一种石英晶片的双面高效抛光设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英晶片的双面高效抛光设备，包括底座和垂直设置于底座顶部的立框，所述立框的内侧通过轴承竖直安装有一对相互平行的转动盘，两个所述转动盘呈正多边形同轴布置，且两个所述转动盘之间设有连接轴。本实用新型专利技术利用双工位对石英晶片进行加工，搭配双工位部位的连续转动转换，能够实现以极短的时间实现石英晶片的单面抛光后翻面、上下料，能够增加石英晶片双面研磨的效率，且在双工位之间上下料过程中不需要人为操作，自动化程度较高，进一步地方便通过更换带有不同规格型腔的固定盘对不同大小的石英晶片进行抛光加工使用。加工使用。加工使用。

【技术实现步骤摘要】
一种石英晶片的双面高效抛光设备


[0001]本技术涉及抛光设备
，具体为一种石英晶片的双面高效抛光设备。

技术介绍

[0002]石英晶片的化学成分为SiO2，属于三方晶系的氧化物矿物，即低温石英，是石英族矿物中分布最广的一个矿物种，石英因粒度、颜色、包裹体等的不同而有许多变种，无色透明的石英称为水晶，烟褐色至近黑色的俗称茶晶或墨晶，玫瑰红色的俗称芙蓉石；呈肾状、钟乳状的隐晶质石英称石髓，石英晶体在使用时，需要切割后进行抛光处理。
[0003]目前，现有的石英晶片抛光一般采用高精度的行星齿轮结构双面抛光机，但是此类双面抛光机上下料需要人工进行操作，即使通过设备改进依靠机械臂进行辅助上下料，仍然需要占用大量的工作时间因而影响加工效率，设备自动化运行程度较低，为此我们提供一种石英晶片双工位连续自动化进行上下料加工的双面高效抛光设备。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种石英晶片的双面高效抛光设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种石英晶片的双面高效抛光设备，包括底座和垂直设置于底座顶部的立框，所述立框的内侧通过轴承竖直安装有一对相互平行的转动盘，两个所述转动盘呈正多边形同轴布置，且两个所述转动盘之间设有连接轴。
[0006]所述转动盘的内部皆设有负压腔，所述转动盘外侧的多边侧壁位置处皆设有固定盘，所述固定盘的外侧设有用于石英晶片固定使用的型腔，所述型腔下方的固定盘内部设有通气腔，且转动盘上安装有用于控制通气腔与负压腔通断使用的电磁阀。
[0007]所述连接轴还用于连通两侧转动盘内部的负压腔并呈中空管状布置，所述连接轴的一端延伸至立框外侧并连接有驱动箱，所述连接轴的另一端通过旋转接头连接有电气箱。
[0008]所述转动盘一侧的底座顶部设有机械臂，所述转动盘的上方升降布置有抛光头，所述转动盘的下方升降布置有旋转座，所述抛光头的底部连接有打磨盘，所述旋转座的顶部连接有转运盘，两个所述转动盘皆位于转运盘直径范围内，且旋转座与抛光头的内部分别安装有用于转运盘和打磨盘转动使用的伺服电机。
[0009]优选的，所述抛光头与旋转座的升降由独立的升降组件驱动或共用同一升降组件驱动，所述升降组件包括丝杆升降机、电动伸缩杆或气缸。
[0010]优选的，当所述抛光头与旋转座的升降共用同一升降组件驱动时，所述升降组件包括竖直布置的导向杆和螺杆，所述抛光头与旋转座的一侧皆设有与导向杆和螺杆相适配的连接套，且螺杆的一端连接有升降电机。
[0011]优选的，所述固定盘可拆卸安装于转动盘外侧，所述转动盘上设有用于连通通气
腔和负压腔使用的插槽，所述固定盘的底部设有适配插槽布置的插接部，且电磁阀安装于插槽底端。
[0012]优选的，相邻的两个所述固定盘相互铰接。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该石英晶片的双面高效抛光设备利用双工位对石英晶片进行加工，搭配双工位部位的连续转动转换，能够实现以极短的时间实现石英晶片的单面抛光后翻面、上下料，能够增加石英晶片双面研磨的效率，且在双工位之间上下料过程中不需要人为操作，，自动化程度较高，进一步地方便通过更换带有不同规格型腔的固定盘对不同大小的石英晶片进行抛光加工使用。
附图说明
[0014]图1为本技术的正视结构示意图；
[0015]图2为本技术的俯视结构示意图；
[0016]图3为本技术的转动盘部位正视放大结构示意图；
[0017]图4为本技术的转动盘侧面内部拆分结构示意图。
