一种用于晶圆生产的隔离膜及晶圆组件制造技术

本实用新型专利技术具体涉及一种用于晶圆生产的隔离膜及晶圆组件，所述隔离膜为三层共挤结构，包括依次设置的第一膜层、中间膜层和第二膜层，所述中间膜层为具有抗静电作用的聚乙烯层、聚丙烯层、聚苯乙烯层或聚碳酸酯层，所述第一膜层的上表面和第二膜层的下表面均匀设有立体圆点点阵。所述隔离膜能够作为晶圆的直接接触隔离功能膜，不容易掉屑，起到静电防护作用，且具有一定的挺度能够确保与晶圆容易分离、不会产生静电吸附。再者，将该隔离膜用于晶圆组件的包装时起到良好的缓冲防震作用，使晶圆在包装运输过程中不容易磕碰和划伤。圆在包装运输过程中不容易磕碰和划伤。圆在包装运输过程中不容易磕碰和划伤。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆生产的隔离膜及晶圆组件


[0001]本技术涉及晶圆生产
，具体涉及一种用于晶圆生产的隔离膜及晶圆组件。

技术介绍

[0002]现有用于晶圆生产起到隔离保护作用的纸/膜主要有晶圆隔离纸以及单层结构的塑料隔离膜，对于晶圆隔离纸而言，缺陷在于裁切成型时其边缘容易起毛掉屑会导致晶圆或者硅片受到污染；而对于单层结构的塑料隔离膜而言，其材质偏软，在生产过程中机械手臂快速移动产品时，由于静电吸附作用使得隔离膜不容易剥离。另外塑料隔离膜的表面无法避免的晶点和小颗粒的存在，也有导致产品刮伤的风险。
[0003]现阶段，国内使用的晶圆隔离纸多数是由国外进口的杜邦纸，其产品价格高且功能性不完全契合。为此，本申请提供了一种用于晶圆生产的隔离膜及晶圆组件，用于提升半导体晶圆在生产制程及包装运输中的良品率，并有效替代进口杜邦纸，降低生产成本。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本技术的目的在于提供一种用于晶圆生产的隔离膜及晶圆组件。
[0005]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆生产的隔离膜，其特征在于：所述隔离膜为三层共挤结构，包括依次设置的第一膜层、中间膜层和第二膜层，所述中间膜层为具有抗静电作用的聚乙烯层、聚丙烯层、聚苯乙烯层或聚碳酸酯层，所述第一膜层的上表面和第二膜层的下表面均匀设有立体圆点点阵。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆生产的隔离膜，其特征在于：所述立体圆点点阵包括若干凸圆点和若干凹圆点，同位于第一膜层或第二膜层上的凸圆点和凹圆点交替间隔排布，所述凸圆点由第一膜层的部分区域向上凸起或由第二膜层的部分区域向下凹陷形成，所述凹圆点由第一膜层的部分区域向下凹陷或由第二膜层的部分区域向上凸起形成。3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆生产的隔离膜，其特征在于：所述第一膜层和第二膜层均为具有抗静电作用的MPE层、POE层、LDP...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺锐，杨建，方立斌，贺力池，李金花，
申请(专利权)人：东莞市恒升防静电用品有限公司，
类型：新型
国别省市：