【技术实现步骤摘要】
本技术涉及隔离纸,尤其涉及晶圆隔离纸。
技术介绍
1、晶圆是指硅半导体积体电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之ic产品目。前一般采用真空包装进行晶圆产品的运输,具体是将晶圆放置在晶圆盒内,同时在晶圆上粘附有隔离纸,通过隔离纸对晶圆进行防尘、防静电保护。
2、现有晶圆隔离纸在使用时通常直接粘附在晶圆表面,以此覆盖在晶圆表面,以此对晶圆进行防尘、防静电保护,但在实际操作中当隔离纸覆盖在晶圆表时会与其表面紧密贴合,以此造成晶圆与隔离纸接触面较大,使得在日常防护过程中容易滑伤晶圆,以此增大晶圆的损坏率,降低生产效率。为此,我们提出晶圆隔离纸。
技术实现思路
1、本技术的主要目的在于提供晶圆隔离纸,可以有效解决
技术介绍
中的问题。
2、为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:
3、晶圆隔离纸,包括基层,所述基层一侧表面粘连连接有第一防护外层,所述基层一侧且相对于第一防护外层的一侧粘连连接有
...【技术保护点】
1.晶圆隔离纸,包括基层(2),其特征在于,所述基层(2)一侧表面粘连连接有第一防护外层(1),所述基层(2)一侧且相对于第一防护外层(1)的一侧粘连连接有第二防护外层(3),
2.根据权利要求1所述的晶圆隔离纸,其特征在于:所述基层(2)两侧均粘连连接有中间层(4),所述中间层(4)外侧壁均开设有填充槽(5),所述填充槽(5)内部设有填充层(6)。
3.根据权利要求2所述的晶圆隔离纸,其特征在于:所述填充层(6)采用黑色导电 HDPE材料填充。
4.根据权利要求2所述的晶圆隔离纸,其特征在于:所述中间层(4)采用防静电聚苯乙烯材料
5....
【技术特征摘要】
1.晶圆隔离纸,包括基层(2),其特征在于,所述基层(2)一侧表面粘连连接有第一防护外层(1),所述基层(2)一侧且相对于第一防护外层(1)的一侧粘连连接有第二防护外层(3),
2.根据权利要求1所述的晶圆隔离纸,其特征在于:所述基层(2)两侧均粘连连接有中间层(4),所述中间层(4)外侧壁均开设有填充槽(5),所述填充槽(5)内部设有填充...
【专利技术属性】
技术研发人员:贺锐,康兰芳,康刚,
申请(专利权)人:东莞市恒升防静电用品有限公司,
类型:新型
国别省市:
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