本实用新型专利技术提供了一种用于紫外激光器的防护装置，涉及激光器结构领域。所述用于紫外激光器的防护装置包括：防护组件，设置于所述紫外激光器的第一外壁；所述防护组件包括防护件，所述防护件形成有连通所述紫外激光器的窗口镜和外部空间的通光孔，所述防护件面对所述紫外激光器的端部形成有多条气道，多条所述气道关于所述通光孔对称分布且每条所述气道均与所述通光孔连通；以及供气组件，设置有与每条所述气道连通的过滤件，以能够为每条所述气道提供朝向远离所述紫外激光器的方向流动的气体。气体。气体。
【技术实现步骤摘要】
一种用于紫外激光器的防护装置
[0001]本申请涉及激光器结构领域，尤其是涉及一种用于紫外激光器的防护装置。
技术介绍
[0002]紫外激光器能够产生紫外光束，以应用于光数据储存、微加工、大气探测以及微电子学等各个领域中。现有的紫外激光器在长期使用的过程中，激光光束行径路线与窗口镜的相交区域(即窗口镜过光点区域)会逐步累积灰尘，从而导致光束质量下降，严重影响了激光器的应用效果以及使用寿命。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本申请的目的在于提供一种用于紫外激光器的防护装置，以解决现有的紫外激光器在长期使用的过程中，由于窗口镜过光点区域逐步累积灰尘而导致的光束质量下降的问题。
[0004]根据上述目的，本技术提供一种用于紫外激光器的防护装置，与紫外激光器连接，其中，所述用于紫外激光器的防护装置包括：
[0005]防护组件，设置于所述紫外激光器的第一外壁；所述防护组件包括防护件，所述防护件形成有连通所述紫外激光器的窗口镜和外部空间的通光孔，所述防护件面对所述紫外激光器的端部形成有多条气道，多条所述气道关于所述通光孔对称分布且每条所述气道均与所述通光孔连通；以及
[0006]供气组件，设置有与每条所述气道连通的过滤件，以能够为每条所述气道提供朝向远离所述紫外激光器的方向流动的气体。
[0007]优选地，所述防护件面对所述紫外激光器的第一端形成有与所述窗口镜相适配的凹部，所述通光孔沿远离所述紫外激光器的方向贯穿所述凹部以及所述防护件的第二端；所述通光孔位于所述凹部的端部与所述窗口镜的镜片适配。
[0008]优选地，所述气道的数量为两条，两条所述气道分别设置于所述凹部的两侧，并且两条所述气道的轴线均与所述通光孔的轴线在同一水平面上。
[0009]优选地。每条所述气道均形成有彼此连通的平行段和倾斜段，所述平行段的延伸方向与所述通光孔的延伸方向相同，并且所述平行段延伸方向的第一端贯穿所述防护件的第一端；所述倾斜段延伸方向的第二端与所述通光孔连通。
[0010]优选地，所述凹部与所述窗口镜的连接处设置有第一密封件。
[0011]优选地，所述防护组件还包括与所述防护件的第二端可拆卸连接的密封盖；所述密封盖面对所述防护件的端部形成有与所述通光孔适配的凸部，当所述密封盖与所述防护件连接时，所述凸部能够对应插入所述通光孔中。
[0012]优选地，所述凸部远离所述防护件的端部外周套设有第二密封件。
[0013]优选地，所述紫外激光器的第二外壁形成有用于放置所述供气组件的凹槽，所述凹槽的开口处可拆卸连接有对应的盖板，所述盖板形成有多个能够连通所述凹槽与所述外
部空间的进气孔。
[0014]优选地，所述供气组件包括与所述过滤件连通的电泵，以能够将空气吸入所述过滤件中。
[0015]优选地，所述过滤件的输出端连接有分流阀，所述分流阀的输出端设置有多条与所述气道对应连通的输气管；所述紫外激光器的第一外壁形成有与所述输气管对应的出气孔。
[0016]根据本技术的用于紫外激光器的防护装置，将防护组件设置于紫外激光器的外侧壁，从而当紫外激光器开启时，通过防护件的通光孔连通紫外激光器的窗口镜与外部空间，以确保紫外激光器能够正常运行。此外，供气组件中的过滤件能够将空气过滤，而后再将洁净的空气导入防护件的气道中，而该气道均与通光孔连通，如此能够有效防止外界灰尘进入通光孔中，从而避免了紫外激光器在使用过程中，因灰尘在窗口镜过光点区域沉积而导致光束质量降低的情况的发生。
[0017]为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1是根据本技术的实施例的防护件与紫外激光器的连接示意图；
[0020]图2是根据本技术的实施例的防护件与紫外激光器的爆炸图；
[0021]图3是根据本技术的实施例的防护件的示意图；
[0022]图4是根据本技术的实施例的防护件的剖视图；
[0023]图5是根据本技术的实施例的密封盖与防护件的爆炸图；
[0024]图6是根据本技术的实施例的供气组件与紫外激光器的连接示意图。
[0025]图标：1
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激光器；10
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第一外壁；101
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出气孔；11
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窗口镜；12
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第二外壁；120
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凹槽；121
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盖板；20
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防护件；200
