信息管理方法、信息管理装置以及衬底处理系统制造方法及图纸

一种信息管理方法、信息管理装置以及衬底处理系统。衬底处理系统具有群控服务器和终端设备。群控服务器包括：根据从衬底处理装置发送的数据，存储发送出该数据的时刻的衬底处理装置的装置信息的当前信息存储部（４０２）、将装置信息与时刻相关联来进行存储的装置信息ＤＢ（４００）、用于存储装置信息被存储的条件的定义信息存储部（４０４）、以及当存储在定义信息存储部（４０４）中的条件被满足时，将该条件被满足的时刻与存储在当前信息存储部（４０２）中装置信息相关联来登记在装置信息ＤＢ（４００）中的装置信息登记部（４１０）。终端设备包括对存储在装置信息ＤＢ（４００）中的装置信息进行检索的装置信息取得部（６０２）。能缩短终端设备从信息管理装置取得信息所需要的时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于管理从处理半导体衬底或玻璃衬底等的衬底处理 装置发送来的信息的信息管理方法及装置、或者具有衬底处理装置和信 息管理装置的衬底处理系统、或者显示存储在信息管理装置中的信息的 方法和包含该信息的衬底处理系统。
技术介绍
一般而言，这种衬底处理系统包括对衬底实施处理的多个衬底处理 装置、以及用于监视该多个衬底处理装置的运行状态和管理生产历史等 信息(数据)的群控服务器(信息管理装置)。因此，信息管理装置管 理从衬底处理装置发送来的温度、压力、气体等的测量值或运行状况等 各种信息。通过这样的信息管理装置来谋求半导体生产效率的提高。用 户使用终端设备来取得由信息管理装置所管理的信息。
技术实现思路
但是，在现有的衬底处理系统中，在有些情况下，终端设备为了从 信息管理装置取得信息而需要时间。本专利技术是为了解决上述问题而完成的，其目的在于缩短终端设备从 信息管理装置取得信息的时间。本专利技术的第 一信息管理方法，其根据包含从处理衬底的衬底处理装 置发送来的装置信息或者事件信息的电文来管理信息，将包含装置信息 的电文被发送来的时刻的上述衬底处理装置的装置信息存储到第一装 置信息存储单元，并且在包含事件信息的电文被发送出时，比较该事件 信息与存储上述装置信息的条件，当两者一致时，使上述装置信息和上 述事件信息产生的时刻相关联而存储在第二装置信息存储单元中。5本专利技术的第二信息管理方法，其当包含上述事件信息的电文被发送 出时，对该事件信息与条件存储单元中的条件进行比较，当上述事件信 息与上述条件一致时，在存储于上述第一装置信息存储单元中的、上述 所设定的移动对象的装置信息上附加上述事件信息产生的时刻而存储 在第二装置信息存储单元中，其中，该条件存储单元设定有使存储在第 一装置信息存储单元中的装置信息移动到第二装置信息存储单元中的 移动条件以及移动对象的装置信息。本专利技术的信息显示方法，其在具有操作画面的操作终端上显示信 息，当从用于处理衬底的衬底处理装置发送出包含事件信息的电文时， 上述操作终端参照该事件信息与条件存储单元中的条件，对在上述所设 定的移动对象的装置信息上附加上述事件信息产生的时刻而将其存储 的第二装置信息存储单元进行检索，比较进行了该检索的结果信息与上 述所设定的装置信息，当两者一致时将上述装置信息显示在上述操作画 面中，其中，该条件存储单元设定有使存储于第一装置信息存储单元中 的装置信息移动到第二装置信息存储单元中的移动条件以及移动对象 的装置信息。根据本专利技术，当终端设备从信息管理装置取得信息时，能够缩短检 索所需要的时间。进而，利用在衬底处理装置处理衬底时所生成的各种 信息，能够缩短进行数据分析(例如，寻找在衬底处理装置中产生的异 常的原因等)和数据加工(例如，从衬底处理装置发送来的生产信息的 图表化等)的时间。附图说明图l是表示存储在现有的群控服务器中的装置信息及其结构、和所 存储的装置信息的取得方法的图。图2是表示本专利技术实施方式的村底处理系统1的结构的图。 图3示出本专利技术实施方式的村底处理装置10的立体图。 图4示出本专利技术实施方式的衬底处理装置10的侧面透视图。 图5示出以PMC 14为中心的村底处理装置10的功能结构。图6是以控制装置16为中心示出终端设备6的硬件结构的图。图7是表示由群控服务器4所执行的群控程序40、以及由终端设备6所执行的终端程序60的功能结构的图。图8是示意地示出群控程序40的当前信息存储部402和装置信息DB400的存储结构的图，(A)例示出当前信息存储部402， (B)例示出装置信息DB400。