半导体清洗栏制造技术

本实用新型专利技术属于半导体清洗领域，特别涉及一种半导体清洗栏，它解决了手动捡运半导体清洗作业效率低的问题。本半导体清洗栏，包括底盘，所述的底盘外围设有侧围板，所述的侧围板上设有导液结构，所述的底盘和侧围板之间设有能够防止底盘上半导体通过导液结构脱离底盘的隔离结构，所述的底盘、侧围板和隔离结构均为聚四氟乙烯材料制成。实现了可自动传送半导体，节省人力，更加高效的效果。更加高效的效果。更加高效的效果。

【技术实现步骤摘要】
半导体清洗栏


[0001]本技术属于半导体清洗领域，特别涉及一种半导体清洗栏。

技术介绍

[0002]中国半导体市场广大，清洗设备在这里有很好的发展前景。长期以来，全球清洗设备市场都被迪恩士（SCREEN）、TEL、LAM与细美事把持着，这四家公司合计市场占有率达到90%以上，其中，迪恩士市场份额最高，超过50%。2014年后，国内龙头盛美公司也进入该领域，通过近10年的发展目前占有20%左右的市场份额。半导体部件清洗步骤需要100
‑
200次，占生产过程的30%。传统的办法是通过人工捡运的办法，效率低。
[0003]聚四氟乙烯具有耐高低温性、耐辐照、耐化学稳定性、有机碳析出低等特性，可适用于各种严苟工况。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对现有技术存在的上述问题，提出了一种有利于提高清洗作业效率的半导体清洗栏。
[0005]为了实现创新本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种半导体清洗栏，包括底盘，所述的底盘外围设有侧围板，所述的侧围板上设有导液结构，所述的底盘和侧围板之间设有能够防止本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体清洗栏，其特征在于，包括底盘(1)，所述的底盘(1)外围设有侧围板(2)，所述的侧围板(2)上设有导液结构(3)，所述的底盘(1)和侧围板(2)之间设有能够防止底盘(1)上半导体通过导液结构(3)脱离底盘(1)的隔离结构(4)，所述的底盘(1)、侧围板(2)和隔离结构(4)均为聚四氟乙烯材料制成。2.根据权利要求1所述的半导体清洗栏，其特征在于，所述的导液结构(3)包括设置在侧围板(2)上的若干沿圆周方向上分布且竖向和横向贯穿侧围板(2)的通孔(32)。3.根据权利要求1所述的半导体清洗栏，其特征在于，所述的导液结构(3)包括设置在侧围板(2)上的两组沿着圆周方向上分布的导液孔组(31)。4.根据权利要求3所述的半导体清洗栏，其特征在于，所述的导液孔组(31)包括若干沿圆周方向上分布且竖向和横向贯穿侧围板(2)的通孔(32)，若干通孔(32)依次沿顺时针方向上分布的角度为8
°
、12
°
、10
°
、10
°
、20
°
、20
°
、10
°
、10

【专利技术属性】
技术研发人员：夏晖，
申请(专利权)人：浙江科赛新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：