激光发射装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种激光发射装置，包括：载体、激光器组件、激光调整组件、激光扫描组件；通过将所述激光器组件和激光调整组件设置于所述第一载体面并在所述第一载体面一侧，用于产生激光并经所述扩束镜和所述整形镜调整后穿过所述第一激光孔进入所述第二载体面一侧，所述激光扫描组件设置于所述第二载体面，所述激光扫描组件包括所述振镜，通过所述振镜对经所述扩束镜和所述整形镜调整后的所述激光进行偏转，使所述激光在受键合的晶圆表面高精度地扫描，最终将所述晶圆上的粘合材料均匀产生反应，进而实现解键合。进而实现解键合。进而实现解键合。

【技术实现步骤摘要】
激光发射装置


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种激光发射装置。

技术介绍

[0002]键合工艺是指通过化学和物理作用将硅片与硅片、硅片与玻璃或其它材料紧密地结合起来的方法。
[0003]为了满足半导体晶圆制程对缩小特征尺寸及3D集成需求的要求，减薄的晶圆十分脆弱，必须要有稳定的衬底支撑来辅助相关工艺的完成，通过键合工艺为晶圆提供刚性支撑。
[0004]晶圆解键合技术中的一种，是通过激光照射受键合的晶圆，诱导晶圆和玻璃载片之间的粘合材料发生光化学反应，使胶粘剂材料产生反应失去粘性，进而分离晶圆实现解键合。使用所述激光照射受键合的晶圆时，需要使激光产生的光斑在晶圆表面移动。
[0005]而，现有技术中的晶圆解键合通过运动装置带动所述晶圆移动实现所述激光在晶圆上扫描，机械传动的误差导致激光扫描时晶圆和玻璃载片之间的粘合材料受激光照射不均匀，故无法使粘合材料均匀的产生反应，造成解键合失败。
[0006]因此，有必要开发一种新型激光发射装置，以改善现有技术中存在的上述部分问题。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种激光发射装置，能够提高激光扫描精度，使粘合材料均匀产生反应。
[0008]为实现上述目的，本技术提供的激光发射装置，包括：载体、激光器组件、激光调整组件、激光扫描组件；所述载体包括朝向相背的第一载体面和第二载体面；所述激光器组件设置于所述第一载体面，用于在所述第一载体面一侧产生激光；所述激光调整组件设置于所述第一载体面，所述激光调整组件包括扩束镜、整形镜和调整反射镜；所述扩束镜和整形镜用于调整所述激光的光束；所述调整反射镜用于反射所述激光，使所述激光从所述载体上的第一激光孔穿过并进入所述第二载体面一侧；所述激光扫描组件设置于所述第二载体面，所述激光扫描组件包括振镜、场镜和扫描反射镜；所述扫描反射镜用于反射所述激光，使所述激光进入所述振镜；所述振镜用于将所述激光在受键合的晶圆表面扫描，使所述晶圆解键合；所述场镜用于将所述激光聚焦在所述晶圆表面。
[0009]本技术提供的激光发射装置的有益效果在于：通过将所述激光器组件和激光调整组件设置于所述第一载体面并在所述第一载体面一侧，用于产生激光并经所述扩束镜和所述整形镜调整后穿过所述第一激光孔进入所述第二载体面一侧，所述激光扫描组件设置于所述第二载体面，所述激光扫描组件包括所述振镜，通过所述振镜对经所述扩束镜和所述整形镜调整后的所述激光进行偏转，使所述激光在受键合的晶圆表面高精度地扫描，最终将所述晶圆上的粘合材料均匀产生反应，进而实现解键合。
[0010]可选的，所述整形镜包括透镜调整架和整形透镜，所述透镜调整架用于使所述整形透镜绕其主光轴旋转，使所述激光穿过所述整形透镜后形成的像发生旋转。
[0011]可选的，所述激光扫描组件还包括箱体，所述箱体设置于所述第二载体面，所述扫描反射镜设置于所述箱体内，所述振镜和所述场镜设置于所述箱体的外壁。
[0012]可选的，所述箱体与所述载体之间通过电缸连接，用于调节所述箱体的位置。
[0013]可选的，所述箱体与所述载体之间还通过气缸连接，所述气缸与所述电缸的导轨相平行。
[0014]可选的，所述电缸通过调整件连接所述载体，所述调整件上设有销孔，所述销孔内设置有偏心销，所述偏心销转动过程中调整所述调整件的位置，进而调整所述电缸的导轨与所述晶圆表面的夹角。
[0015]可选的，所述载体包括挡板，所述挡板可活动设置于所述第一激光孔处，用于阻挡所述激光穿过所述第一激光孔。