[0018]图中：1、抛光头；2、螺杆；3、升降电机；4、导向杆；5、立框；6、固定盘；7、驱动箱；8、旋转座；9、底座；10、转运盘；11、电气箱；12、转动盘；13、打磨盘；14、连接轴；15、型腔；16、通气腔；17、电磁阀；18、插槽；19、负压腔；20、机械臂。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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4，本技术提供的一种实施例：一种石英晶片的双面高效抛光设备，包括底座9和垂直设置于底座9顶部的立框5，立框5呈龙门式设置用于支撑固定设备，所述立框5的内侧通过轴承竖直安装有一对相互平行的转动盘12，两个所述转动盘12呈正多边形同轴布置，在本实施例中我们采用正六边形的转动盘12进行使用，每次加工转动加工盘旋转60度以实现连续间歇加工使用，两个所述转动盘12同向、同速转动，因此两个所述转动盘12之间设有连接轴14。
[0021]为了方便在转动时固定石英晶片，所述转动盘12的内部皆设有负压腔19，利用负压产生的吸附效果对转运过程中的石英晶片进行固定，此时所述连接轴14还用于连通两侧转动盘12使用，也可以外加吸气管道皆可，在本实施例中，所述连接轴14还用于连通两侧转动盘12内部的负压腔19并呈中空管状布置，所述连接轴14的一端延伸至立框5外侧并连接有驱动箱7，作为本领域技术人员能够理解的是，驱动箱7内部具有用于带动连接轴14步进转动使用的步进电机，用于间歇式带动转动盘12转动一定角度转换工件，所述连接轴14的另一端通过旋转接头连接有电气箱11，电气箱11连接外部电源和负压气源，此时连接轴14连接驱动箱7的一端封闭，连接电气箱11的一端通过旋转接头和旋转接电组件连接即可，在此不一一赘述。
[0022]为了方便对石英晶片进行固定，所述转动盘12外侧的多边侧壁位置处皆设有固定
盘6，固定盘6用于石英晶片加工时的治具，所述固定盘6的外侧设有用于石英晶片固定使用的型腔15，所述型腔15的形状规格与所加工的石英晶片一致，所述型腔15下方的固定盘6内部设有通气腔16，且转动盘12上安装有用于控制通气腔16与负压腔19通断使用的电磁阀17，当外部负压设备产生负压腔19负压环境时，控制特点角度方位的电磁阀17打开，其余电磁阀17关闭即可，以本实施例采用六边形的转动盘12为例，示例性地转动盘12顺时针转动，位于正上方的水平侧壁角度为0度时，则位于顺时针方向的60度、120度、180度和240度时两侧电磁阀17都应打开确保抛光完成的工件不易滑落，保持负压吸附状态直至转动盘12旋转240度后由机械臂20接料时控制电磁阀17关闭进行落料即可，具体地，电气箱11内部应具有检测连接轴14的角度传感器或伺服电机应具有角度信号输出，搭配电气箱11中的处理器进行编码控制即可，处理器可具有计时电路功能等，在此不一一赘述。
[0023]在本实施例中，考虑到不同直径、厚度规格的石英晶片需要更换不同的型腔15，所述固定盘6可拆卸安装于转动盘12外侧，所述转动盘12上设有用于连通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英晶片的双面高效抛光设备，其特征在于，包括底座（9）和垂直设置于底座（9）顶部的立框（5），所述立框（5）的内侧通过轴承竖直安装有一对相互平行的转动盘（12），两个所述转动盘（12）呈正多边形同轴布置，且两个所述转动盘（12）之间设有连接轴（14）；所述转动盘（12）的内部皆设有负压腔（19），所述转动盘（12）外侧的多边侧壁位置处皆设有固定盘（6），所述固定盘（6）的外侧设有用于石英晶片固定使用的型腔（15），所述型腔（15）下方的固定盘（6）内部设有通气腔（16），且转动盘（12）上安装有用于控制通气腔（16）与负压腔（19）通断使用的电磁阀（17）；所述连接轴（14）还用于连通两侧转动盘（12）内部的负压腔（19）并呈中空管状布置，所述连接轴（14）的一端延伸至立框（5）外侧并连接有驱动箱（7），所述连接轴（14）的另一端通过旋转接头连接有电气箱（11）；所述转动盘（12）一侧的底座（9）顶部设有机械臂（20），所述转动盘（12）的上方升降布置有抛光头（1），所述转动盘（12）的下方升降布置有旋转座（8），所述抛光头（1）的底部连接有打磨盘（13），所述旋转座（8）的顶部连接有转运盘（10），两个所述转动盘（12...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘胜男，
申请(专利权)人：深圳科鑫泰电子有限公司，
类型：新型
国别省市：