一种真空压膜机制造技术

本实用新型专利技术适用于压膜设备领域，提供了一种真空压膜机，包括进板模块、真空压膜模块和出板模块，进板模块包括进板运输结构，第一载膜涨紧结构和清洁单元；真空压膜模块设有可相互开合的真空腔体，真空腔体连接有加压组件；出板模块包括出板运输结构、第二载膜涨紧结构和冷却结构；进板模块和出板模块在运输基板的同时还能带动载膜的运输，通过第一载膜涨紧结构进行放卷动作，第二载膜涨紧结构进行收卷动作，带动载膜穿过真空压膜模块与基板进行压合，通过载膜运输结构来对载膜进行压紧，避免载膜在压合时发生位置变化，以保证基板两面的贴膜作业，且进板模块上的清洁单元能很好的在载膜与基板压合前对载膜进行清洁，以保证载膜的整洁度。的整洁度。的整洁度。

【技术实现步骤摘要】
一种真空压膜机


[0001]本技术属于压膜设备领域，具体涉及到一种真空压膜机。

技术介绍

[0002]线路板/半导体/面板等产品用感光干膜、ABF、RCC、铜箔、铝箔、锡箔等膜材或其类似的膜材进行真空压膜工序，其关键的步骤是将膜材与基板在真空腔体内进行均匀的加热压合，使膜材均匀的、无气泡的敷贴在基板上。
[0003]现有的真空压膜机通常在真空腔部定位膜片和基材，然后在真空环境下进行压膜，这样的压模方式对膜材的整洁程度、运输方式和压合动作等都具有严格要求，但是现有技术一般会在对应的真空腔部的前后方分别设有放膜卷和收膜卷，使得载膜运输穿过真空腔部与基板进行压合，这样的方式无法保证载膜的涨紧，在压合的过程中载膜有可能会发生位移而导致影响压膜作业，且在这个过程中，载膜容易沾染上杂质，也会对压膜作业的效果大打折扣。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供了一种真空压膜机。
[0005]本技术是这样实现的：一种真空压膜机，包括依次设置的进板模块、真空压膜模块和出板模块，所述进板模块包括进板运输结构，所述进板运输结构的上方和下方均设有一第一载膜涨紧结构，每一所述第一载膜涨紧结构靠近所述真空压膜模块的一侧设有清洁单元；
[0006]所述真空压膜模块包括真空机主体装置，所述真空机主体装置设有可相互开合的真空腔体，基板通过所述进板运输结构运输至在所述真空腔体内，载膜通过所述第一载膜涨紧结构和所述清洁单元运输至所述真空腔体与基板进行压合，所述真空腔体连接有加压组件；/>[0007]所述出板模块包括出板运输结构，所述出板运输结构的上方和下方均设有一第二载膜涨紧结构，每一所述第二载膜涨紧结构的一侧均设有载膜运输结构，载膜从所述第一载膜涨紧结构放卷穿过所述真空腔体，并通过所述载膜运输结构运输至所述第二载膜涨紧结构进行收卷，所述出板运输结构的上方还设有冷却结构。
[0008]进一步的，所述第一载膜涨紧结构和所述第二载膜涨紧结构结构相一致，均包括有气涨轴，所述气涨轴内可填充有气体并可根据所填充的气体量来改变其轴径，所述气涨轴上可安装有载膜卷，所述气涨轴的另一端可拆卸设有支撑板，所述支撑板的一端设有连接轴承，所述气涨轴的另一端穿过所述连接轴承并与所述连接轴承的内圈紧密贴合，所述气涨轴另一端伸出所述连接轴承的部分设有弹性卡簧。
[0009]进一步的，所述清洁单元包括自上而下设置的第一偏心轴和第二偏心轴，所述第一偏心轴和所述第二偏心轴分别由一驱动组件驱动偏心旋转，所述第一偏心轴和所述第二偏心轴之间自上而下设有第一清洁纸卷轴和第二清洁纸卷轴，所述第一清洁纸卷轴的下方
设有副沾尘辊，所述第二清洁纸卷轴的上方设有主沾尘辊，所述第一清洁纸卷轴和所述副沾尘辊之间、所述第二清洁纸卷轴和所述主沾尘辊之间均连接有一弹簧，所述副沾尘辊利用自重始终往所述主沾尘辊的方向下压，载膜从所述副沾尘辊和所述主沾尘辊之间穿过。
[0010]进一步的，所述真空机主体装置包括次设置的上动板和下基础板，所述上动板上设有上真空框，所述下基础板上设有下真空框，所述上真空框和所述下真空框组合成所述真空腔体，所述上动板连接有可驱动所述上动板往所述下基础板方向移动的第一油缸，所述上真空框内设有上加热组件，所述下真空框内设有下加热组件，膜材和基板放置于所述上加热组件和下加热组件之间进行压合。
[0011]进一步的，所述加压组件包括作用于所述上加热组件的第二油缸，使得所述上加热组件往所述下加热组件的方向移动，所述第二油缸上还设有位移传感器。
[0012]进一步的，所述载膜运输结构包括上载膜运输辊和下载膜运输辊，所述上载膜运输辊和所述下载膜运输辊通过一同步皮带进行连接，所述上载膜运输辊的下方设有可竖直移动的第一压载膜辊，所述下载膜运输辊的下方设有可水平移动的第二压载膜辊，载膜依次在所述上载膜运输辊、所述第一压载膜辊、所述下载膜运输辊和第二压载膜辊之间交叉环绕。
[0013]进一步的，所述冷却结构包括若干个冷风机。
