下载一种用于晶圆生产的隔离膜及晶圆组件的技术资料

文档序号:39097648

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型具体涉及一种用于晶圆生产的隔离膜及晶圆组件,所述隔离膜为三层共挤结构,包括依次设置的第一膜层、中间膜层和第二膜层,所述中间膜层为具有抗静电作用的聚乙烯层、聚丙烯层、聚苯乙烯层或聚碳酸酯层,所述第一膜层的上表面和第二膜层的下表面均匀...
该专利属于东莞市恒升防静电用品有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市恒升防静电用品有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。