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本实用新型具体涉及一种用于晶圆生产的隔离膜及晶圆组件,所述隔离膜为三层共挤结构,包括依次设置的第一膜层、中间膜层和第二膜层,所述中间膜层为具有抗静电作用的聚乙烯层、聚丙烯层、聚苯乙烯层或聚碳酸酯层,所述第一膜层的上表面和第二膜层的下表面均匀...该专利属于东莞市恒升防静电用品有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市恒升防静电用品有限公司授权不得商用。
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本实用新型具体涉及一种用于晶圆生产的隔离膜及晶圆组件,所述隔离膜为三层共挤结构,包括依次设置的第一膜层、中间膜层和第二膜层,所述中间膜层为具有抗静电作用的聚乙烯层、聚丙烯层、聚苯乙烯层或聚碳酸酯层,所述第一膜层的上表面和第二膜层的下表面均匀...