一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置制造方法及图纸

技术编号:39113573 阅读:9 留言:0更新日期:2023-10-17 10:58
本实用新型专利技术公开了一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置,涉及光学镀膜技术领域,具体为包括主轴,所述主轴的外表面开设有移动槽,所述移动槽的内表面滑动连接有第一固定杆,所述主轴的内部开设有与贯穿至移动槽的活动腔,所述活动腔的内部设置有第二固定杆,所述主轴的外表面开设有放置槽,所述放置槽的内部设置有定位块,所述定位块的一侧固定连接有支撑杆,所述支撑杆的一端与第二固定杆的一侧固定连接。该一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置,通过第一固定杆、第二固定杆、定位块、支撑杆、弹簧和环形主体的配合设置,在使用的过程中可以快速将环形主体取下来,从而起到了减少操作时间的作用,达到了方便对坩埚装置进行检查的目的。达到了方便对坩埚装置进行检查的目的。达到了方便对坩埚装置进行检查的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置


[0001]本技术涉及光学镀膜
,具体为一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜是在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法。将蒸镀材料置于一个坩埚之中,通过对坩埚的加热,使坩埚内材料从固态转化为气态的原子、原子团或分子,然后凝聚到待镀膜的基板表面形成薄膜,该技术广泛应用于光学镜片镀膜、光通讯等领域。真空镀膜使用的坩埚又称为结晶器,是真空电弧熔炼的核心部位。镀膜材料在这里融化、过热、精炼和结晶成锭,这个过程称之为熔料。
[0003]现有的坩埚装置在熔料作业结束后不方便检查坩埚装置底部的熔料情况,有可能会出现锭的表面比较平整但在镀膜过程中会发现锭的表面突然会出现凹坑不平整,导致镀膜材料的蒸发速率不稳,最终会影响产品的品质,且有的坩埚装置通过螺栓固定在镀膜设备内,检修时需要花费较长时间,效率较低。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足,本技术提供了一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置,解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置,包括主轴,所述主轴的外表面开设有移动槽,所述移动槽的内表面滑动连接有第一固定杆,所述主轴的内部开设有与贯穿至移动槽的活动腔,所述活动腔的内部设置有第二固定杆,所述主轴的外表面开设有放置槽,所述放置槽的内部设置有定位块,所述定位块的一侧固定连接有支撑杆,所述支撑杆的一端与第二固定杆的一侧固定连接,所述放置槽的一侧开设有与支撑杆相适配的连通槽,所述放置槽的一侧固定连接有弹簧,所述弹簧的一端与定位块的一侧抵接,所述主轴的上方设置有环形主体。
[0008]可选的,所述环形主体的下方固定连接有固定环,所述固定环的一侧开设有与定位块相适配的定位槽。
[0009]可选的,所述定位块横截面的形状为直角梯形,所述定位块的数量为四个,四个所述定位块均匀的分布在主轴的外表面。
[0010]可选的,所述环形主体的上方开设出储料槽,所述储料槽的上方开设有观察孔,所述观察孔的内表面设置有铜柱。
[0011]可选的,所述铜柱的外表面一端设置有螺纹孔,所述观察孔的数量为多个,多个所述观察孔均匀的分布在储料槽的上表面。
[0012]可选的,所述环形主体的下方设置有固定块,所述固定块的一侧开设有限位槽,所
述限位槽的一侧滑动连接有限位板,所述限位板的上方开设有圆孔,所述圆孔的内部设置有与螺纹孔相适配的固定螺栓,所述限位板的上表面与铜柱的下表面抵接。
[0013](三)有益效果
[0014]本技术提供了一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置,具备以下有益效果:
[0015]1、该一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置,通过第一固定杆、第二固定杆、定位块、支撑杆、弹簧和环形主体的配合设置,在使用的过程中可以快速将环形主体取下来,从而起到了减少操作时间的作用,达到了方便对坩埚装置进行检查的目的。
