晶圆隔离纸制造技术

技术编号:42639847 阅读:81 留言:0更新日期:2024-09-06 01:37
本技术公开了晶圆隔离纸,包括基层,所述基层一侧表面粘连连接有第一防护外层,所述基层一侧且相对于第一防护外层的一侧粘连连接有第二防护外层,所述第一防护外层和第二防护外层外侧壁均设有和隔离凸点,且隔离凸点有多个;本技术通过多种材质复合有效提高隔离纸的综合效果,有效提高晶圆使用时隔离纸对晶圆的保护效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及隔离纸,尤其涉及晶圆隔离纸


技术介绍

1、晶圆是指硅半导体积体电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之ic产品目。前一般采用真空包装进行晶圆产品的运输,具体是将晶圆放置在晶圆盒内,同时在晶圆上粘附有隔离纸,通过隔离纸对晶圆进行防尘、防静电保护。

2、现有晶圆隔离纸在使用时通常直接粘附在晶圆表面,以此覆盖在晶圆表面,以此对晶圆进行防尘、防静电保护,但在实际操作中当隔离纸覆盖在晶圆表时会与其表面紧密贴合,以此造成晶圆与隔离纸接触面较大,使得在日常防护过程中容易滑伤晶圆,以此增大晶圆的损坏率,降低生产效率。为此,我们提出晶圆隔离纸。


技术实现思路

1、本技术的主要目的在于提供晶圆隔离纸,可以有效解决
技术介绍
中的问题。

2、为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:

3、晶圆隔离纸,包括基层,所述基层一侧表面粘连连接有第一防护外层,所述基层一侧且相对于第一防护外层的一侧粘连连接有第二防护外层,所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.晶圆隔离纸,包括基层(2),其特征在于,所述基层(2)一侧表面粘连连接有第一防护外层(1),所述基层(2)一侧且相对于第一防护外层(1)的一侧粘连连接有第二防护外层(3),

2.根据权利要求1所述的晶圆隔离纸,其特征在于:所述基层(2)两侧均粘连连接有中间层(4),所述中间层(4)外侧壁均开设有填充槽(5),所述填充槽(5)内部设有填充层(6)。

3.根据权利要求2所述的晶圆隔离纸,其特征在于:所述填充层(6)采用黑色导电 HDPE材料填充。

4.根据权利要求2所述的晶圆隔离纸,其特征在于:所述中间层(4)采用防静电聚苯乙烯材料

5....

【技术特征摘要】

1.晶圆隔离纸,包括基层(2),其特征在于,所述基层(2)一侧表面粘连连接有第一防护外层(1),所述基层(2)一侧且相对于第一防护外层(1)的一侧粘连连接有第二防护外层(3),

2.根据权利要求1所述的晶圆隔离纸,其特征在于:所述基层(2)两侧均粘连连接有中间层(4),所述中间层(4)外侧壁均开设有填充槽(5),所述填充槽(5)内部设有填充...

【专利技术属性】
技术研发人员:贺锐康兰芳康刚
申请(专利权)人:东莞市恒升防静电用品有限公司
类型:新型
国别省市:

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