一种蚀刻装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种蚀刻装置，用于太阳能电池片电镀后蚀刻，包括，槽体单元，其包括蚀刻槽，所述蚀刻槽内设有喷淋装置；再生单元，其包括容纳腔，所述容纳腔内设有阳极板单元和阴极板单元，所述容纳腔和蚀刻槽之间设有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管和喷淋装置相连，所述第二连接管上设有阀门；电源单元，其与再生单元相连；监测单元，其与槽体单元和电源单元相连。本实用新型专利技术能够保证太阳能电池片在蚀刻过程中，始终保持较高的蚀刻精度，同时蚀刻液的浓度参数也处于较好的状态，从而能够有效提高太阳能电池片的蚀刻效果和蚀刻品质。在降低蚀刻液消耗量的同时，有效节约能源，降低污染排放量，相比于原有技术，排放量减少至1/5。5。5。

【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻装置


[0001]本技术涉及太阳能电池片电镀后蚀刻
，尤其是指一种蚀刻装置。

技术介绍

[0002]在现有技术中，进行太阳能电池片电镀后蚀刻时，通常使用传统蚀刻装置，药液经过泵浦作用到管路喷嘴，再喷出至太阳能电池片表面，达到蚀刻去除电镀种子层的目的。
[0003]然而，在现有的装置及方式下，蚀刻精度只能通过调解泵浦压力实现，难以实现精准控制，容易造成蚀刻过量，破坏正常的电镀铜层，同时蚀刻药液使用量较大，在蚀刻药液中铜离子含量达到一定数值时，即当蚀刻药液中铜离子含量达到一定数值时，大约45G/L将会达到饱和，此时的蚀刻效率很低，需要定期(大约一周)进行更换，更换过程需要耗时4
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5小时，造成资源的浪费，也会带来生产停滞，并且，采用现有技术的装置及方法所产生的排放量较多，从而污染环境，对环境不友好。

