一种定量加液的石英晶片刻蚀设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种定量加液的石英晶片刻蚀设备，涉及石英晶片技术领域，包括储液罐，所述储液罐下端面设置有第一连通管，所述第一连通管端面设置有连通器，所述连通器外表面设置有第二连通管，所述第二连通管上端面设置有分液罐，所述连通器外表面设置有第三连通管，所述第三连通管端面设置有刻蚀机主体，所述连通器前表面开设有限位滑槽，所述连通器内部设置有双通块。本实用新型专利技术中，通过第一连通管、连通器、第二连通管、第三连通管、双通块、转轴和转盘的配合设置，储液罐内可以储存大量的刻蚀溶液，只需转动转盘就可以将定量的刻蚀溶液加注到刻蚀机主体内，在加液过程中完全避免了工作人员与刻蚀溶液接触，提升了工作的安全性。提升了工作的安全性。提升了工作的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种定量加液的石英晶片刻蚀设备


[0001]本技术涉及石英晶片
，尤其涉及一种定量加液的石英晶片刻蚀设备。

技术介绍

[0002]石英晶片的用途非常广，没有裂隙、没有缺陷的水晶单晶可以用作压电材料，来制造石英谐振器和滤波器，在石英晶片的生产线上需要将石英晶片进行排片整理，石英晶片在加工过程中，需要对晶片进行刻蚀，刻蚀是通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称。
[0003]现有技术中，在使用刻蚀溶液对石英晶片进行刻蚀处理时，需要定量的加入刻蚀溶液到刻蚀机内，在使用量杯计量并向刻蚀机内倒入溶液的过程中很容易因为操作不当接触到刻蚀溶液，具有强腐蚀性的刻蚀溶液会对工作人员造成伤害，危险性较高。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中在使用刻蚀溶液对石英晶片进行刻蚀处理时，需要定量的加入刻蚀溶液到刻蚀机内，在使用量杯计量并向刻蚀机内倒入溶液的过程中很容易因为操作不当接触到刻蚀溶液，具有强腐蚀性的刻蚀溶液会对工作人员造成伤害，危险性较高的问题，而提出的一种定量加液的石英晶片刻蚀设备。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种定量加液的石英晶片刻蚀设备，包括储液罐，所述储液罐下端面设置有第一连通管，所述第一连通管端面设置有连通器，所述连通器外表面设置有第二连通管，所述第二连通管上端面设置有分液罐，所述连通器外表面设置有第三连通管，所述第三连通管端面设置有刻蚀机主体，所述连通器前表面开设有限位滑槽，所述连通器内部设置有双通块，所述双通块前表面固定连接有转轴，所述转轴与连通器滑动贯穿，所述转轴前端面固定连接有转盘，所述转盘外表面靠近连通器位置固定连接有限位杆。
[0006]优选的，所述储液罐上端面设置有注液阀，所述注液阀与储液罐呈连通设置。
[0007]优选的，所述第一连通管、第二连通管与第三连通管均与连通器呈连通设置，所述第一连通管、第二连通管与第三连通管均与双通块位置相配合。
[0008]优选的，所述限位杆外表面与限位滑槽内表面滑动连接，所述限位杆外表面设置有磁吸套。
[0009]优选的，所述连通器前表面固定连接有第一磁吸块，所述连通器前表面固定连接有第二磁吸块。
[0010]优选的，所述第一磁吸块与第二磁吸块均与限位滑槽位置相配合，所述第一磁吸块与第二磁吸块均与磁吸套呈配套设置。
[0011]优选的，所述连通器前表面粘附有第一密封圈，所述连通器内表面后侧粘附有第二密封圈，所述第一密封圈与第二密封圈均与转轴位置相配合。
[0012]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，
[0013]1、本技术中，通过第一连通管、连通器、第二连通管、第三连通管、双通块、转轴和转盘的配合设置，储液罐内可以储存大量的刻蚀溶液，只需转动转盘就可以将定量的刻蚀溶液加注到刻蚀机主体内，在加液过程中完全避免了工作人员与刻蚀溶液接触，提升了工作的安全性。
[0014]2、本技术中，通过磁吸套、第一磁吸块和第二磁吸块的配合设置，起到了对转盘位置限位固定的作用，避免在使用过程中双通块位置发生偏移，提升了装置的稳定性。
附图说明
[0015]图1为本技术提出一种定量加液的石英晶片刻蚀设备的立体图；
[0016]图2为本技术提出一种定量加液的石英晶片刻蚀设备的仰视图；
[0017]图3为本技术提出一种定量加液的石英晶片刻蚀设备的连通器结构示意图；
