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本发明涉及芯片制备以及光刻设备技术领域，提供了一种能够调节轴向参数的投影物镜及曝光设备，该能够调节轴向参数的投影物镜，至少包括：镜座；镜架，设置在镜座上，镜架与镜座之间留有第一间隔，镜架背对镜座的一侧适于安装镜片；调平驱动件，设置在第一间隔...
该专利属于光科芯图（北京）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光科芯图（北京）科技有限公司授权不得商用。

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