[0014]本技术提供的一种真空压膜机，同时设有进板模块、真空压膜模块和出板模块，其中进板模块和出板模块在运输基板的同时还能带动载膜的运输，通过第一载膜涨紧结构进行放卷动作，第二载膜涨紧结构进行收卷动作，来带动载膜穿过真空压膜模块与基板进行压合，同时，通过载膜运输结构来对载膜进行压紧，避免载膜在压合时发生位置变化，以保证基板两面的贴膜作业，且进板模块上的清洁单元能很好的在载膜与基板压合前对载膜进行清洁，以保证载膜的整洁度。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]以下附图仅旨在于对本技术做示意性说明和解释，并不限定本技术的范围。
[0017]图1是本技术提供的结构示意图。
[0018]图2是本技术中所述进板模块的结构示意图。
[0019]图3是本技术中所述第一载膜涨紧结构的示意图。
[0020]图4是本技术中所述清洁单元的示意图。
[0021]图5是本技术中所述真空压膜模块的截面剖视图。
[0022]图6是本技术中所述出板模块的结构示意图。
[0023]图7是本技术中所述载膜运输结构的示意图。
[0024]附图标号说明：1、进板模块；11、进板运输结构；12、第一载膜涨紧结构；121、气涨轴；122、载膜卷；123、支撑板；124、弹性卡簧；13、清洁单元；131、第一偏心轴；132、第二偏心
轴；133、第一清洁纸卷轴；134、第二清洁纸卷轴；135、副沾尘辊；136、主沾尘辊；137、弹簧；2、真空压膜模块；21、上动板；22、下基础板；23、上真空框；24、下真空框；25、第一油缸；26、上加热组件；27、下加热组件；28、第二油缸；3、出板模块；31、出板运输结构；32、第二载膜涨紧结构；33、载膜运输结构；331、上载膜运输辊；332、下载膜运输辊；333、同步皮带；334、第一压载膜辊；335、第二压载膜辊；34、冷却结构；341、冷风机。
具体实施方式
[0025]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0026]请参阅图1
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图7，为技术公开的一种真空压膜机，包括依次设置的进板模块1、真空压膜模块2和出板模块3，所述进板模块1包括进板运输结构11，待加工的基板从所述进板运输结构11开始运输，所述进板运输结构11的上方和下方均设有一第一载膜涨紧结构12，即与基板上表面贴合的上载膜和与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空压膜机，其特征在于：包括依次设置的进板模块(1)、真空压膜模块(2)和出板模块(3)，所述进板模块(1)包括进板运输结构(11)，所述进板运输结构(11)的上方和下方均设有一第一载膜涨紧结构(12)，每一所述第一载膜涨紧结构(12)靠近所述真空压膜模块(2)的一侧设有清洁单元(13)；所述真空压膜模块(2)包括真空机主体装置，所述真空机主体装置设有可相互开合的真空腔体，基板通过所述进板运输结构(11)运输至在所述真空腔体内，载膜通过所述第一载膜涨紧结构(12)和所述清洁单元(13)运输至所述真空腔体与基板进行压合，所述真空腔体连接有加压组件；所述出板模块(3)包括出板运输结构(31)，所述出板运输结构(31)的上方和下方均设有一第二载膜涨紧结构(32)，每一所述第二载膜涨紧结构(32)的一侧均设有载膜运输结构(33)，载膜从所述第一载膜涨紧结构(12)放卷穿过所述真空腔体，并通过所述载膜运输结构(33)运输至所述第二载膜涨紧结构(32)进行收卷，所述出板运输结构(31)的上方还设有冷却结构(34)。2.根据权利要求1所述的一种真空压膜机，其特征在于：所述第一载膜涨紧结构(12)和所述第二载膜涨紧结构(32)结构相一致，均包括有气涨轴(121)，所述气涨轴(121)内可填充有气体并可根据所填充的气体量来改变其轴径，所述气涨轴(121)上可安装有载膜卷(122)，所述气涨轴(121)的另一端可拆卸设有支撑板(123)，所述支撑板(123)的一端设有连接轴承，所述气涨轴(121)的另一端穿过所述连接轴承并与所述连接轴承的内圈紧密贴合，所述气涨轴(121)另一端伸出所述连接轴承的部分设有弹性卡簧(124)。3.根据权利要求1所述的一种真空压膜机，其特征在于：所述清洁单元(13)包括自上而下设置的第一偏心轴(131)和第二偏心轴(132)，所述第一偏心轴(131)和所述第二偏心轴(132)分别由一驱动组件驱动偏心旋转，所述第一偏心轴(131)和所述第二偏心轴(132)之间自上而下设有第一清洁纸卷轴(133)和第二清洁纸卷轴(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：王加林，罗浩，
申请(专利权)人：有为半导体技术广东有限公司，
类型：新型
国别省市：