[0018]图4为本技术提出一种定量加液的石英晶片刻蚀设备的双通块结构示意图。
[0019]图例说明：1、储液罐；2、注液阀；3、分液罐；4、第一连通管；5、连通器；6、第二连通管；7、第三连通管；8、双通块；9、转轴；10、第一密封圈；11、第二密封圈；12、转盘；13、限位滑槽；14、限位杆；15、磁吸套；16、第一磁吸块；17、第二磁吸块；18、刻蚀机主体。
具体实施方式
[0020]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0021]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0022]实施例1，如图1
‑
图4所示，本技术提供了一种定量加液的石英晶片刻蚀设备，包括储液罐1，储液罐1下端面设置有第一连通管4，第一连通管4端面设置有连通器5，连通器5外表面设置有第二连通管6，第二连通管6上端面设置有分液罐3，连通器5外表面设置有第三连通管7，第三连通管7端面设置有刻蚀机主体18，连通器5前表面开设有限位滑槽13，连通器5内部设置有双通块8，双通块8前表面固定连接有转轴9，转轴9与连通器5滑动贯穿，转轴9前端面固定连接有转盘12，转盘12外表面靠近连通器5位置固定连接有限位杆14，储液罐1上端面设置有注液阀2，注液阀2与储液罐1呈连通设置，第一连通管4、第二连通管6与第三连通管7均与连通器5呈连通设置，第一连通管4、第二连通管6与第三连通管7均与双通块8位置相配合，连通器5前表面粘附有第一密封圈10，连通器5内表面后侧粘附有第二密封圈11，第一密封圈10与第二密封圈11均与转轴9位置相配合。
[0023]其整个实施例1达到的效果为，储液罐1内可以通过注液阀2注入较多刻蚀溶液以备使用，在定量加液使用时，双通块8会与第一连通管4与第二连通管6位置对齐，由于分液罐3液位面低于储液罐1，利用液体的流通原理储液罐1内的刻蚀溶液会通过连通器5流入分液罐3内直至分液罐3灌满，分液罐3的容积为刻蚀机主体18需要注入刻蚀溶液的用量，根据使用需求也可以对分液罐3进行更换满足使用，在分液罐3灌满后，将转盘12顺时针转动90
度可以将双通块8转至第二连通管6与第三连通管7连通位置，此时第二连通管6与第一连通管4切断连通，第一密封圈10和第二密封圈11的设置可以将转轴9包裹住，起到了加强密封的作用，在转盘12转动时会带动限位杆14在限位滑槽13内滑动，由于限位滑槽13的形状为四分之一圆弧状，所以可以限定转盘12的90度转动幅度，起到了辅助定位的作用，在第二连通管6与第三连通管7连通后，分液罐3内的刻蚀溶液会通过第三连通管7完全注入到刻蚀机主体18内部的注液槽内完成对石英晶片的刻蚀加工。
[0024]实施例2，如图1
‑
图4所示，限位杆14外表面与限位滑槽13内表面滑动连接，限位杆14外表面设置有磁吸套15，连通器5前表面固定连接有第一磁吸块16，连通器5前表面固定连接有第二磁吸块17，第一磁吸块16与第二磁吸块17均与限位滑槽13位置相配合，第一磁吸块16与第二磁吸块17均与磁吸套15呈配套设置。
[0025]其整个实施例2达到的效果为，在转动转盘1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种定量加液的石英晶片刻蚀设备，包括储液罐（1），其特征在于：所述储液罐（1）下端面设置有第一连通管（4），所述第一连通管（4）端面设置有连通器（5），所述连通器（5）外表面设置有第二连通管（6），所述第二连通管（6）上端面设置有分液罐（3），所述连通器（5）外表面设置有第三连通管（7），所述第三连通管（7）端面设置有刻蚀机主体（18），所述连通器（5）前表面开设有限位滑槽（13），所述连通器（5）内部设置有双通块（8），所述双通块（8）前表面固定连接有转轴（9），所述转轴（9）与连通器（5）滑动贯穿，所述转轴（9）前端面固定连接有转盘（12），所述转盘（12）外表面靠近连通器（5）位置固定连接有限位杆（14）。2.根据权利要求1所述的定量加液的石英晶片刻蚀设备，其特征在于：所述储液罐（1）上端面设置有注液阀（2），所述注液阀（2）与储液罐（1）呈连通设置。3.根据权利要求1所述的定量加液的石英晶片刻蚀设备，其特征在于：所述第一连通管（4）、第二连通管（6）与第三连通管（7）均与连...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘胜男，
申请(专利权)人：深圳科鑫泰电子有限公司，
类型：新型
国别省市：