一种用于硅锭加工的多晶硅清洗机制造技术

技术编号:39031879 阅读:22 留言:0更新日期:2023-10-07 11:11
本实用新型专利技术公开了一种用于硅锭加工的多晶硅清洗机,属于多晶硅领域,一种用于硅锭加工的多晶硅清洗机,包括清洗平台,清洗平台的外侧设置有悬吊机构以及与悬吊机构错开的供水机构,清洗平台的上表面开设有超声波池,超声波池的内侧设置有射流机构,超声波池的内部设置有花篮,花篮的下表面沿水平阵列分布有多个放料孔,放料孔的下方沿水平方向均设置有两个平行的硅胶辊,两个相邻硅胶辊的一端均延伸出超声波池内部且之间装配有皮带,其中一个硅胶辊的另一端延伸出超声波池内部且设置有驱动电机,它可以实现,棒状硅锭边清洗边自转,方便减少清洗死角,提高棒状硅锭外表面的清洗效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅锭加工的多晶硅清洗机


[0001]本技术涉及多晶硅领域,更具体地说,涉及一种用于硅锭加工的多晶硅清洗机。

技术介绍

[0002]多晶硅是单质硅的一种形态,常见有棒状、块状等,在生产过程中,表面容易混入非硅杂质,致使纯度下降,一般码放在花篮中,放入超声波清洗机中,进行清洗;
[0003]经专利检索发现,公开号为CN211567964U的中国专利公开了一种用于硅锭加工的多晶硅清洗机,包括清洗平台、依次设在清洗平台上的清洗池、漂洗池、超声波池、甩干槽和烘箱;清洗池、漂洗池、超声波池和甩干槽的底部均设有旋转台,以及用于盛放多晶硅块料的载料装置,载料装置放置在所述旋转台上,清洗池包括依次连接的一级清洗池、二级清洗池和三级清洗池,其虽然通过设置旋转台配合清洗、漂洗以及甩干等过程,使得硅块料、硅料孔洞得到充分清洗,避免清洗剂残留,且能够清理块料孔洞中存在的杂质;
[0004]但上述专利清洗柱状硅锭时,通过多个池分别进行清洗、漂洗及甩干,而柱状硅锭进入液面以下后始终紧贴花篮,接触面形成死角,导致难以清洗柱状硅锭外表面死角的问题,为此我们提出一种用于硅锭加工的多晶硅清洗机。

技术实现思路

[0005]要解决的技术问题
[0006]针对现有技术中存在的问题,本技术的目的在于提供一种用于硅锭加工的多晶硅清洗机,它可以实现,棒状硅锭边清洗边自转,方便减少清洗死角,提高棒状硅锭外表面的清洗效果。
[0007]技术方案
[0008]为解决上述问题,本技术采用如下的技术方案。
[0009]一种用于硅锭加工的多晶硅清洗机,包括清洗平台,所清洗平台的外侧设置有悬吊机构以及与悬吊机构错开的供水机构,所述清洗平台的上表面开设有超声波池,所述超声波池的内侧设置有射流机构,所述超声波池的内部设置有花篮,所述花篮的下表面沿水平阵列分布有多个放料孔,所述放料孔的下方沿水平方向均设置有两个平行的硅胶辊,两个相邻所述硅胶辊的一端均延伸出超声波池内部且之间装配有皮带,其中一个所述硅胶辊的另一端延伸出超声波池内部且设置有驱动电机,棒状硅锭边清洗边自转,方便减少清洗死角,提高棒状硅锭外表面的清洗效果。
[0010]进一步的,所述射流机构包括分别设置在超声波池两侧的两个硬管,所述硬管的一端为封闭机构,所述硬管的另一端连接于供水机构,两个所述硬管的上表面均连接于悬吊机构,两个所述硬管靠近花篮的一侧均贯穿安装有多个喷头,能够带动喷头多角度冲洗棒状硅锭,增大射流冲洗棒状硅锭的面积。
[0011]进一步的,所述悬吊机构包括分别安装在清洗平台两侧的两个电动伸缩杆,两个
所述电动伸缩杆的输出端均朝上延伸且均设置有两个钢丝,两个相邻所述钢丝均呈八字形分布且下端均连接于对应硬管的上表面,拉动对应硬管在超声波池中升降,两个相邻钢丝形成三角形支撑结构,支撑的稳定性好。
[0012]进一步的,所述供水机构包括分别安装在清洗平台两侧的两个水泵,所述水泵均错开电动伸缩杆,两个所述水泵的进水端均延伸进超声波池内部,两个所述水泵的输出端均安装有软管,两个所述软管的一端均延伸进超声波池内部且均连接于相邻硬管的一端,可以抽吸超声波池中的清洗液,沿软管泵送给对应硬管。
[0013]进一步的,所述超声波池的另两侧均焊接有多个限位板,多个所述限位板均沿水平方向分布且均沿竖直方向错开硅胶辊,避免花篮接触硅胶辊。
[0014]进一步的,所述电动伸缩杆的输出端和对应钢丝的一端之间均通过设置有法兰板固定连接,所述法兰板均沿竖直方向错开花篮,方便钢丝在超声波池的上方悬空,不会摩擦超声波池的边缘。
[0015]有益效果
[0016]相比于现有技术,本技术的优点在于:
[0017](1)本方案清洗时,棒状硅锭平放并卧在放料孔中,降下花篮,没入清洗液中,受到超声波的冲击作用,直至棒状硅锭接触对应两个硅胶辊,并被两个硅胶辊顶起,在花篮的上方悬空,并且硅胶辊不会接触花篮,再启动驱动电机,转动两个硅胶辊和对应皮带,带动两个硅胶辊上的棒状硅锭旋转,棒状硅锭边清洗边自转,使其外表面均能接触清洗液,方便减少清洗死角,提高棒状硅锭外表面的清洗效果。
[0018](2)本方案同时,启动供水机构,抽吸超声波池中的清洗液,泵送给硬管,沿喷头射向花篮,形成射流,提高清洗液与棒状硅锭接触的效率,并启动悬吊机构,带动硬管以一定周期上下摆动,能够带动喷头多角度冲洗棒状硅锭,增大射流冲洗棒状硅锭的面积。
附图说明
[0019]图1为本技术的俯视的结构示意图;
[0020]图2为本技术的主视的结构示意图;
[0021]图3为本技术的剖视的结构示意图;
[0022]图4为本技术的图3中A处的放大结构示意图。
[0023]图中标号说明:
[0024]1、超声波池;2、花篮;3、放料孔;4、硅胶辊;5、皮带;6、驱动电机;7、硬管;8、喷头;9、电动伸缩杆;10、钢丝;11、水泵;12、软管;13、限位板;14、法兰板。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述;显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0026]实施例:
[0027]请参阅图1

