一种能够调节轴向参数的投影物镜及曝光设备制造技术

本发明专利技术涉及芯片制备以及光刻设备技术领域，提供了一种能够调节轴向参数的投影物镜及曝光设备，该能够调节轴向参数的投影物镜，至少包括：镜座；镜架，设置在镜座上，镜架与镜座之间留有第一间隔，镜架背对镜座的一侧适于安装镜片；调平驱动件，设置在第一间隔内，调平驱动件的连接端与镜座相连，调平驱动件的动作端与镜架相连，调平驱动件的动作端能够沿投影物镜的轴向方向运动并带动镜架发生形变以调节投影物镜的轴向参数。本发明专利技术提供的能够调节轴向参数的投影物镜，仅针对单个镜架的姿态进行调节，被控对象质量更轻，更容易保证控制稳定性，有利于降低在调节过程中对整体成像效果的影响。影响。影响。

【技术实现步骤摘要】
一种能够调节轴向参数的投影物镜及曝光设备


[0001]本专利技术涉及芯片制备
以及光刻设备
，具体涉及一种能够调节轴向参数的投影物镜及曝光设备。

技术介绍

[0002]在光刻工艺中，投影物镜对于曝光成像能否合格起着至关重要的作用，一旦投影物镜位置发生变化将会影响曝光成像的质量，现有技术中提供了一种光刻机投影物镜的调平装置及调平方法，通过设置与物镜框架表面连接的传感器测量系统，在工件台运动的同时实时检测物镜框架的垂向位移和倾斜的角度，并将检测信息发送控制器进行处理，通过控制器控制垂向调整机构带动所述物镜框架垂向运动，使投影物镜和光电测量系统与吊框的位置保持相对静止状态，从而提高了投影物镜的曝光成像质量以及光电测量系统的检测性能。
[0003]但是，该调平装置是基于检测工件台与物镜框架之间的位移偏差，整体调节投影物镜的姿态，被控对象质量较重，控制稳定性无法保证，且极易造成对整体成像效果的影响。

技术实现思路

[0004]因此，本专利技术要解决的技术问题在于现有技术中的调平装置是基于检测工件台与物镜框架之间的位移偏本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种能够调节轴向参数的投影物镜，其特征在于，至少包括：镜座；镜架，设置在所述镜座上，所述镜架与所述镜座之间留有第一间隔，所述镜架背对所述镜座的一侧适于安装镜片；调平驱动件，设置在所述第一间隔内，所述调平驱动件的连接端与所述镜座相连，所述调平驱动件的动作端与所述镜架相连，所述调平驱动件的动作端能够沿所述投影物镜的轴向方向运动并带动所述镜架发生形变以调节所述投影物镜的轴向参数。2.根据权利要求1所述的能够调节轴向参数的投影物镜，其特征在于，还包括：支撑平台，设置在所述镜座朝向所述镜架的一面上，所述支撑平台背对所述镜座的一面设置有安装槽；所述镜架的边缘设置有插接体，所述镜架通过所述插接体与所述安装槽固定安装在所述支撑平台上。3.根据权利要求2所述的能够调节轴向参数的投影物镜，其特征在于，所述镜架的插接体包括相连的第一连接部与第二连接部；所述第一连接部插置在所述安装槽内；所述第二连接部贴合所述支撑平台背对所述镜座的一面设置。4.根据权利要求2所述的能够调节轴向参数的投影物镜，其特征在于，还包括：簧片，位于所述镜架背对所述镜座的一面且与所述支撑平台固定连接，所述簧片与所述镜架之间留有容纳镜片的第二间隔。5.根据权利要求4所述的能够调节轴向参数的投影物镜，其特征在于，所述簧片的边缘设置有相连的第三连接部与第四连接部；所述第三连接部贴合所述支撑平台背对所述镜座的一面设置；所述第四连接部贴合所述支撑平台的外侧壁设置。6.根据权利要求5所述的能够调节轴向参数的投影物镜，其特征在于，所述支撑平台沿所述镜座的周向设置一周，所述第三连接部沿所述簧...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱林兵，丛敏，徐兴燃，
申请(专利权)人：光科芯图北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：