本发明专利技术公开了一种晶圆扩晶机构用自动开闭结构、自动开闭方法，自动开闭结构包括：锁紧件，锁紧件转动安装在压板底座的一侧，压板底座上间隔设置有压板，锁紧件具有第一位置和第二位置；拉动件，拉动件的一端安装在压板底座上，拉动件的另一端与锁紧件相连，拉动件位于第一状态时，锁紧件向第一位置切换，拉动件位于第二状态时，锁紧件向第二位置切换；导向单元，导向单元与锁紧件导向配合，以使拉动件在第一状态与第二状态之间切换。本发明专利技术在扩晶过程中，锁紧件与压板完成卡接，使压板与压板底座之间保持卡合，避免了压板局部发生弯曲变形，进而提高了扩晶的均匀性，在不扩晶时，锁紧件不与压板卡接，以便于晶圆从侧面进入压板底座与压板之间。座与压板之间。座与压板之间。
【技术实现步骤摘要】
晶圆扩晶机构用自动开闭结构、自动开闭方法
[0001]本专利技术属于扩晶装置
，具体涉及一种晶圆扩晶机构用自动开闭结构、自动开闭方法。
技术介绍
[0002]中国专利 CN115588639A 公开了一种芯片供给装置，结合图7所示，扩晶机构用于拉伸晶圆上的晶圆膜，使相邻的芯片间距扩大。在使用过程中，晶圆需要水平移动至压板底座与压板之间（图7中两个不同方向的箭头分别表示晶圆上料和下料的运动方向），压板2在向下移动过程中使晶圆膜边缘拉伸，从而完成扩晶。然而为了便于晶圆在压板2与压板底座1之间进行上下料，压板2与压板底座1之间有部分区域没有用连接块进行固定，这部分区域需要存在一定间隙以供晶圆通过，也即图7中a区域。这导致压板2向下压的过程中，压板2在a区域会向上弯曲变形，导致晶圆在圆周方向上扩晶不均匀，最终影响整个贴装工艺。
技术实现思路
[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
[0004]为此，本专利技术提出一种晶圆扩晶机构用自动开闭结构，该晶圆扩晶机构用自动开闭结构具有在晶圆移动时将压板与压板底座打开，以便于晶圆通过，在扩晶时将压板与压板底座锁紧，以便于对晶圆四周施加均匀压力，从而提供扩晶均匀性的优点。
[0005]根据本专利技术实施例的晶圆扩晶机构用自动开闭结构，包括：锁紧件，所述锁紧件转动安装在压板底座的一侧，压板底座上间隔设置有压板，所述锁紧件具有第一位置和第二位置，所述锁紧件位于第一位置时，所述锁紧件不高于所述压板底座，以便于晶圆进入压板底座与压板之间，所述锁紧件位于第二位置时，所述锁紧件与压板卡接，以使压板底座与压板之间的相对位置保持不变；拉动件，所述拉动件的一端安装在压板底座上，所述拉动件的另一端与所述锁紧件相连，所述拉动件具有第一状态和第二状态，所述拉动件位于第一状态时，所述拉动件拉动所述锁紧件向下转动，以使所述锁紧件向第一位置切换，所述拉动件位于第二状态时，所述拉动件拉动所述锁紧件向上转动，以使所述锁紧件向第二位置切换；导向单元，所述导向单元安装在顶升环上，所述导向单元与所述锁紧件导向配合，压板底座位于顶升环的上方，在压板底座靠近顶升环时，所述导向单元带动所述锁紧件向上转动，以使所述拉动件由第一状态向第二状态切换，在压板底座远离顶升环时，所述导向单元带动所述锁紧件向下转动，以使所述拉动件由第二状态向第一状态切换。
[0006]根据本专利技术一个实施例，所述锁紧件上开设有安装孔，所述安装孔内安装有二号轴承，所述锁紧件通过所述二号轴承与压板底座转动相连。
[0007]根据本专利技术一个实施例，所述压板底座上安装有一号销，所述锁紧件上安装有安装扣，所述拉动件的一端与所述一号销相连，所述拉动件的另一端与所述安装扣相连。
[0008]根据本专利技术一个实施例，所述二号轴承位于所述一号销与所述安装扣之间。
[0009]根据本专利技术一个实施例，所述锁紧件上开设有卡槽，所述压板上设有二号销，所述
锁紧件位于第一位置时，所述二号销与所述卡槽脱开卡合，所述锁紧件位于第二位置时，所述二号销卡设于所述卡槽内。
[0010]根据本专利技术一个实施例，所述导向单元包括安装座和两个一号轴承，所述安装座安装在顶升环上，两个所述一号轴承转动安装在所述安装座上，所述一号轴承与所述锁紧件导向配合，一所述一号轴承位于另一所述一号轴承的上方。
[0011]根据本专利技术一个实施例，所述锁紧件上具有第一配合面，所述第一配合面与一所述一号轴承滚动配合，在所述拉动件由第一状态向第二状态切换时，一所述一号轴承向上抵靠所述第一配合面，以使所述锁紧件向上转动。
[0012]根据本专利技术一个实施例，所述锁紧件上具有第二配合面，所述第二配合面与另一所述一号轴承滚动配合，在所述拉动件由第二状态向第一状态切换时，另一所述一号轴承向下抵靠所述第二配合面，以使所述锁紧件向下转动。
[0013]根据本专利技术一个实施例，所述第一配合面和所述第二配合面之间形成容纳空间，两个所述一号轴承在所述容纳空间内活动。
[0014]根据本专利技术一个实施例，所述拉动件为弹簧。
