一种自动化高效半导体研磨机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自动化高效半导体研磨机，包括研磨机主体，所述研磨机主体的后端定位安装有支撑座，所述支撑座上的前端位置开设有滑轨，所述滑轨上活动设置有研磨控制机构，所述研磨机主体上端开设有研磨槽，研磨槽上活动安装有研磨盘，研磨机主体的外侧定位有研磨液箱，研磨液箱连接有研磨液喷射器。本实用新型专利技术所述的一种自动化高效半导体研磨机，设有多功能切换式研磨机构与研磨液喷射机构，能够方便在进行研磨的时候对零件进行吸附上料与负压研磨切换操作，研磨机构反向旋转，且设置两组研磨器，其中一组是吸附上料与负压研磨，另一组是对研磨盘进行修复，保证精度，工作更为稳定，同时喷射研磨液，增加研磨效果。增加研磨效果。增加研磨效果。

【技术实现步骤摘要】
一种自动化高效半导体研磨机


[0001]本技术涉及研磨机领域，特别涉及一种自动化高效半导体研磨机。

技术介绍

[0002]研磨机是一种进行零件研磨抛光的支撑设备，在进行零件加工的时候，经常需要对其外表面进行抛光除锈加工，增加零件表面的光滑程度，利用高速摩擦进行抛光操作，半导体材料作为半导体产业链上游的重要环节，在芯片的生产制造过程中起到关键性作用，且半导体材料应用与光伏储能系统中，进行半导体加工的时候往往采用研磨的方式，随着科技的不断发展，人们对于研磨机的制造工艺要求也越来越高。
[0003]现有的研磨机构在使用时存在一定的弊端，首先，现有的研磨抛光机一般采用人工研磨加工，通过手持式研磨机对零件表面进行快速抛光，不利于人们的使用，还有，在进行研磨抛光的时候，研磨效果不能很好的达到要求，稳定性能较差，给实际的使用过程带来了一定的不利影响，为此，我们提出一种自动化高效半导体研磨机。

