样品上表面、下表面，分别进行离子溅射喷金，使其表面导电；S5、制好的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑希，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：