[0015]根据本专利技术一个实施例，一种的自动开闭方法，采用如上述的晶圆扩晶机构用自动开闭结构对晶圆扩晶机构上的压板底座与压板进行自动开闭，包括以下步骤，步骤一：确定晶圆扩晶机构的工作状态，晶圆扩晶机构的工作状态包括上料扩晶状态和下料状态；步骤二：在上料扩晶状态，压板底座向下运动，导向单元带动锁紧件向上转动，并带动拉动件由第一状态向第二状态切换，使得锁紧件从第一位置向第二位置切换，同步完成压板底座与压板之间从打开状态向闭合状态的切换；步骤三：在下料状态，压板底座向上运动，导向单元带动锁紧件向下转动，并带动拉动件由第二状态向第一状态切换，使得锁紧件从第二位置向第一位置切换，同步完成压板底座与压板之间从闭合状态向打开状态的切换。
[0016]本专利技术的有益效果是，本专利技术利用扩晶时压板底座相对于顶升环的升降运动，通过导向单元与锁紧件之间导向配合关系，在压板底座靠近顶升环时，导向单元推动锁紧件向上转动，从而使拉动件由第一状态向第二状态切换，最终拉动锁紧件向上旋转至第二位置，即锁紧件与压板卡接，从而在扩晶过程中，压板与压板底座之间保持卡合，避免了压板局部发生弯曲变形，进而提高了扩晶的均匀性，同时在不扩晶时，锁紧件保持在第一位置，锁紧件不与压板卡接，以便于晶圆从侧面进入压板底座与压板之间。
[0017]本专利技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。
[0018]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0019]本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是本专利技术晶圆扩晶机构用自动开闭结构在使用时的结构示意图；图2是图1中局部放大结构示意图；图3是本专利技术晶圆扩晶机构用自动开闭结构中锁紧件的结构示意图；
图4是本专利技术中锁紧件处于第二位置的示意图；图5是本专利技术中拉动件和锁紧件处于平衡状态的示意图；图6是本专利技术中锁紧件处于第一位置的示意图；图7是专利 CN115588639A 中扩晶机构的结构示意图；压板底座1、压板2、顶升环3、安装座4、一号轴承5、一号销6、二号销7、锁紧件8、安装扣9、二号轴承10、拉动件11、第一配合面81、第二配合面82、安装孔83、卡槽84。
具体实施方式
[0020]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0021]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆扩晶机构用自动开闭结构，其特征在于，包括：锁紧件（8），所述锁紧件（8）转动安装在压板底座（1）的一侧，压板底座（1）上间隔设置有压板（2），所述锁紧件（8）具有第一位置和第二位置，所述锁紧件（8）位于第一位置时，所述锁紧件（8）不高于所述压板底座（1），以便于晶圆进入压板底座（1）与压板（2）之间，所述锁紧件（8）位于第二位置时，所述锁紧件（8）与压板（2）卡接，以使压板底座（1）与压板（2）之间的相对位置保持不变；拉动件（11），所述拉动件（11）的一端安装在压板底座（1）上，所述拉动件（11）的另一端与所述锁紧件（8）相连，所述拉动件（11）具有第一状态和第二状态，所述拉动件（11）位于第一状态时，所述拉动件（11）拉动所述锁紧件（8）向下转动，以使所述锁紧件（8）向第一位置切换，所述拉动件（11）位于第二状态时，所述拉动件（11）拉动所述锁紧件（8）向上转动，以使所述锁紧件（8）向第二位置切换；导向单元，所述导向单元安装在顶升环（3）上，所述导向单元与所述锁紧件（8）导向配合，压板底座（1）位于顶升环（3）的上方，在压板底座（1）靠近顶升环（3）时，所述导向单元带动所述锁紧件（8）向上转动，以使所述拉动件（11）由第一状态向第二状态切换，在压板底座（1）远离顶升环（3）时，所述导向单元带动所述锁紧件（8）向下转动，以使所述拉动件（11）由第二状态向第一状态切换。2.根据权利要求1所述的晶圆扩晶机构用自动开闭结构，其特征在于，所述锁紧件（8）上开设有安装孔（83），所述安装孔（83）内安装有二号轴承（10），所述锁紧件（8）通过所述二号轴承（10）与压板底座（1）转动相连。3.根据权利要求2所述的晶圆扩晶机构用自动开闭结构，其特征在于，所述压板底座（1）上安装有一号销（6），所述锁紧件（8）上安装有安装扣（9），所述拉动件（11）的一端与所述一号销（6）相连，所述拉动件（11）的另一端与所述安装扣（9）相连。4.根据权利要求3所述的晶圆扩晶机构用自动开闭结构，其特征在于，所述二号轴承（10）位于所述一号销（6）与所述安装扣（9）之间。5.根据权利要求1所述的晶圆扩晶机构用自动开闭结构，其特征在于，所述锁紧件（8）上开设有卡槽（84），所述压板（2）上设有二号销（7），所述锁紧件（8）位于第一位置时，所述二号销（7）与所述卡槽（84）脱开卡合，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王晓春，曲东升，郜福亮，李长峰，谢仲淇，
申请(专利权)人：常州铭赛机器人科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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