技术实现思路

[0004]解决的技术问题：针对现有技术的不足，本技术提供了一种自动化高效半导体研磨机，能够方便在进行研磨的时候对零件进行吸附上料与负压研磨切换操作，研磨机构反向旋转，且设置两组研磨器，工作更为稳定，同时喷射研磨液，增加研磨效果，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]技术方案：为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种自动化高效半导体研磨机，包括研磨机主体，所述研磨机主体的后端定位安装有支撑座，所述支撑座上的前端位置开设有滑轨，所述滑轨上活动设置有研磨控制机构，所述研磨机主体上端开设有研磨槽，所述研磨槽上活动安装有研磨盘，所述研磨机主体的外侧定位有研磨液箱，所述研磨液箱连接有研磨液喷射器，且研磨液喷射器位于研磨槽上靠近研磨盘的位置。
[0006]优选的，所述滑轨的外侧定位安装有伺服电机，所述研磨控制机构内部设置有氮气控制器，所述研磨控制机构的外侧定位有吸附电磁阀与负压电磁阀，所述研磨控制机构的底部活动安装有修复研磨器与吸附负压研磨器，所述研磨控制机构与修复研磨器之间连接有第二转轴，所述研磨控制机构与吸附负压研磨器之间连接有第一转轴。
[0007]优选的，所述研磨液箱与研磨液喷射器之间连接有喷射管，所述喷射管上安装有第一驱动泵与第二驱动泵，所述研磨槽上开设有出液槽，所述研磨机主体的外侧连接有出液管，所述出液槽与出液管贯通，所述研磨机主体上的前端设置有控制面板。
[0008]优选的，所述伺服电机控制研磨控制机构在滑轨上进行活动，所述吸附电磁阀、负压电磁阀与氮气控制器控制吸附负压研磨器的位置进行吸附与负压切换，所述修复研磨器、吸附负压研磨器在研磨控制机构的底部位置高速旋转。
[0009]优选的，所述研磨液箱与研磨液喷射器之间通过喷射管进行连接，所述喷射管与第一驱动泵和第二驱动泵之间进行固定，所述第一驱动泵、第二驱动泵控制研磨液在研磨
液喷射器的位置喷射。
[0010]优选的，所述研磨控制机构通过滑轨在支撑座前端位置横向移动，所述研磨盘在研磨机主体的上端位置高速旋转，所述研磨盘与上方的吸附负压研磨器反向旋转。
[0011]有益效果：与现有技术相比，本技术提供了一种自动化高效半导体研磨机，具备以下有益效果：该一种自动化高效半导体研磨机，通过多功能切换式研磨机构与研磨液喷射机构能够方便在进行研磨的时候对零件进行吸附上料与负压研磨切换操作，研磨机构反向旋转，且设置两组研磨器，其中一组是吸附上料与负压研磨，另一组是对研磨盘进行修复，保证精度，工作更为稳定，同时喷射研磨液，增加研磨效果，伺服电机控制研磨控制机构在滑轨上进行活动，研磨控制机构移动到指定的位置，氮气控制器与吸附电磁阀控制吸附负压研磨器的位置对零件进行吸附，吸附后，移动研磨控制机构，使吸附负压研磨器与修复研磨器位于研磨盘的上端，并下降与研磨盘接触，通过负压电磁阀切换吸附负压研磨器对零件进行负压，高速旋转吸附负压研磨器、修复研磨器与研磨盘的位置，吸附负压研磨器与研磨盘之间反向旋转，整个研磨机结构简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。
附图说明
[0012]图1为本技术一种自动化高效半导体研磨机的整体结构示意图。
[0013]图2为本技术一种自动化高效半导体研磨机中侧视图的结构示意图。
[0014]图3为本技术一种自动化高效半导体研磨机中主视图的结构示意图。
[0015]图4为本技术一种自动化高效半导体研磨机中研磨机构连接的结构示意图。
[0016]图5为本技术一种自动化高效半导体研磨机中研磨机构的结构示意图。
[0017]图6为本技术一种自动化高效半导体研磨机中研磨液箱的结构示意图。
[0018]图7为本技术一种自动化高效半导体研磨机中A处放大图的结构示意图。
[0019]图中：1、研磨机主体；2、研磨液箱；3、控制面板；4、研磨液喷射器；5、研磨控制机构；6、伺服电机；7、滑轨；8、研磨盘；9、支撑座；10、研磨槽；11、出液槽；12、出液管；13、吸附电磁阀；14、负压电磁阀；15、氮气控制器；16、吸附负压研磨器；17、修复研磨器；18、第一驱动泵；19、喷射管；20、第二驱动泵；21、第二转轴；22、第一转轴。
具体实施方式
[0020]下面将结合附图和具体实施方式对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，但是本领域技术人员将会理解，下列所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，仅用于说明本技术，而不应视为限制本技术的范围。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第
一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]如图1
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7所示，一种自动化高效半导体研磨机，包括研磨机主体1，研磨机主体1的后端定位安装有支撑座9，支撑座9上的前端位置开设有滑轨7，滑轨7上活动设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动化高效半导体研磨机，包括研磨机主体(1)，其特征在于：所述研磨机主体(1)的后端定位安装有支撑座(9)，所述支撑座(9)上的前端位置开设有滑轨(7)，所述滑轨(7)上活动设置有研磨控制机构(5)，所述研磨机主体(1)上端开设有研磨槽(10)，所述研磨槽(10)上活动安装有研磨盘(8)，所述研磨机主体(1)的外侧定位有研磨液箱(2)，所述研磨液箱(2)连接有研磨液喷射器(4)，且研磨液喷射器(4)位于研磨槽(10)上靠近研磨盘(8)的位置。2.根据权利要求1所述的一种自动化高效半导体研磨机，其特征在于：所述滑轨(7)的外侧定位安装有伺服电机(6)，所述研磨控制机构(5)内部设置有氮气控制器(15)，所述研磨控制机构(5)的外侧定位有吸附电磁阀(13)与负压电磁阀(14)，所述研磨控制机构(5)的底部活动安装有修复研磨器(17)与吸附负压研磨器(16)，所述研磨控制机构(5)与修复研磨器(17)之间连接有第二转轴(21)，所述研磨控制机构(5)与吸附负压研磨器(16)之间连接有第一转轴(22)。3.根据权利要求1所述的一种自动化高效半导体研磨机，其特征在于：所述研磨液箱(2)与研磨液喷射器(4)之间连接有喷射管(19)，所述喷射管(19)上安装有第一驱动泵(...

【专利技术属性】
技术研发人员：常梁俊，
申请(专利权)人：苏州浚泰新能源设备有限公司，
类型：新型
国别省市：