4,一种用于硅锭加工的多晶硅清洗机,包括清洗平台,清洗平台的外
侧设置有悬吊机构以及与悬吊机构错开的供水机构,清洗平台的上表面开设有超声波池1,超声波池1上设置有超声波发生器以及与超声波发生器电性连接的超声波换能器,此技术方案为现有技术,图中未画出,超声波池1的内侧设置有射流机构,超声波池1的内部设置有花篮2,花篮2的下表面沿水平阵列分布有多个放料孔3,放料孔3的下方沿水平方向均设置有两个平行的硅胶辊4,两个相邻硅胶辊4的一端均延伸出超声波池1内部且之间装配有皮带5,其中一个硅胶辊4的另一端延伸出超声波池1内部且设置有驱动电机6,先将棒状硅锭放入花篮2中,清洗时,棒状硅锭平放并卧在放料孔3中,用升降机降下花篮2,没入清洗液中,受到超声波的冲击作用,直至棒状硅锭接触对应两个硅胶辊4,并被两个硅胶辊4顶起,在花篮2的上方悬空,并且硅胶辊4不会接触花篮2,再启动驱动电机6,转动两个硅胶辊4和对应皮带5,带动两个硅胶辊4上的棒状硅锭旋转,棒状硅锭边清洗边自转,使其外表面均能接触清洗液,方便减少清洗死角,提高棒状硅锭外表面的清洗效果,尽可能地除去杂质,清洗完毕,控制驱动电机6停止,然后抬升花篮2,脱离清洗液面,即可下料。
[0028]参阅图3和图4,射流机构包括分别设置在超声波池1两侧的两个硬管7,硬管7的一端为封闭机构,硬管7的另一端连接于供水机构,两个硬管7的上表面均连接于悬吊机构,两个硬管7靠近花篮2的一侧均贯穿安装有多个喷头8本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅锭加工的多晶硅清洗机,包括清洗平台,其特征在于:所述清洗平台的外侧设置有悬吊机构以及与悬吊机构错开的供水机构,所述清洗平台的上表面开设有超声波池(1),所述超声波池(1)的内侧设置有射流机构,所述超声波池(1)的内部设置有花篮(2),所述花篮(2)的下表面沿水平阵列分布有多个放料孔(3),所述放料孔(3)的下方沿水平方向均设置有两个平行的硅胶辊(4),两个相邻所述硅胶辊(4)的一端均延伸出超声波池(1)内部且之间装配有皮带(5),其中一个所述硅胶辊(4)的另一端延伸出超声波池(1)内部且设置有驱动电机(6)。2.根据权利要求1所述的一种用于硅锭加工的多晶硅清洗机,其特征在于:所述射流机构包括分别设置在超声波池(1)两侧的两个硬管(7),所述硬管(7)的一端为封闭机构,所述硬管(7)的另一端连接于供水机构,两个所述硬管(7)的上表面均连接于悬吊机构,两个所述硬管(7)靠近花篮(2)的一侧均贯穿安装有多个喷头(8)。3.根据权利要求2所述的一种用于硅锭加工的多晶硅清洗机,其特征在于:所述悬吊机构包括分别安装在清洗平台...

【专利技术属性】
技术研发人员:郝雄风
申请(专利权)人:弘元能源科技包头有限公司
类型:新型
国别省市:

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