[0016]可选的，所述扩束镜、所述整形镜和所述反射镜依次设置于所述激光的光路上。
[0017]可选的，所述激光器组件还包括托盘和漏液传感器，所述托盘用于收集泄露的冷却液，所述漏液传感器设置于所述托盘内。
附图说明
[0018]图1为本技术实施例中的激光发射装置应用于激光解键合设备的结构示意图；
[0019]图2为图1所示的第一载体的结构示意图；
[0020]图3为图1所示的导向机构和按压件的结构示意图；
[0021]图4为图1所示的载片台的结构示意图；
[0022]图5为图1所示的振镜和场镜的连接示意图；
[0023]图6为图5所示的电缸和气缸的连接示意图；
[0024]图7为图2所示的整形镜的结构示意图；
[0025]图8为图2所示的第一调整反射镜的结构示意图；
[0026]图9为图2所示的第二调整反射镜的结构示意图；
[0027]图10为图2所示的扩束镜的结构示意图。
[0028]附图标记：
[0029]101、第一载体；1011、第一载体面；102、第二载体；2、激光器；301、扩束镜；302、整形镜；3031、第一调整反射镜；3032、第二调整反射镜；401、扫描反射镜；402、振镜；403、场镜；131、第一激光孔；5、箱体；6、距离调节组件；601、电缸；602、双导轨无杆气缸；7、载片台；8、吸附元件；9、透镜调整架；1101、调整件；1102、偏心销；1103、销孔；1201、导向机构；1202、按压件；13、挡板；14、托盘；15、衬垫；
具体实施方式
[0030]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出
创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
[0031]为解决现有技术存在的问题，参照图1，本技术实施例提供了一种激光发射装置，所述激光发射装置应用于激光解键合装置，用于对受键合的晶圆进行解键合。所述激光解键合装置包括所述激光发射装置、平整组件和吸附组件；所述激光发射装置包括支架、激光器组件、激光调整组件、激光扫描组件；所述支架包括相互平行设置的第一载体101和第二载体102。
[0032]本技术一些实施例中，参照图1和图2，所述第一载体101包括朝向相背的第一载体面1011和第二载体面(图中未示出)；所述激光器组件设置于所述第一载体面1011，用于在所述第一载体面1011一侧产生激光；所述激光调整组件设置于所述第一载体面1011，所述激光调整组件包括扩束镜301、整形镜302和调整反射镜；所述扩束镜301和整形镜302用于调整所述激光的光束；所述调整反射镜用于反射所述激光，使所述激光从所述载体上的第一激光孔131穿过并进入所述第二载体面一侧；激光扫描组件，设置于所述第二载体面，所述激光扫描组件包括振镜402、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光发射装置，其特征在于，包括：载体，所述载体包括朝向相背的第一载体面和第二载体面；激光器组件，设置于所述第一载体面，用于在所述第一载体面一侧产生激光；激光调整组件，设置于所述第一载体面，所述激光调整组件包括扩束镜、整形镜和调整反射镜；所述扩束镜和整形镜用于调整所述激光的光束；所述调整反射镜用于反射所述激光，使所述激光从所述载体上的第一激光孔穿过并进入所述第二载体面一侧；激光扫描组件，设置于所述第二载体面，所述激光扫描组件包括振镜、场镜和扫描反射镜；所述扫描反射镜用于反射所述激光，使所述激光进入所述振镜；所述振镜用于将所述激光在受键合的晶圆表面扫描，使所述晶圆解键合；所述场镜用于将所述激光聚焦在所述晶圆表面。2.根据权利要求1所述的激光发射装置，其特征在于，还包括透镜调整架，所述透镜调整架设置于所述整形镜，所述透镜调整架用于使所述整形镜绕其主光轴旋转，使所述激光穿过所述整形镜后形成的像发生旋转。3.根据权利要求1所述的激光发射装置，其特征在于，所述激光扫描组件还包括箱体，所述箱体设置于所述第二载体面，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙璞，温海涛，王金龙，孙振聪，徐小伟，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：