本实用新型专利技术提供一种重掺硅料电阻率检测辅助装置，包括电源、第一探针和第二探针，所述电源一端连接开关控制模块，另外一端连接报警器件，所述开关控制模块与所述报警器件电连接，所述第一探针和第二探针分别与所述开关控制模块和报警器件电连接，用于测量硅料的等效电阻，不同硅料的等效电阻不同，控制所述开关控制模块的通断，从而控制所述报警器件的通断。本实用新型专利技术的有益效果是提高了重掺硅料电阻率的检测效率，结构简单，操作便捷。操作便捷。操作便捷。
【技术实现步骤摘要】
一种重掺硅料电阻率检测辅助装置
[0001]本技术属于半导体材料检测
，尤其是涉及一种重掺硅料电阻率检测辅助装置。
技术介绍
[0002]在制备硅单晶过程中，需要加入杂质元素(即掺杂)，加入的杂质元素决定了硅材料的导电类型、电阻率、少子寿命等电学性能。掺杂浓度越高，电阻率越低，导电性越强。根据电阻率的计算公式为：ρ＝RS/L，电阻率越ρ低，则相同面积S和长度L的硅料电阻值R越低。所以，可以通过检测电阻值来判断电阻率范围。
[0003]在现有技术中，有两种检测方法：1)使用四探针电阻率测试仪，测量硅料电阻率值，但效率低，测量头钢针易损坏。2)使用普通测试笔，只能测量单一范围的电阻率值。实际硅料分选作业中，需根据硅料不同电阻率范围进行区分，使用不同检测范围的测试笔，操作不便。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种重掺硅料电阻率检测辅助装置，有效的解决了重掺硅料电阻率测量效率低下，操作不便的问题，克服了现有技术的不足。
[0005]本技术采用的技术方案是：一种重掺硅料电阻率检测辅助装置，包括：
[0006]电源，一端连接开关控制模块，另外一端连接报警器件，所述开关控制模块与所述报警器件电连接；
[0007]第一探针和第二探针，分别与所述开关控制模块和报警器件电连接，用于测量硅料的等效电阻；
[0008]其中，不同硅料的等效电阻不同，控制所述开关控制模块的通断，从而控制所述报警器件的通断。
[0009]进一步，所述报警器件包括指示灯。<br/>[0010]进一步，所述报警器件还包括蜂鸣器，所述蜂鸣器与所述指示灯电连接。
[0011]进一步，所述开关控制模块包括场效应管，所述场效应管与所述报警器件和第一探针电连接，所述场效应管上设有电位器，用于调节报警阈值。
[0012]进一步，所述指示灯为LED指示灯。
[0013]进一步，所述LED指示灯一端设有限流电阻。
[0014]进一步，所述电源与所述报警器件之间设有开关。
[0015]本技术具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，提高了重掺硅料电阻率的检测效率，结构简单，操作便捷。
附图说明
[0016]图1是本技术实施例一种重掺硅料电阻率检测辅助装置的结构示意图。
[0017]图2是本技术实施例一种重掺硅料电阻率检测辅助装置的电路连接示意图。
[0018]图中：
[0019]1、电源
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2、开关
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3、电位器
[0020]4、LED指示灯
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5、蜂鸣器
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6、第一探针
[0021]7、第二探针
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8、外壳
具体实施方式
[0022]本技术实施例提供了一种重掺硅料电阻率检测辅助装置，下面结合附图对本技术的实施例做出说明。
[0023]如图1所示，本技术实施例一种重掺硅料电阻率检测辅助装置，包括电源1、第一探针6和第二探针7，电源1一端连接开关控制模块，另外一端连接报警器件，开关控制模块与报警器件电连接。第一探针6和第二探针7分别与开关控制模块和报警器件电连接，第一探针6和第二探针7与硅料接触，用于测量硅料的等效电阻。两探针接触不同电阻率的硅料，测得的等效电阻不同，控制开关控制模块的通断，从而控制报警器件的通断。将第一探针6和第二探针7与已知电阻率的硅料样块接触，调节开关控制模块，导通报警器件，此时的报警阈值即为硅料样块的电阻率值。