[0016]2、该一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置,通过铜柱、固定块、限位板和固定螺栓的配合设置,在使用的过程中可以将铜柱取下来观察坩埚底部情况,从而起到了检查到坩埚底部的熔料情况的作用,达到了减少熔料对后续镀膜蒸发的影响的目的。
附图说明
[0017]图1为本技术立体结构示意图;
[0018]图2为本技术正视剖面的结构示意图;
[0019]图3为本技术图2中A处放大的结构示意图;
[0020]图4为本技术俯视的结构示意图。
[0021]图中:1、主轴;2、第一固定杆;3、第二固定杆;4、定位块;5、支撑杆;6、弹簧;7、环形主体;8、固定环;9、储料槽;10、铜柱;11、固定块;12、限位板;13、固定螺栓。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0023]实施例1
[0024]请参阅图1至图3,本技术提供技术方案:一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置,包括主轴1,主轴1的外表面开设有移动槽,移动槽的内表面滑动连接有第一固定杆2,主轴1的内部开设有与贯穿至移动槽的活动腔,活动腔的内部设置有第二固定杆3,主轴1的外表面开设有放置槽,放置槽的内部设置有定位块4,定位块4的一侧固定连接有支撑杆5,支撑杆5的一端与第二固定杆3的一侧固定连接,放置槽的一侧开设有与支撑杆5相适配的连通槽,放置槽的一侧固定连接有弹簧6,弹簧6的一端与定位块4的一侧抵接,主轴1的上方设置有环形主体7,环形主体7的下方固定连接有固定环8,固定环8的一侧开设有与定位块4相适配的定位槽,定位块4横截面的形状为直角梯形,定位块4的数量为四个,四个定位块4均匀的分布在主轴1的外表面。
[0025]当需要拆卸时,按压第一固定杆2,第一固定杆2通过第二固定杆3带动支撑杆5向着一侧移动,支撑杆5带动定位块4挤压弹簧6并从固定环8的定位槽内出来,之后就能将环形主体7和固定环8从主轴1上取下来,当主轴1转动时,定位块4在离心力的作用下会向着远离主轴1轴心的方向移动,不会从定位槽内出来。
[0026]实施例2
[0027]请参阅图1和图4,本技术提供技术方案:一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置,环
形主体7的上方开设出储料槽9,储料槽9的上方开设有观察孔,观察孔的内表面设置有铜柱10,铜柱10的外表面一端设置有螺纹孔,观察孔的数量为多个,多个观察孔均匀的分布在储料槽9的上表面,环形主体7的下方设置有固定块11,固定块11的一侧开设有限位槽,限位槽的一侧滑动连接有限位板12,限位板12的上方开设有圆孔,圆孔的内部设置有与螺纹孔相适配的固定螺栓13,限位板12的上表面与铜柱10的下表面抵接。
[0028]将环形主体7固定在主轴1上,再把材料放入环形主体7的储料槽9内,用火枪熔料,完成之后需要检查坩埚的底部和内部熔料状况时,将坩埚装置取下来,储料槽9面查下,放在工作台上,通过工具取下固定螺栓13,然后下降限位板12从固定块11上取下来,再把将铜柱10取下来,就能通过放置铜柱10的观察孔观察熔料后坩埚底部的熔料情况,每次熔料完成之后可以及时检查,避免熔料不实而影响蒸发速率。
[0029]以上,仅为本技术较佳的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内,根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置,包括主轴,其特征在于:所述主轴的外表面开设有移动槽,所述移动槽的内表面滑动连接有第一固定杆,所述主轴的内部开设有与贯穿至移动槽的活动腔,所述活动腔的内部设置有第二固定杆,所述主轴的外表面开设有放置槽,所述放置槽的内部设置有定位块,所述定位块的一侧固定连接有支撑杆,所述支撑杆的一端与第二固定杆的一侧固定连接,所述放置槽的一侧开设有与支撑杆相适配的连通槽,所述放置槽的一侧固定连接有弹簧,所述弹簧的一端与定位块的一侧抵接,所述主轴的上方设置有环形主体。2.根据权利要求1所述的一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置,其特征在于:所述环形主体的下方固定连接有固定环,所述固定环的一侧开设有与定位块相适配的定位槽。3.根据权利要求1所述的一种可拆卸式光学镀膜坩埚装置,其特征在于:所述定...

【专利技术属性】
技术研发人员:王帅康王果峰贾蕾马志华毛多明华银苹
申请(专利权)人:南阳镀创光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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