【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学元件，具体涉及一种透射薄膜窗口结构的制造方法。
技术介绍
1、薄膜窗口在微纳米技术和纳米科学领域扮演着关键角色，被广泛应用于半导体、传感器技术、光学器件、生物传感器以及微型反应器等领域，特别是基于极紫外光(euv)的透射，进行各种实验或生产操作。
2、对于现有薄膜窗口，在应用于极紫外光透射时存在各种问题。首先，对于应用领域主要集中在入射光波长在10nm～20nm附近的情况，因其实际的波长极短。故携带的能量较高，更容易与物质中的电子和分子发生相互作用。短波长的光波激发物质中的电子和分子的能级，使它们跃迁到更高能级或激发到激发态。这种激发会导致光的能量被吸收，从而使短波长的光波更容易被物质吸收。因此实际应用中，上述波长区间的短波长入射光，容易被薄膜窗口吸收。故现有技术的薄膜窗口对短波长光吸收率高，因此薄膜窗口的材料选择是一个重要问题。其次，由于薄膜窗口通常都是悬空使用，因此对其机械强度也有一定要求，现有技术的薄膜窗口机械性能差，难以满足。而且，现有技术也缺乏对极紫外光吸收率低，且具有较高的机械强度的薄膜窗口的制...
【技术保护点】
1.一种透射薄膜窗口结构的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的透射薄膜窗口结构的制造方法，其特征在于，所述形成初始固体基底的步骤包括：
3.根据权利要求2所述的透射薄膜窗口结构的制造方法，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的透射薄膜窗口结构的制造方法，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的透射薄膜窗口结构的制造方法，其特征在于，所述刻蚀所述窗口部对应位置的初始固体基底，以在所述窗口部对应位置形成透射空间的步骤中，包括以下步骤：
6.根据权利要求5所述的透射薄膜窗口结构的制造方法，其
<...【技术特征摘要】
1.一种透射薄膜窗口结构的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的透射薄膜窗口结构的制造方法，其特征在于，所述形成初始固体基底的步骤包括：
3.根据权利要求2所述的透射薄膜窗口结构的制造方法，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的透射薄膜窗口结构的制造方法，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的透射薄膜窗口结构的制造方法，其特征在于，所述刻蚀所述窗口部对应位置的初始固体基底，以在所述窗口部对应位置形成透射空间的步骤中，包括以下步骤：
6...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：光科芯图北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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