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凹部；201
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通光孔；202
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气道；2021
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平行段；2022
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倾斜段；203
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第一连接孔；204
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第二连接孔；205
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第一密封件；21
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密封盖；210
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凸部；211
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第二密封件；30
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过滤件；31
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电泵；32
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分流阀；33
‑
输气管。
具体实施方式
[0026]提供以下具体实施方式以帮助读者获得对这里所描述的方法、设备和/或系统的全面理解。然而，在理解本申请的公开内容之后，这里所描述的方法、设备和/或系统的各种改变、修改及等同物将是显而易见的。例如，这里所描述的操作的顺序仅仅是示例，其并不限于这里所阐述的顺序，而是除了必须以特定顺序发生的操作之外，可做出在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的改变。此外，为了提高清楚性和简洁性，可省略本领域中已知的特征的描述。
[0027]这里所描述的特征可以以不同的形式实施，并且不应被解释为局限于这里所描述
的示例。更确切地说，已经提供了这里所描述的示例仅用于示出在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的实现这里描述的方法、设备和/或系统的诸多可行方式中的一些方式。
[0028]在整个说明书中，当元件(诸如，层、区域或基板)被描述为“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件、“结合到”另一元件、“在”另一元件“之上”或“覆盖”另一元件时，其可直接“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件、“结合到”另一元件、“在”另一元件“之上”或“覆盖”另一元件，或者可存在介于它们之间的一个或更多个其他元件。相比之下，当元件被描述为“直接在”另一元件“上”、“直接连接到”另一元件、“直接结合到”另一元件、“直接在”另一元件“之上”或“直接覆盖”另一元件时，可不存在介于它们之间的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于紫外激光器的防护装置，与紫外激光器(1)连接，其特征在于，所述用于紫外激光器的防护装置包括：防护组件，设置于所述紫外激光器(1)的第一外壁(10)；所述防护组件包括防护件(20)，所述防护件(20)形成有连通所述紫外激光器(1)的窗口镜(11)和外部空间的通光孔(201)，所述防护件(20)面对所述紫外激光器(1)的端部形成有多条气道(202)，多条所述气道(202)关于所述通光孔(201)对称分布且每条所述气道(202)均与所述通光孔(201)连通；以及供气组件，设置有与每条所述气道(202)连通的过滤件(30)，以能够为每条所述气道(202)提供朝向远离所述紫外激光器(1)的方向流动的气体。2.根据权利要求1所述的用于紫外激光器的防护装置，其特征在于，所述防护件(20)面对所述紫外激光器(1)的第一端形成有与所述窗口镜(11)相适配的凹部(200)，所述通光孔(201)沿远离所述紫外激光器(1)的方向贯穿所述凹部(200)以及所述防护件(20)的第二端；所述通光孔(201)位于所述凹部(200)的端部与所述窗口镜(11)的镜片适配。3.根据权利要求2所述的用于紫外激光器的防护装置，其特征在于，所述气道(202)的数量为两条，两条所述气道(202)分别设置于所述凹部(200)的两侧，并且两条所述气道(202)的轴线均与所述通光孔(201)的轴线在同一水平面上。4.根据权利要求3所述的用于紫外激光器的防护装置，其特征在于，每条所述气道(202)均形成有彼此连通的平行段(2021)和倾斜段(2022)，所述平行段(2021)的延伸方向与所述通光孔(201)的延伸方向相同，并且所述平行段(2021)延伸方向的第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东舜元激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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