技术实现思路

[0004]为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中的不足，提供一种蚀刻装置，用于太阳能电池片电镀后蚀刻，通过对蚀刻液进行雾化处理，达到对太阳能电池片种子层的快速蚀刻，通过再生单元，实现药液的循环使用，减少药液的消耗量，以及减少污染排放量，从而有效节约能源减少对于环境的污染。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供了一种蚀刻装置，用于太阳能电池片电镀后蚀刻，包括，
[0006]槽体单元，其包括蚀刻槽，所述蚀刻槽内设有喷淋装置；
[0007]再生单元，其包括容纳腔，所述容纳腔内设有阳极板单元和阴极板单元，所述容纳腔和蚀刻槽之间设有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管和喷淋装置相连，所述第二连接管上设有阀门；
[0008]电源单元，其与所述再生单元相连；
[0009]监测单元，其与所述槽体单元和电源单元相连，所监测单元包括比重计装置。
[0010]优选地，所述喷淋装置包括喷管和二流体雾化装置，所述喷管和二流体雾化装置相连，所述喷管和第一连接管相连。
[0011]优选地，所述阳极板单元包括多个阳极板，所述阴极板单元包括多个阴极板，多个所述阳极板和多个所述阴极板交替设置在所述容纳腔内。
[0012]优选地，所述蚀刻槽包括相互连通的第一槽体和第二槽体，所述第二槽体的高度小于第一槽体的高度，所述喷淋装置设置在第一槽体内。
[0013]优选地，所述容纳腔的高度低于所述第二槽体的高度。
[0014]优选地，所述容纳腔顶部设有溢流口，所述第二连接管和溢流口相连。
[0015]优选地，所述第一连接管上设有循环泵。
[0016]优选地，所述槽体单元还设有过滤装置，所述过滤装置和第一连接管相连。
[0017]优选地，所述电源单元包括整流机。
[0018]优选地，所述第二槽体的顶部设有观察窗。
[0019]本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
[0020]本技术所述的一种蚀刻装置，设有槽体单元、再生单元、电源单元及监测单元，蚀刻液能够通过循环泵从再生单元引出，并通过喷淋装置喷淋至待蚀刻的太阳能电池的上表面及下表面，经过氧化还原反应后，太阳能电池表面的铜氧化为铜离子，并溶解在蚀刻液中，通过监测单元对蚀刻液中的铜离子进行监测，当蚀刻液中的铜离子浓度到达一定值时，启动再生单元，打开所述第二连接管的阀门，蚀刻液通过第二连接管溢流至再生单元的容纳腔中，蚀刻液与阳极板单元和阴极板单元进行氧化还原反应，从而将蚀刻液中的铜离子还原成为铜，由此以来，能够有效延长蚀刻液的使用期限，从而能够长期进行使用，减少蚀刻液的更换频率，减少蚀刻液的消耗量。通过本技术的蚀刻装置，能够保证太阳能电池片在蚀刻过程中，始终保持较高的蚀刻精度，同时蚀刻液的浓度参数也处于较好的状态，从而能够有效提高太阳能电池片的蚀刻效果和蚀刻品质。在降低蚀刻液消耗量的同时，有效节约能源，降低污染排放量，相比于原有技术，排放量减少至1/5。
附图说明
[0021]为了使本技术的内容更容易被清楚的理解，下面根据本技术的具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明，其中
[0022]图1是本技术最佳实施例的结构示意图。
[0023]说明书附图标记说明：1、容纳腔；11、第一连接管；12、第二连接管；13、循环泵；31、第一槽体；32、第二槽体；33、观察窗。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0025]实施例
[0026]参照图1所示，本技术揭示了一种蚀刻装置，用于太阳能电池片电镀后蚀刻，包括，
[0027]槽体单元，其包括蚀刻槽，所述蚀刻槽内设有喷淋装置，待蚀刻的太阳能电池片设置在所述蚀刻槽内；
[0028]再生单元，其包括容纳腔1，所述容纳腔1内设有阳极板单元和阴极板单元，所述容纳腔1和蚀刻槽之间设有第一连接管11和第二连接管12，所述第一连接管11和喷淋装置相连，所述第一连接管11上设有循环泵13，所述第二连接管12上设有溢流阀，如此以来，所述循环泵13能够将容纳腔1内的蚀刻液泵至蚀刻槽内；
[0029]电源单元2，其与所述再生单元相连；
[0030]监测单元，其与所述槽体单元和电源单元相连，所监测单元包括比重计装置，所述比重计装置用于监测蚀刻槽内的铜离子的浓度。
[0031]由此可以得知，本技术所要保护的一种蚀刻装置，设有槽体单元、再生单元、电源单元及监测单元，蚀刻液能够通过循环泵从再生单元引出，并通过喷淋装置喷淋至待
蚀刻的太阳能电池的上表面及下表面，经过氧化还原反应后，太阳能电池表面的铜氧化为铜离子，并溶解在蚀刻液中，通过监测单元对蚀刻液中的铜离子进行监测，当蚀刻液中的铜离子浓度到达一定值时，启动再生单元，打开所述第二连接管的阀门，蚀刻液通过第二连接管溢流至再生单元的容纳腔中，蚀刻液与阳极板单元和阴极板单元进行氧化还原反应，从而将蚀刻液中的铜离子还原成为铜，由此以来，能够有效延长蚀刻液的使用期限，从而能够长期进行使用，减少蚀刻液的更换频率，减少蚀刻液的消耗量。通过本技术的蚀刻装置，能够保证太阳能电池片在蚀刻过程中，始终保持较高的蚀刻精度，同时蚀刻液的浓度参数也处于较好的状态，从而能够有效提高太阳能电池片的蚀刻效果和蚀刻品质。在降低蚀刻液消耗量的同时，有效节约能源，降低污染排放量，相比于原有技术，排放量减少至1/5。
[0032]从细节上来说，所述喷淋装置包括喷管和二流体雾化装置，所述喷管和二流体雾化装置相连，采用所述二流体雾化装置将蚀刻液进行雾化后再喷至太阳能电池板上，从而保证蚀刻液的喷洒均匀度，同时，所述喷管和第一连接管11相连。
[0033]需要说明的是，所述槽体单元内还设有过滤装置，所述过滤装置和第一连接管11相连，所述过滤装置还与所述喷管相连，所述蚀刻液经过所述过滤装置进行过滤后，再通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻装置，用于太阳能电池片电镀后蚀刻，其特征在于：包括，槽体单元，其包括蚀刻槽，所述蚀刻槽内设有喷淋装置；再生单元，其包括容纳腔，所述容纳腔内设有阳极板单元和阴极板单元，所述容纳腔和蚀刻槽之间设有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管和喷淋装置相连，所述第二连接管上设有阀门；电源单元，其与所述再生单元相连；监测单元，其与所述槽体单元和电源单元相连，所监测单元包括比重计装置。2.根据权利要求1所述的一种蚀刻装置，其特征在于：所述喷淋装置包括喷管和二流体雾化装置，所述喷管和二流体雾化装置相连，所述喷管和第一连接管相连。3.根据权利要求1所述的一种蚀刻装置，其特征在于：所述阳极板单元包括多个阳极板，所述阴极板单元包括多个阴极板，多个所述阳极板和多个所述阴极板交替设置在所述容纳腔内。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，杨欣，冯良波，
申请(专利权)人：苏州皓申智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：