真空镀膜设备中用于传送基板架的驱动轮制造技术

本申请涉及一种真空镀膜设备中用于传送基板架的驱动轮，包括：输出轴；环形结构的外壳，包括外径均一的支撑部以及相对支撑部径向扩大的限位部；电绝缘件，嵌装于所述外壳的内孔中，并连接所述输出轴。本申请支撑部能够支撑基板架，限位部能够限制基板架爬坡脱离支撑部，电绝缘件嵌装于内孔连接至输出轴，实现了外壳和输出轴之间的电力绝缘。此时外壳材质不需采用陶瓷等绝缘材质，而可以选择耐磕碰的其他材质。本申请在满足驱动轮电力绝缘的基础上，解决了驱动轮易磕碰破碎的问题，降低了维护成本。护成本。护成本。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜设备中用于传送基板架的驱动轮


[0001]本申请涉及镀膜
，特别是涉及一种真空镀膜设备中用于传送基板架的驱动轮。

技术介绍

[0002]在真空镀膜的工艺中，靶材原子微粒在工艺气体的作用下附着至待加工的基板上。基板一般通过基板架负载，利用驱动轮承托和转动实现基板架的输送。
[0003]由于工艺要求需要，基板架一般采用金属材质，并且需要保持基板架对外绝缘，否则将在镀膜过程中发生放电、产生电火花等现象，影响膜层均匀性。因此驱动轮的材质通常采用陶瓷绝缘轮，实现基板架与真空镀膜设备的绝缘。
[0004]然而，基板架在工作过程中易发生与陶瓷绝缘轮的磕碰，致使陶瓷绝缘轮磨损，使得设备维护周期缩短，设备维护成本提高。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种真空镀膜设备中用于传送基板架的驱动轮。
[0006]本申请真空镀膜设备中用于传送基板架的驱动轮，包括：
[0007]输出轴；
[0008]环形结构的外壳，包括外径均一的支撑部以及相对支撑部径向扩大的限位部；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空镀膜设备中用于传送基板架的驱动轮，其特征在于，包括：输出轴；环形结构的外壳，包括外径均一的支撑部以及相对支撑部径向扩大的限位部；电绝缘件，嵌装于所述外壳的内孔中，并连接所述输出轴。2.根据权利要求1所述的驱动轮，其特征在于，所述电绝缘件具有连接所述输出轴的安装孔。3.根据权利要求2所述的驱动轮，其特征在于，所述输出轴包括主体部和相对于主体部缩径的连接部，所述连接部插入所述安装孔内。4.根据权利要求3所述的驱动轮，其特征在于，所述安装孔轴向贯穿所述电绝缘件，所述连接部伸入安装孔的长度小于所述安装孔。5.根据权利要求1所述的驱动轮，其特征在于，所述外壳和电绝缘件的两端齐平。6.根据权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：江嘉，娄国明，徐建柱，沈纬徵，郑博鸿，
申请(专利权)人：安徽越好电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：