一种水平摇摆式流场控制电镀设备制造技术

本发明专利技术涉及电镀设备技术领域，且公开了一种水平摇摆式流场控制电镀设备，包括电镀槽体、电镀机构，所述电镀机构由下至上包括扩散分流板、钛金属阳极网板、阳极遮板、流场控制摇摆叶片、阴极遮板和进液机构，所述电镀槽体的内侧壁连接有扩散分流板，所述扩散分流板上开设有分布均匀的分散孔，所述电镀槽体的内侧壁且在扩散分流板的上侧连接有钛金属阳极网板，所述电镀槽体的内侧壁且在钛金属阳极网板的上侧固定连接有阳极遮板。该水平摇摆式流场控制电镀设备，通过设置水平式电镀设备组合方式，同时采用水平传送方式，大大的减低传送高度和槽体深度，解决了现有垂直式电镀设备高度上有着较大的劣势的问题。上有着较大的劣势的问题。上有着较大的劣势的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种水平摇摆式流场控制电镀设备


[0001]本专利技术涉及电镀设备
，具体为一种水平摇摆式流场控制电镀设备。

技术介绍

[0002]在大尺寸产品需求日益提升，无尘室设备高度限制下，垂直式电镀机随着尺寸越大，有着设备高度的劣势。如何将机台高度缩减，将被镀物置放水平即为电镀设备须考虑的重要指标之一，同时在习知电镀铜柱技术中，影响电镀厚度之均匀性，流场控制与电场控制是为关键。
[0003]现有的电镀设备主要存在如下技术缺陷：现有的电镀设备采用垂直式结构方式，使得电镀设备的高度设置是由产品尺寸决定的，产品尺寸越大，所需的电镀设备高度就越高，因此垂直式电镀设备在高度上有着较大的劣势，使得垂直式电镀设备存在电镀操作不便以及设备成本较高的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种水平摇摆式流场控制电镀设备，以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种水平摇摆式流场控制电镀设备，包括电镀槽体，所述电镀槽体的内侧固定安装有电镀机构，所述电镀槽体的外侧固定安装有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水平摇摆式流场控制电镀设备，包括电镀槽体(1)，其特征在于：所述电镀槽体(1)的内侧固定安装有电镀机构(2)，所述电镀槽体(1)的外侧固定安装有驱动机构(3)，所述驱动机构(3)的一侧固定连接有运动组件(4)，所述电镀槽体(1)的内部设置有承载机构(5)；所述电镀机构(2)包括扩散分流板(21)、钛金属阳极网板(22)、阳极遮板(23)、阴极遮板(24)和进液机构(25)，所述电镀槽体(1)的内侧壁固定连接有扩散分流板(21)，所述扩散分流板(21)上开设有分布均匀的分散孔，所述电镀槽体(1)的内侧壁且在扩散分流板(21)的上侧固定连接有钛金属阳极网板(22)，所述电镀槽体(1)的内侧壁且在钛金属阳极网板(22)的上侧固定连接有阳极遮板(23)，所述电镀槽体(1)的内侧壁且在阳极遮板(23)的上侧固定连接有阴极遮板(24)，所述电镀槽体(1)的内侧设置有进液机构(25)。2.根据权利要求1所述的一种水平摇摆式流场控制电镀设备，其特征在于：所述进液机构(25)的结构包括药液输入管(251)和分流孔(252)，所述电镀槽体(1)的内侧设置有药液输入管(251)，所述药液输入管(251)贯穿电镀槽体(1)的侧壁且伸入到电镀槽体(1)的内部，所述药液输入管(251)上开设有分布均匀的分流孔(252)。3.根据权利要求1所述的一种水平摇摆式流场控制电镀设备，其特征在于：所述驱动机构(3)包括矩形工作台(31)、矩形壳体(32)、电机(33)、转动轴(34)、安装套(35)、转动轮(36)和联动组件(37)，所述电镀槽体(1)的一侧固定连接有矩形工作台(31)，所述矩形工作台(31)的上侧固定连接有矩形壳体(32)，所述矩形壳体(32)的内部底侧壁固定连接有电机(33)，所述电机(33)的上侧传动连接有转动轴(34)，所述矩形壳体(32)的上侧固定连接有安装套(35)，所述转动轴(34)贯穿安装套(35)，所述转动轴(34)的上侧固定连接有转动轮(36)，所述转动轮(36)的上侧设置有联动组件(37)。4.根据权利要求3所述的一种水平摇摆式流场控制电镀设备，其特征在于：所述联动组件(37)的结构包括转动块(371)、运动块(372)、T形滑块(373)和活动块(374)，所述转动轮(36)的上侧固定连接有转动块(371)，所述转动块(371)的上侧转动连接有运动块(372)，所述运动块(372)的上侧固定连接有T形滑块(373)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪俊雄，刘子申，
申请(专利权)人：苏州成汉芯业科技有限公司，
类型：发明
国别省市：