图9是表示本专利技术实施方式的群控服务器4的工作(S10)的流程图。图1 O是例示出终端设备6所显示的障碍信息画面的图。图11是表示群控程序40的当前信息存储部402的存储结构的变形例和项目信息DB412的存储结构的图，(A )例示出当前信息存储部402， (B)例示出项目信息DB412。具体实施例方式首先，根据图l说明本专利技术的背景。图l是表示存储在现有的群控服务器中的装置信息及其结构、和所 存储的装置信息的检索方法的图。图l的(A)是例示出从衬底处理装置发送来的电文的图。如图l的 (A)所例示的那样，各电文包含发送出的时刻、发送源的衬底处理装 置的名称(装置名称)、项目类别、以及该项目的信息(测量值等)。 群控服务器接收从多个衬底处理装置发送来的电文，从该电文取得装置 信息，并存储单元信息。图l的(B)是示意地示出存储单元信息的结构的图。如图l的(B) 所示，装置信息存储在数据库(DB)中。DB包含项目管理表、测量数 据管理表以及装置管理表。在项目管理表中，管理与项目类别对应的各 项目。在装置管理表中，管理各衬底处理装置。在测量数据管理表中， 管理与在项目管理表中管理的项目和在装置管理表中管理的装置相关 联的信息(测量值等)、以及电文中所包含的时刻(相当于图l中(A) 的"时间")。该DB结构的优点如下。即l)即使在增加了项目时，也不会对DB结构带来影响(例如，变为必须增加新表等)；2)即使在增加了衬底 处理装置时也不会对DB结构带来影响；3)即使各衬底处理装置具有不 同的项目，装置信息由测量数据管理表所管理；4)测量数据管理表中 仅存储与衬底处理装置所包含的项目相关的信息(测量值等)，因此不 存在无用的数据区域。图l (C)示出存储在DB中的装置信息的取得方法。例如在确认障 碍产生时刻的衬底处理装置(障碍产生装置)的状态时，作为操作终端 的终端设备参照DB的项目管理表、测量数据管理表以及装置管理表， 将这三个表作为图l (C)所例示出的表而重新构成，在图l (C)的表 中，对于障碍产生装置，检索各时刻的各项目的测量值。在此，在各时 刻并不一定存储所有项目的测量值，所以在所期望的时刻没有存储测量 值时，需要返回到测量值被存储的时刻。具体而言，终端设备需要从所期望的时刻到测量值被存储的时刻按 每个项目进行测量值的补足工作。例如，终端设备在时刻12: 00: 04 能够检测温度chl的值(690.0)，但不能够检测温度ch2以及气体chl的 值，为了检索温度ch2的值以及气体chl的值，需要返回到时刻12: 00: 02。这样，该DB结构具有以下缺点。即1 )将相互关联的多个表作为 数据检索用的1个表而重新构成会耗费时间；2 )补足测量值会耗费时间。 以下，在上述背景的基础上说明本专利技术实施方式的衬底处理系统。 图2是表示本专利技术实施方式的衬底处理系统1的结构的图。 如图2所示，衬底处理系统I具有多个衬底处理装置IO- 1 ~ 10-n、 群控服务器4以及终端设备6。衬底处理装置IO-1 ~ 10-n、群控服务器 4以及终端设备6能够例如经由LAN 、 WAN等网络12连接而能够相互进 行数据的收发。在没有特定示出衬底处理装置IO- 1 ~ 10-n等存在多个 的结构部分中的某一个时，有时仅简单略记为衬底处理装置10等。衬底处理装置10根据处理组态表(recipe)等来执行衬底的处理。 具体而言，处理组态表记载了用于处理村底的顺序，衬底处理装置IO 根据该顺序进行装置内构成元件的控制。另外，衬底处理装置10经由网络12对群控服务器4发送包含如下信息的电文，即与村底处理装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种信息管理方法，其根据包含从处理衬底的衬底处理装置发送的装置信息或者事件信息的电文来管理信息，其特征在于：　将包含装置信息的电文被发送的时刻的上述衬底处理装置的装置信息存储到第一装置信息存储单元中，并且在包含事件信息的电文被发送出时 比较该事件信息与存储上述装置信息的条件，当两者一致时，使上述装置信息和上述事件信息产生的时刻相关联而存储在第二装置信息存储单元中。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：浅井一秀，岩仓裕幸，越卷寿朗，屋敷佳代子，
申请(专利权)人：株式会社日立国际电气，
类型：发明
国别省市：JP[日本]