[0024]具体的，报警器件包括指示灯，通过指示灯的点亮与熄灭，可以很直观的显示硅料的电阻率是否达到报警阈值，当电阻率低于报警阈值时，指示灯点亮，当电阻率高于报警阈值时，指示灯熄灭。
[0025]具体的，报警器件还包括蜂鸣器5，蜂鸣器5与指示灯电连接，当电阻率低于报警阈值，指示灯点亮的同时，蜂鸣器5报警，当电阻率高于报警阈值时，指示灯熄灭，蜂鸣器5不报警。
[0026]具体的，开关控制模块包括场效应管，场效应管与报警器件和第一探针6电连接，场效应管上设有电位器3，用于调节报警阈值。场效应管的G极引脚分别与第一探针6和电位器3电连接，场效应管D极引脚与报警器件连接。将第一探针6和第二探针7与已知电阻率的硅料样块接触，调节电位器3，使报警器件导通，此时的报警阈值即为硅料样块的电阻率值。报警阈值可以连续调整，可根据硅料不同的电阻率范围进行调整，分辨率可以达到0.1Ωcm。
[0027]具体的，指示灯为LED指示灯4。
[0028]具体的，为了保护LED指示灯4，在LED指示灯4一端设有限流电阻。
[0029]具体的，电源1与报警器件之间设有开关2。
[0030]实施例：如图1所示，一种重掺硅料电阻率检测辅助装置，包括外壳8、电源1、开关2、电位器3、指示灯、蜂鸣器5、第一探针6和第二探针7。外壳上部安装有电源1，用于整个装置的供电。开关2、电位器3、LED指示灯4、蜂鸣器5依次安装在外壳上。外壳一端安装有第一探针6和第二探针7。外壳内部设置有电路板。
[0031]如图2所示，电路板上设置有场效应管Q、电阻R1、电阻R2、电位器R3。场效应管的G极引脚分别与第一探针6和电位器R3相连，场效应管的D极引脚与LED指示灯4的阴极相连，LED指示灯4的阳极与限流电阻R1相连，电阻R1另一端分别与蜂鸣器BZ和第二探针7相连，场效应管的E极与电阻R2相连，电源E分别于开关S和电阻R2、电位器R3相连。
[0032]其中电源1与电源E为同一器件，开关2与开关S为同一器件，电位器3与电位器R3为同一器件，蜂鸣器5与蜂鸣器BZ为同一器件。
[0033]工作流程：本装置需配合四探针电阻率测试仪使用，采用四探针电阻率测试仪检测出硅料样块的电阻率。将第一探针和第二探针与已知电阻率的硅料样块接触，调节电位器R3至LED指示灯亮起的临界状态，同时蜂鸣器BZ报警。此时检测装置的报警阈值即为硅料样块的电阻率值。调节完成即可用于实际测量。
[0034]将第一探针6和第二探针7与硅料接触，探针之间测得的等效电阻R，与电阻R1、电阻R2、电位器R3组成分压电路。两探针接触不同电阻率的硅料，之间的电阻R不同，则分压不同，加在场效应管Q的偏置电压也发生变化，可以控制场效应管Q的导通与截止。当检测值低于报警阈值时，偏置电压大于场效应管的开启电压则场效应管的漏极D和源极S导通，LED指示灯发亮同时蜂鸣器BZ报警。当检测值高于报警阈值时，偏置电压低于场效应管的开启电压则场效应管的漏极D和源极S不导通，LED指示灯熄灭同时蜂鸣器BZ不报警。
[0035]本技术具有的优点和积极效果是：
[0036]本技术采用已知电阻率值的硅料样块调节报警阈值，从而可以检出不同电阻率范围的硅料，达到分选本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种重掺硅料电阻率检测辅助装置，其特征在于，包括：电源，一端连接开关控制模块，另外一端连接报警器件，所述开关控制模块与所述报警器件电连接；第一探针和第二探针，分别与所述开关控制模块和报警器件电连接，用于测量硅料的等效电阻；其中，所述开关控制模块包括场效应管，所述场效应管与所述报警器件和第一探针电连接，所述场效应管上设有电位器，用于调节报警阈值，不同硅料的等效电阻不同，控制所述开关控制模块的通断，从而控制所述报警器件的通断。2.根据权利要求1所述的一种重掺硅料电阻率检测辅助...
【专利技术属性】
技术研发人员：詹景涛，张树峰，韩存根，
申请(专利权)人：内蒙古中环晶体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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